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방전가스를 공급하는 가스 공급부;
전압을 공급하는 전원 공급부; 및
상기 가스 공급부로부터 공급되는 상기 방전가스를 둘러싸고 상기 전원 공급부로부터 인가되는 상기 전압으로 방전을 일으켜, 플라즈마를 생성하여, 피처치체에 분사하는 플라즈마 발생기를 포함하며,
상기 플라즈마 발생기는,
상기 방전가스의 유동 경로를 형성하여 상기 플라즈마를 상기 피처치체에 분사하는 바디,
상기 유동 경로의 일측에 배치되고 상기 전압이 인가되는 제1 전극,
상기 유동 경로의 다른 일측에서 상기 바디에 매립되어 상기 제1 전극에 대향하여 이격 배치되고 접지되는 제2 전극, 및
상기 유동 경로의 길이 방향을 따라 상기 제2 전극과 이격되어 상기 유동 경로의 단부에 배치되어 접지되는 제3 전극을 포함하는 플라즈마 처치기
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2
제1 항에 있어서,
상기 바디는 유전재로 형성되는 플라즈마 처치기
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3
제1 항에 있어서,
상기 바디는,
상기 제1 전극과 상기 제2 전극 사이에 설정되는 간격과 나란하게 설정되는 두께와 상기 두께에 직교하여 설정되는 폭을 가지고 상기 유동 경로의 길이 방향으로 설정되는 길이를 가지는 직육면체로 형성되는 플라즈마 처치기
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4
제1 항에 있어서,
상기 제1 전극과 상기 제2 전극 사이에 설정되는 간격은 상기 유동 경로의 길이보다 더 짧게 형성되는 플라즈마 처치기
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5
제1 항에 있어서,
상기 제1 전극은 상기 바디에 매립되는 플라즈마 처치기
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6
제1 항에 있어서,
상기 제1 전극과 상기 제2 전극은 판상으로 형성되어 면방전 구조를 형성하는 플라즈마 처치기
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7
제1 항에 있어서,
상기 제3 전극은,
상기 유동 경로와 나란하게 설정되는 상기 제2 전극의 중심 연장선과 교차하여 배치되는 플라즈마 처치기
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8
제7 항에 있어서,
상기 제3 전극은,
상기 유동 경로의 일단과의 사이에 상기 바디에서 연장된 절연부를 개재하여 배치되는 플라즈마 처치기
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9
제8 항에 있어서,
상기 제3 전극은,
상기 제1 전극과 상기 제2 전극 사이에 설정되는 간격의 연장 방향에서, 상기 절연부에서 상기 바디의 끝까지 형성되는 플라즈마 처치기
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10
제1 항에 있어서,
상기 제3 전극은,
상기 유동 경로와 나란하게 설정되는 상기 제2 전극의 최외곽 연장선의 외곽에 배치되는 플라즈마 처치기
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11
제10 항에 있어서,
상기 제3 전극은,
상기 제1 전극과 상기 제2 전극 사이에 설정되는 간격의 연장 방향에서, 상기 바디의 두께 범위 내에 형성되는 제1 부분과,
상기 제1 부분에서 연장되어 상기 두께 범위 밖에 형성되는 제2 부분을 포함하는 플라즈마 처치기
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12
제1 항에 있어서,
상기 바디는, 원통으로 형성되어 중심에 상기 유동 경로를 형성하고,
상기 제1 전극은, 상기 유동 경로의 중심에 배치되며,
상기 제2 전극은, 상기 유동 경로의 외측에 원통으로 형성되어 상기 바디에 매립되는 플라즈마 처치기
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13
제12 항에 있어서,
상기 제3 전극은,
상기 유동 경로와 나란하게 설정되는 상기 제2 전극의 연장선 내측과 외측 중 적어도 일측에 배치되는 플라즈마 처치기
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