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계면 정합이 우수한 열전소자 및 그 제조방법

  • 기술번호 : KST2016000684
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은, CoSb3 열전반도체에 제1 금속 플레이트, 제2 금속 플레이트, 은구리계 합금 플레이트 및 구리몰리브덴(CuMo) 전극이 순차적으로 적층되어 접합된 구조를 가지며, 상기 제1 금속 플레이트는 금(Au) 또는 금(Au) 합금으로 이루어지고, 상기 제2 금속 플레이트는 티타늄(Ti) 금속 또는 티타늄(Ti) 합금으로 이루어진 열전소자 및 그 제조방법에 관한 것이다. 본 발명에 의하면, 열전반도체와 전극 계면에서 크랙(crack)이나 보이드(void)와 같은 결함이 거의 없으며 계면 정합이 잘 이루어져 인장력에 대한 강성이 우수하고, 열전반도체와 전극의 계면에서 들뜨거나 하는 등의 부정합이 작아 계면 분리가 일어나지 않으므로 고온에서의 신뢰성이 높다.
Int. CL H01L 35/02 (2006.01) H01L 35/34 (2006.01)
CPC H01L 35/14(2013.01) H01L 35/14(2013.01) H01L 35/14(2013.01) H01L 35/14(2013.01) H01L 35/14(2013.01)
출원번호/일자 1020120125781 (2012.11.08)
출원인 한국세라믹기술원
등록번호/일자 10-1375620-0000 (2014.03.12)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20140401) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.11.08)
심사청구항수 14

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국세라믹기술원 대한민국 경상남도 진주시 소호로 ***

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 서원선 대한민국 서울 강남구
2 김경훈 대한민국 경기 안양시 만안구
3 최순목 대한민국 서울특별시 송파구
4 안종필 대한민국 경기 수원시 장안구
5 임영수 대한민국 서울특별시 서초구
6 송민석 대한민국 서울 강서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 고길수 대한민국 서울특별시 서초구 서초대로**길 **, *층 (서초동)(정석국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국세라믹기술원 경상남도 진주시 소호로 ***
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2012.11.08 수리 (Accepted) 1-1-2012-0916720-46
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2013.07.04 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2013.08.07 수리 (Accepted) 9-1-2013-0062364-30
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2013.10.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0722480-14
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2013.11.15 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-1040065-59
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2013.11.15 수리 (Accepted) 1-1-2013-1040084-16
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.01.03 수리 (Accepted) 4-1-2014-0000353-25
8 등록결정서
Decision to grant
2014.02.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0106395-94
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.03.31 수리 (Accepted) 4-1-2015-5040685-78
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
CoSb3 열전반도체에 제1 금속 플레이트, 제2 금속 플레이트, 은구리계 합금 플레이트 및 구리몰리브덴(CuMo) 전극이 순차적으로 적층되어 접합된 구조를 가지며, 상기 열전반도체와 상기 제2 금속 플레이트 사이의 접합력을 증진시키는 역할을 하는 상기 제1 금속 플레이트는 금(Au) 또는 금(Au) 합금으로 이루어지고, 구리(Cu) 또는 은(Ag)이 상기 열전반도체로 확산되는 것을 방지하는 역할을 하는 상기 제2 금속 플레이트는 티타늄(Ti) 금속 또는 티타늄(Ti) 합금으로 이루어지며, 상기 구리몰리브덴(CuMo) 전극은 구리(Cu)와 몰리브덴(Mo)이 부피비로 1:0
2 2
제1항에 있어서, 상기 은구리계 합금 플레이트는 은(Ag)과 구리(Cu)가 중량비로 10:90∼90:10의 비율로 이루어진 은구리(AgCu) 합금으로 이루어진 것을 특징으로 하는 열전소자
3 3
제1항에 있어서, 상기 은구리계 합금 플레이트는 은(Ag)과 구리(Cu) 성분 이외에 은(Ag)과 구리(Cu)의 전체 함량 100중량부에 대하여 아연(Zn), 카드뮴(Cd), 니켈(Ni), 주석(Sn), 망간(Mn) 및 인듐(In) 중에서 선택된 1종 이상의 금속 성분 1∼600중량부를 더 포함하는 합금으로 이루어진 것을 특징으로 하는 열전소자
4 4
제1항에 있어서, 상기 은구리계 합금 플레이트는, 은(Ag) 5∼90중량%, 구리(Cu) 5∼90중량% 및 아연(Zn) 1
5 5
삭제
6 6
제1항에 있어서, 상기 열전소자는, CoSb3 열전반도체의 제1면에 제1 금속 플레이트, 제2 금속 플레이트, 은구리계 합금 플레이트 및 구리몰리브덴(CuMo) 전극이 순차적으로 적층되어 접합된 구조로 이루어지고, CoSb3 열전반도체의 제2면에 제1 금속 플레이트, 제2 금속 플레이트, 은구리계 합금 플레이트 및 구리몰리브덴(CuMo) 전극이 순차적으로 적층되어 접합된 구조로 이루어진 것을 특징으로 하는 열전소자
7 7
(a) CoSb3 열전반도체, 제1 금속 플레이트, 제2 금속 플레이트, 은구리계 합금 플레이트 및 구리몰리브덴(CuMo) 전극을 준비하는 단계;(b) 상기 열전반도체, 상기 제1 금속 플레이트, 상기 제2 금속 플레이트, 상기 은구리계 합금 플레이트 및 상기 구리몰리브덴(CuMo) 전극을 접합하려는 면이 서로 닿도록 접촉시켜 몰드에 충진하고 방전 플라즈마 소결 장치의 챔버에 세팅하는 단계;(c) 상기 챔버 내부를 진공화시켜 감압하고, 상기 구리몰리브덴(CuMo) 전극, 상기 은구리계 합금 플레이트, 상기 제2 금속 플레이트, 상기 제1 금속 플레이트 및 상기 열전반도체를 가압하면서 직류펄스를 인가하여 열전반도체, 제1 금속, 제2 금속, 은구리계 합금 및 구리(Cu)의 용융 온도보다 낮은 목표하는 접합 온도로 상승시키는 단계;(d) 상기 구리몰리브덴(CuMo) 전극, 상기 은구리계 합금 플레이트, 상기 제2 금속 플레이트, 상기 제1 금속 플레이트 및 상기 열전반도체를 상기 접합 온도에서 가압하면서 상기 구리몰리브덴(CuMo) 전극과 상기 은구리계 합금 플레이트, 상기 은구리계 합금 플레이트와 상기 제2 금속 플레이트, 상기 제2 금속 플레이트와 상기 제1 금속 플레이트, 상기 제1 금속 플레이트와 상기 열전반도체가 서로 접합되게 하는 단계; 및(e) 상기 챔버의 온도를 냉각하여 열전소자를 얻는 단계를 포함하며, 상기 열전반도체와 상기 제2 금속 플레이트 사이의 접합력을 증진시키는 역할을 하는 상기 제1 금속 플레이트는 금(Au) 또는 금(Au) 합금으로 이루어지고, 구리(Cu) 또는 은(Ag)이 상기 열전반도체로 확산되는 것을 방지하는 역할을 하는 상기 제2 금속 플레이트는 티타늄(Ti) 금속 또는 티타늄(Ti) 합금으로 이루어지며, 상기 구리몰리브덴(CuMo) 전극은 구리(Cu)와 몰리브덴(Mo)이 부피비로 1:0
8 8
제7항에 있어서, 상기 열전반도체의 준비는,CoSb3 분말을 몰드에 충진하고 방전 플라즈마 소결 장치의 챔버에 세팅하는 단계; 상기 챔버 내부를 진공화시켜 감압하고 상기 CoSb3 분말을 가압하면서 직류펄스를 인가하여 CoSb3 분말의 용융 온도보다 낮은 목표하는 소결 온도로 상승시키는 단계; 상기 소결 온도에서 상기 CoSb3 분말을 가압하면서 상기 CoSb3 분말을 방전 플라즈마 소결하는 단계; 및 상기 챔버의 온도를 냉각하여 CoSb3 열전반도체를 얻는 단계를 포함하는 열전소자의 제조방법
9 9
제7항에 있어서, 상기 구리몰리브덴(CuMo) 전극의 준비는,Cu 분말과 Mo 분말을 몰드에 충진하고 방전 플라즈마 소결 장치의 챔버에 세팅하는 단계; 상기 챔버 내부를 진공화시켜 감압하고 상기 Cu 분말과 상기 Mo 분말을 가압하면서 직류펄스를 인가하여 Cu 분말과 Mo 분말의 용융 온도보다 낮은 목표하는 소결 온도로 상승시키는 단계; 상기 소결 온도에서 상기 Cu 분말과 상기 Mo 분말을 가압하면서 Cu 분말과 Mo 분말을 방전 플라즈마 소결하는 단계; 및 상기 챔버의 온도를 냉각하여 구리몰리브덴(CuMo) 전극을 얻는 단계를 포함하는 열전소자의 제조방법
10 10
제9항에 있어서, 상기 구리(Cu) 분말과 상기 몰리브덴(Mo) 분말은 부피비로 1:0
11 11
제7항에 있어서, 상기 은구리계 합금 플레이트는 은(Ag)과 구리(Cu)가 중량비로 10:90∼90:10의 비율로 이루어진 은구리(AgCu) 합금으로 이루어진 것을 특징으로 하는 열전소자의 제조방법
12 12
제7항에 있어서, 상기 은구리계 합금 플레이트는 은(Ag)과 구리(Cu) 성분 이외에 은(Ag)과 구리(Cu)의 전체 함량 100중량부에 대하여 아연(Zn), 카드뮴(Cd), 니켈(Ni), 주석(Sn), 망간(Mn) 및 인듐(In) 중에서 선택된 1종 이상의 금속 성분 1∼600중량부를 더 포함하는 합금으로 이루어진 것을 특징으로 하는 열전소자의 제조방법
13 13
제7항에 있어서, 상기 은구리계 합금 플레이트는, 은(Ag) 5∼90중량%, 구리(Cu) 5∼90중량% 및 아연(Zn) 1
14 14
제7항에 있어서, 상기 열전소자는, CoSb3 열전반도체의 제1면에 제1 금속 플레이트, 제2 금속 플레이트, 은구리계 합금 플레이트 및 구리몰리브덴(CuMo) 전극이 순차적으로 적층되어 접합된 구조로 이루어지고, CoSb3 열전반도체의 제2면에 제1 금속 플레이트, 제2 금속 플레이트, 은구리계 합금 플레이트 및 구리몰리브덴(CuMo) 전극이 순차적으로 적층되어 접합된 구조로 이루어진 것을 특징으로 하는 열전소자의 제조방법
15 15
제7항에 있어서, 상기 구리몰리브덴(CuMo) 전극, 상기 은구리계 합금 플레이트, 상기 제2 금속 플레이트, 상기 제1 금속 플레이트 및 상기 열전반도체의 가압은 1축 방향으로 이루어지고, 직류펄스는 가압방향과 평행한 방향으로 인가하며, 상기 구리몰리브덴(CuMo) 전극과 상기 은구리계 합금 플레이트, 상기 은구리계 합금 플레이트와 상기 제2 금속 플레이트, 상기 제2 금속 플레이트와 상기 제1 금속 플레이트, 상기 제1 금속 플레이트와 상기 열전반도체가 서로 접합되는 접합 온도는 500∼580℃이고, 상기 접합 온도에서 5분∼6시간 동안 유지되어 접합되며, 상기 챔버 내부는 1
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 지식경제부 한국세라믹기술원 소재원천기술개발사업 차세대 열전반도체 고차 나노구조 소재기술 개발