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미세 구조물에서의 응력-변형률 관계 측정방법

  • 기술번호 : KST2016000457
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은, 미세 구조물의 하중과 변위를 실험적으로 측정하는 제1 단계; 측정된 하중과 변위를 이용하여 응력-변형률의 초기값을 가정하는 제2 단계; 가정된 응력-변형률의 초기값을 기준으로 유한요소해석을 수행하여 하중과 변위를 계산하는 제3 단계; 유한요소해석을 통해 계산된 하중과 변위와 상기 실험적으로 측정된 하중과 변위를 상호 비교하여 기 설정된 오차 범위를 초과하는 경우 하기 식을 이용하여 응력-변형률 관계를 개정하는 제4 단계; 상기 개정된 응력-변형률 관계를 기준으로 유한요소해석을 수행하여 하중과 변위를 계산하는 제5단계를 포함한다. 제5단계에서 계산된 하중과 변위를 상기 실험적으로 측정된 하중과 변위와 상호 비교하여 기 설정된 오차범위를 초과하는 경우 상기 제4단계 및 제5단계를 반복하고, 오차범위 이내인 경우 최종 개정된 응력-변형률 관계를 미세구조물의 고유한 응력-변형률 관계로 설정하는 것을 포함한다.
Int. CL G01L 1/14 (2006.01) G01L 1/00 (2006.01) G01L 1/24 (2006.01)
CPC G01L 5/0028(2013.01) G01L 5/0028(2013.01) G01L 5/0028(2013.01)
출원번호/일자 1020080038217 (2008.04.24)
출원인 한국기계연구원
등록번호/일자 10-0927705-0000 (2009.11.12)
공개번호/일자 10-2009-0112369 (2009.10.28) 문서열기
공고번호/일자 (20091118) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2008.04.24)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김재현 대한민국 대전 유성구
2 이학주 대한민국 대전 유성구
3 박정민 대한민국 대전 유성구
4 최병익 대한민국 대전 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 팬코리아특허법인 대한민국 서울특별시 강남구 논현로**길 **, 역삼***빌딩 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 인텔렉추얼디스커버리 주식회사 서울특별시 강남구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2008.04.24 수리 (Accepted) 1-1-2008-0294015-25
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2008.12.11 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2009.01.14 수리 (Accepted) 9-1-2009-0003998-11
4 등록결정서
Decision to grant		 2009.11.05 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0457640-56
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.04.08 수리 (Accepted) 4-1-2011-5069919-31
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.04.08 수리 (Accepted) 4-1-2011-5069914-14
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
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번호 청구항
1 1
미세 구조물의 하중과 변위를 실험적으로 측정하는 제1 단계; 상기 측정된 하중과 변위를 이용하여 응력-변형률의 초기값을 가정하는 제2 단계; 상기 가정된 응력-변형률의 초기값을 기준으로 유한요소해석을 수행하여 하중과 변위를 계산하는 제3 단계; 상기 유한요소해석을 통해 계산된 하중과 변위와 상기 실험적으로 측정된 하중과 변위를 상호 비교하여 기 설정된 오차 범위를 초과하는 경우 하기 식(1)을 이용하여 응력-변형률 관계를 개정하는 제4 단계; (1) 상기 개정된 응력-변형률 관계를 기준으로 유한요소해석을 수행하여 하중과 변위를 계산하는 제5 단계 를 포함하고, 상기 제5 단계에서 계산된 하중과 변위를 상기 실험적으로 측정된 하중과 변위와 상호 비교하여 기 설정된 오차 범위를 초과하는 경우 상기 제4 단계 및 제5 단계를 반복하고, 상기 오차 범위 이내인 경우 최종 개정된 응력-변형률 관계를 상기 미세구조물의 고유한 응력-변형률 관계로 설정하는 것을 특징으로 하는 미세 구조물에서의 응력-변형률 관계 측정방법
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 제1 단계에서 띠 굽힘(strip bending) 시험을 통해 하중과 변위를 측정하고, 상기 제2 단계에서 하기 식(2) 및 (3)을 이용하여 응력-변형률 관계를 가정하는 것을 특징으로 하는 미세 구조물에서의 응력-변형률 관계 측정방법
3 3
제 1 항에 있어서, 상기 제1 단계에서 기둥 압축(pillar compression) 시험을 통해 하중과 변위를 측정하고, 상기 제2 단계에서 하기 식(4) 및 (5)를 이용하여 응력-변형률 관계를 가정하는 것을 특징으로 하는 미세 구조물에서의 응력-변형률 관계 측정방법
4 4
제 1 항에 있어서, 상기 제1 단계에서 구형 압입(spherical indentation) 시험을 통해 하중과 변위를 측정하고, 상기 제2 단계에서 하기 식 (6), (7), (8)을 이용하여 응력-변형률 관계를 가정하는 것을 특징으로 하는 미세 구조물에서의 응력-변형률 관계 측정방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 과기부 한국기계연구원 21세기 프론티어 사업 50nm급 나노공정 측정 및 평가 기술 개발