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수소 분리막 제조방법

  • 기술번호 : KST2016000689
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은, 성막 챔버 내에 구비된 회동 가능한 홀더에 연동되게 관형 지지체를 설치하는 단계와, 상기 성막 챔버 내부를 일정 압력으로 유지하는 단계와, 유량제어수단을 통해 운반가스를 BaCe0.9-M-NLaMZrNY0.1O3계 산화물 분말(여기서 M, N은 실수이고 0≤M≤0.6이고, 0≤N≤0.6이며, 0≤M＋N≤0.6임)이 놓인 공간으로 공급하여 상기 BaCe0.9-M-NLaMZrNY0.1O3계 산화물 분말을 에어로졸화하는 단계와, 형성된 에어로졸을 압력차에 의해 성막 챔버 내의 노즐로 공급하는 단계 및 상기 노즐의 분사구와 성막하려는 관형 지지체 사이의 거리가 2～20㎜ 범위로 일정하게 유지되게 하면서 상기 관형 지지체를 향해 에어로졸이 분사되게 하여 상기 관형 지지체에 분사된 에어로졸이 충격에 의하여 분쇄되면서 성막되어 혼합 전도성을 갖는 BaCe0.9-M-NLaMZrNY0.1O3 막을 형성하는 단계를 포함하는 수소 분리막 제조방법에 관한 것이다. 본 발명에 의한 수소 분리막 제조방법에 의하면, 관형 지지체에 안정하고 균일한 두께의 수소 분리막을 성막할 수 있고, 제조가 용이하여 대량 생산이 가능하며, 관형 지지체와 수소 분리막 사이에 화학적 반응이 일어나지 않아 제2 상이 형성되지 않으며, 관형 지지체 표면에 결함이 없이 치밀한 막이 형성될 수가 있다.에어로졸 성막법, 수소 분리막, 관형 지지체, 혼합 전도성 산화물
Int. CL C01B 3/50 (2006.01) B01D 69/10 (2006.01) B01D 71/00 (2006.01)
CPC B01D 67/0039(2013.01) B01D 67/0039(2013.01) B01D 67/0039(2013.01) B01D 67/0039(2013.01) B01D 67/0039(2013.01) B01D 67/0039(2013.01) B01D 67/0039(2013.01) B01D 67/0039(2013.01) B01D 67/0039(2013.01)
출원번호/일자 1020090104153 (2009.10.30)
출원인 한국세라믹기술원
등록번호/일자 10-1123397-0000 (2012.02.27)
공개번호/일자 10-2011-0047498 (2011.05.09) 문서열기
공고번호/일자 (20120323) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2009.10.30)
심사청구항수 9

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국세라믹기술원 대한민국 경상남도 진주시 소호로 ***

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 황광택 대한민국 서울특별시 강동구
2 김진호 대한민국 서울특별시 강동구
3 박영수 대한민국 경기도 성남시 중원구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 고길수 대한민국 서울특별시 서초구 서초대로**길 **, *층 (서초동)(정석국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국세라믹기술원 경상남도 진주시 소호로 ***
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2009.10.30 수리 (Accepted) 1-1-2009-0668511-11
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2011.01.25 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2011.02.21 수리 (Accepted) 9-1-2011-0015690-49
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2011.05.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0257614-92
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2011.07.13 수리 (Accepted) 1-1-2011-0536367-84
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2011.08.04 수리 (Accepted) 1-1-2011-0603730-16
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2011.08.04 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0603693-14
8 등록결정서
Decision to grant		 2012.02.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0094609-74
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.01.03 수리 (Accepted) 4-1-2014-0000353-25
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.03.31 수리 (Accepted) 4-1-2015-5040685-78
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번호 청구항
1 1
(a) 성막 챔버 내에 구비된 회동 가능한 홀더에 연동되게 관형 지지체를 설치하는 단계;(b) 상기 성막 챔버 내부를 일정 압력으로 유지하는 단계;(c) 유량제어수단을 통해 운반가스를 BaCe0
2 2
(a) 성막 챔버 내에 구비된 회동 가능한 홀더에 연동되게 관형 지지체를 설치하는 단계;(b) 상기 성막 챔버 내부를 일정 압력으로 유지하는 단계;(c) 유량제어수단을 통해 운반가스를 BaCe0
3 3
(a) 성막 챔버 내에 구비된 회동 가능한 홀더에 연동되게 관형 지지체를 설치하는 단계;(b) 상기 성막 챔버 내부를 일정 압력으로 유지하는 단계;(c) 유량제어수단을 통해 운반가스를 BaCe0
4 4
제1항 내지 제3항 중 어느 하나의 항에 있어서, 상기 관형 지지체에 균일한 두께로 성막이 이루어지게 하기 위하여 상기 노즐의 직선 이동은 0
5 5
제1항 내지 제3항 중 어느 하나의 항에 있어서, 상기 관형 지지체에 균일한 두께로 성막이 이루어지게 하기 위하여 상기 관형 지지체의 회전은 1～10 rpm의 속도로 이루어지는 것을 특징으로 하는 수소 분리막 제조방법
6 6
제1항 내지 제3항 중 어느 하나의 항에 있어서, 성막이 이루어지는 동안 상기 성막 챔버 내부의 압력은 1～760torr 범위로 유지되며, 상기 운반가스는 공기(Air), 산소(O2), 질소(N2), 아르곤(Ar) 또는 헬륨(He)인 것을 특징으로 하는 수소 분리막 제조방법
7 7
제1항 내지 제3항 중 어느 하나의 항에 있어서, 상기 BaCe0
8 8
제1항 내지 제3항 중 어느 하나의 항에 있어서, 상기 관형 지지체는 수소 분리막이 사용되는 온도인 300～900℃에서 변형이 일어나지 않는 세라믹 재질인 SiC, Al2O3, ZrO2 및 AlTiO3 중에서 선택된 1종 이상의 물질로 이루어진 것을 특징으로 하는 수소 분리막 제조방법
9 9
제1항 내지 제3항 중 어느 하나의 항에 있어서, 상기 BaCe0
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.