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측정 입사 레이저 빔이 시편으로 조사된 후 상기 시편으로부터 반사되는 측정 반사 레이저 빔을 검출하고, 상기 측정 반사 레이저 빔과 기준 레이저 빔의 간섭으로 생성되는 간섭 레이저 빔을 이용하여, 상기 시편에 대해 검사하는 왜곡보정 레이저 간섭 수단; 및
상기 시편을 가열하고, 상기 가열에 따른 상기 시편의 재료 변형과 시편 지지대의 변형에 의해 왜곡된 상기 측정 반사 레이저 빔의 광경로가, 상기 측정 입사 레이저 빔의 광경로에 대해 역방향의 같은 광경로가 되도록, 상기 측정 반사 레이저 빔의 광경로 왜곡을 보정하는 왜곡보정 가열 수단
을 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저초음파의 다중측정을 이용한 고온재료 원격검사 장치
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제1항에 있어서,
상기 왜곡보정 레이저 간섭 수단은,
상기 가열에 따라 발생되는 대기 난류에 의해 왜곡된 상기 측정 반사 레이저 빔의 광경로를 보정하여, 상기 측정 반사 레이저 빔이 광굴절 결정부에서 기준 레이저 빔과 만나도록 보정하는 것을 특징으로 하는 레이저초음파의 다중측정을 이용한 고온재료 원격검사 장치
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제1항에 있어서,
측정용 레이저 빔의 위치를 제어하고, 시편상에 조사되는 측정 입사 레이저 빔의 위치와 측정 반사 레이저 빔의 위치를 측정하는 기능을 수행하는 스캐닝 수단
을 더 포함하고,
(1) 상기 왜곡보정 가열 수단은,
스캐닝 수단의 위치관측 카메라부에서 측정되는 측정 반사 레이저 빔의 위치 이동이 기준치 보다 작은 저속으로 이동되는 광경로 왜곡을 시편재료의 변형과 시편지지대의 재료 변형으로 인한 광경로 왜곡으로 식별하고, 측정 입사 레이저 빔의 위치를 기준으로 기준시간 이상 동안의 측정 반사 레이저 빔의 평균 이동 위치를 광경로 왜곡량으로 판단하며, 상기 광경로 왜곡과 상기 광경로 왜곡량을 변형보정계를 제어하여 보정하고,
(2) 상기 왜곡보정 레이저 간섭 수단은,
상기 측정 반사 레이저 빔의 위치 이동이 기준치 보다 빠른 고속으로 이동하는 광경로 왜곡을 대기 난류에 의한 광경로 왜곡으로 식별하고, 상기 광경로 왜곡을 기울기 거울부를 제어하여 보정하는 것을 특징으로 하는 레이저초음파의 다중측정을 이용한 고온재료 원격검사 장치
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제1항에 있어서,
광센서부의 센서 중앙부에 간섭 레이저 빔이 입사되게 상기 간섭 레이저 빔의 광경로를 보정하는 왜곡보정 광센서 수단
을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저초음파의 다중측정을 이용한 고온재료 원격검사 장치
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제1항에 있어서,
상기 왜곡보정 레이저 간섭 수단은,
상기 시편에 상기 측정 입사 레이저 빔을 조사하고, 상기 조사된 측정 입사 레이저 빔에 상응하여 상기 시편으로부터 반사된 측정 반사 레이저 빔을 기준 레이저 빔과 간섭시켜 상기 간섭 레이저 빔을 생성하고, 상기 간섭 레이저 빔을 이용하여 상기 시편의 내부에서 발생된 초음파 공진 신호를 측정하고, 상기 측정된 초음파 공진 신호를 분석하여 상기 시편을 검사하는 것을 특징으로 하는 레이저초음파의 다중측정을 이용한 고온재료 원격검사 장치
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제1항에 있어서,
상기 시편으로 펄스 레이저 빔을 조사하되, 상기 펄스 레이저 빔의 조사위치가 상기 시편 내 표적위치에 조사되지 않는 경우, 포함하는 위치제어 45도 거울부를 이용하여 상기 펄스 레이저 빔의 조사위치를 조정하고,
시편 상에 조사되는 펄스 레이저 빔의 위치를 위치제어 45도 거울부 뒷면에 위치한 위치관측 카메라부로 확인하는 초음파 발생 빔 조사 수단
을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저초음파의 다중측정을 이용한 고온재료 원격검사 장치
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제1항에 있어서,
위치제어 45도 거울부를 경유하여 상기 시편으로 조사되는 상기 측정 입사 레이저 빔이, 상기 시편의 각 영역으로 조사되도록 상기 위치제어 45도 거울부를 제어하는 스캐닝 수단
을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저초음파의 다중측정을 이용한 고온재료 원격검사 장치
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제1항에 있어서,
상기 시편에 조사되는 측정 입사 레이저 빔이 복수 개인 경우,
상기 왜곡보정 레이저 간섭 수단은,
상기 복수 개의 측정 입사 레이저 빔에 상응하여 상기 시편으로부터 반사된 복수 개의 측정 반사 레이저 빔을, 기준 레이저 빔과 각각 간섭시켜, 복수 개의 간섭 레이저 빔을 생성하고,
상기 복수 개의 간섭 레이저 빔을 이용하여 상기 시편의 내부에서 발생된 초음파 공진 신호를 각각 측정하고, 상기 측정된 각각의 초음파 공진 신호를 복수로 상호 검증 분석하여 상기 시편을 검사하는 것을 특징으로 하는 레이저초음파의 다중측정을 이용한 고온재료 원격검사 장치
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