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박막 형성 방법

  • 기술번호 : KST2016000481
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 박막 형성 방법에 관한 것으로, 공정 가스가 유입되는 측으로부터 공정 가스가 배기되는 측으로 증가하는 기울기를 갖도록 제작된 서셉터 상에 기판을 안착시킨 후 공정 가스를 유입하여 기판 상에 실리콘 카바이드 박막을 형성한다. 본 발명에 의하면, 기판이 소정의 기울기를 갖도록 하여 박막 증착 공정을 실시함으로써 공정 가스가 유입되는 측으로부터 배기되는 측으로 기판 상에서 반응하는 공정 가스의 양이 적어지지만, 배기되는 측으로 공정 가스가 기판 상에서 반응하는 시간이 증가하게 되어 기판의 전 영역에 걸쳐 박막의 증착 균일도를 향상시킬 수 있다.
Int. CL H01L 21/205 (2006.01) H01L 21/20 (2006.01)
CPC H01L 21/28556(2013.01) H01L 21/28556(2013.01) H01L 21/28556(2013.01)
출원번호/일자 1020100032167 (2010.04.08)
출원인 동의대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1088678-0000 (2011.11.25)
공개번호/일자 10-2011-0112934 (2011.10.14) 문서열기
공고번호/일자 (20111202) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.04.08)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 동의대학교 산학협력단 대한민국 부산광역시 부산진구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 신병철 대한민국 부산 부산진구
2 이원재 대한민국 부산광역시 부산진구
3 이태우 대한민국 부산광역시 서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 남승희 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로 ***, *층(역삼동, 청보빌딩)(아인특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 동의대학교 산학협력단 대한민국 부산광역시 부산진구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2010.04.08 수리 (Accepted) 1-1-2010-0223560-03
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2011.06.14 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2011.07.15 수리 (Accepted) 9-1-2011-0060775-76
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2011.07.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0403108-37
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2011.09.20 수리 (Accepted) 1-1-2011-0729832-85
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2011.10.20 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0823211-25
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2011.10.20 수리 (Accepted) 1-1-2011-0823210-80
8 등록결정서
Decision to grant
2011.11.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0671843-30
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.07.07 수리 (Accepted) 4-1-2014-5081860-22
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.02.26 수리 (Accepted) 4-1-2015-0010968-18
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번호 청구항
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반응기 내의 서셉터 상에 소정의 기울기를 갖도록 기판을 안착시키는 단계;상기 반응기를 가열하여 상기 반응기 내부의 불순물을 제거하는 단계; 및상기 반응기 내에 공정 가스를 유입하고 상기 반응기를 가열하여 상기 기판 상에 박막을 증착하는 단계를 포함하고,상기 불순물은 상기 반응기를 1300℃ 내지 1500℃의 온도와 진공 압력에서 2시간 내지 3시간 동안 가열하여 제거하는 박막 형성 방법
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제 1 항에 있어서, 상기 공정 가스는 상기 반응기의 일 측면으로부터 유입되어 타 측면으로 배기되는 박막 형성 방법
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제 2 항에 있어서, 상기 기판은 상기 공정 가스가 유입되는 일 측면으로부터 배기되는 타 측면으로 소정 각도의 기울기를 갖도록 안착되는 박막 형성 방법
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제 3 항에 있어서, 상기 기판은 소정 각도의 기울기를 갖도록 제작되어 상기 공정 가스가 유입되는 일 측면으로부터 배기되는 타 측면으로 두께가 증가하는 상기 서셉터 상에 안착되는 박막 형성 방법
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제 3 항 또는 제 4 항에 있어서, 상기 기울기는 3°내지 8°의 각도를 갖는 박막 형성 방법
6 6
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지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.