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계층화 구조물 제조 장치
- 기술번호 : KST2016002453
- 담당센터 : 대전기술혁신센터
- 전화번호 : 042-610-2279
| 요약 | 본 발명은 고성능의 미소유닛을 유연한 기판 상에 계층적으로 형성할 수 있는 대량 생산 제조장치인 계층화 구조물 제조 장치에 관한 것이다. 이를 위한 본 발명의 계층화 구조물 제조 장치는, 단단한 재질의 더미기판(dummy substrate) 상에 구비된 미소유닛을 릴리스(release)하여 유연한 재질의 타겟기판(target substrate) 상에 적층하기 위한 계층화 구조물 제조 장치에 있어서, 상기 더미기판을 지지하여 평면이송시키는 이송스테이지; 및 상기 더미기판과 상기 타겟기판이 서로 압착되도록 상기 타겟기판을 감아 롤링시킴에 따라 상기 더미기판의 미소유닛이 상기 타겟기판에 적층되게 하는 메인롤러;를 포함하여 구성된다. 계층화, 구조물, 적층, 유연, 플렉서블 |
|---|---|
| Int. CL | H01L 21/677 (2006.01) |
| CPC | H01L 21/6836(2013.01) H01L 21/6836(2013.01) H01L 21/6836(2013.01) H01L 21/6836(2013.01) H01L 21/6836(2013.01) H01L 21/6836(2013.01) H01L 21/6836(2013.01) H01L 21/6836(2013.01) H01L 21/6836(2013.01) H01L 21/6836(2013.01) H01L 21/6836(2013.01) |
| 출원번호/일자 | 1020080096815 (2008.10.01) |
| 출원인 | 한국기계연구원 |
| 등록번호/일자 | 10-1022017-0000 (2011.03.07) |
| 공개번호/일자 | 10-2010-0037476 (2010.04.09) 문서열기 |
| 공고번호/일자 | (20110316) 문서열기 |
| 국제출원번호/일자 | |
| 국제공개번호/일자 | |
| 우선권정보 | |
| 법적상태 | 등록 |
| 심사진행상태 | 수리 |
| 심판사항 | |
| 구분 | 신규 |
| 원출원번호/일자 | |
| 관련 출원번호 | |
| 심사청구여부/일자 | Y (2008.10.01) |
| 심사청구항수 | 27 |
출원인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 한국기계연구원 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
발명자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 김재현 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
| 2 | 이학주 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
| 3 | 현승민 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
| 4 | 한승우 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
| 5 | 최병익 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
대리인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 팬코리아특허법인 | 대한민국 | 서울특별시 강남구 논현로**길 **, 역삼***빌딩 (역삼동) |
최종권리자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 한국기계연구원 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | [특허출원]특허출원서 [Patent Application] Patent Application |
2008.10.01 | 수리 (Accepted) | 1-1-2008-0691607-01 |
| 2 | 선행기술조사의뢰서 Request for Prior Art Search |
2010.05.19 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
| 3 | 선행기술조사보고서 Report of Prior Art Search |
2010.06.16 | 수리 (Accepted) | 9-1-2010-0036187-97 |
| 4 | [대리인사임]대리인(대표자)에 관한 신고서 [Resignation of Agent] Report on Agent (Representative) |
2010.08.02 | 수리 (Accepted) | 1-1-2010-0497562-97 |
| 5 | [대리인사임]대리인(대표자)에 관한 신고서 [Resignation of Agent] Report on Agent (Representative) |
2010.08.02 | 수리 (Accepted) | 1-1-2010-0497554-21 |
| 6 | [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서 [Appointment of Agent] Report on Agent (Representative) |
2010.08.10 | 수리 (Accepted) | 1-1-2010-0514347-21 |
| 7 | 의견제출통지서 Notification of reason for refusal |
2010.09.30 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2010-0435746-06 |
| 8 | [명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment |
2010.10.29 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2010-0705513-39 |
| 9 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation) |
2010.10.29 | 수리 (Accepted) | 1-1-2010-0705510-03 |
| 10 | 등록결정서 Decision to grant |
2011.02.21 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2011-0097110-84 |
| 11 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2011.04.08 | 수리 (Accepted) | 4-1-2011-5069919-31 |
| 12 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2011.04.08 | 수리 (Accepted) | 4-1-2011-5069914-14 |
| 13 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2017.11.28 | 수리 (Accepted) | 4-1-2017-5193093-72 |
| 번호 | 청구항 |
|---|---|
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9 단단한 재질의 더미기판(dummy substrate) 상에 구비된 미소유닛을 릴리스(release)하여 유연한 재질의 타겟기판(target substrate) 상에 적층하기 위한 계층화 구조물 제조 장치에 있어서, 상기 더미기판을 지지하여 평면이송시키는 이송스테이지; 상기 더미기판 및 상기 미소유닛에 대하여 컨포멀 디포메이션 하도록 유연성을 가지고, 상기 더미기판과 맞닿아 압착회전함에 따라 상기 더미기판의 상기 미소유닛이 외주부에 부착되는 보조롤러; 및 상기 보조롤러와 상기 타겟기판이 서로 압착되도록 상기 타겟기판을 감아 롤링시킴에 따라 상기 보조롤러의 외주부에 부착된 상기 미소유닛이 상기 타겟기판에 적층되게 하는 메인롤러;를 포함하며, 상기 미소유닛은 0 |
| 10 |
10 제9항에 있어서, 상기 보조롤러의 일측에는 상기 더미기판과 상기 미소유닛 간의 점착력보다 큰 점착력을 상기 보조롤러와 상기 미소유닛 간에 제공하기 위한 제1점착처리수단이 구비된 것을 특징으로 하는 계층화 구조물 제조 장치 |
| 11 |
11 제10항에 있어서, 상기 제1점착처리수단은, 플라즈마를 이용한 표면처리장치, 자기조립 단분자막(Self-assembled monolayers, SAMs)을 이용한 표면처리장치, 레이저, 자외선 또는 이온빔을 조사하는 조사장치 중에서 선택된 장치이거나, 제1온도제어장치로 구성되고, 상기 제1온도제어장치는, 상기 더미기판의 온도보다 상기 보조롤러의 외주부 온도가 낮도록 온도제어하는 것을 특징으로 하는 계층화 구조물 제조 장치 |
| 12 |
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13 제9항에 있어서, 상기 보조롤러는, 상기 더미기판과 맞닿아 압착회전함에 따라 상기 더미기판의 상기 미소유닛을 외주부에 부착하며, 소정의 두께를 갖는 유연한 폴리머층과 상기 폴리머층 내에 구비되며 단단한 코어를 포함하는 계층화 구조물 제조 장치 |
| 14 |
14 제13항에 있어서, 상기 폴리머층은 PDMS(polydimethylsiloxane)로 이루어지고, 상기 코어는 상기 폴리머층보다 단단한 스테인리스강이나 알루미늄으로 이루어지는 계층화 구조물 제조 장치 |
| 15 |
15 제9항에 있어서, 상기 메인롤러의 일측에는 상기 보조롤러와 상기 미소유닛 간의 점착력보다 큰 점착력을 상기 타겟기판과 상기 미소유닛 간에 제공하기 위한 제2점착처리수단이 구비된 것을 특징으로 하는 계층화 구조물 제조 장치 |
| 16 |
16 제15항에 있어서, 상기 제2점착처리수단은, 플라즈마를 이용한 표면처리장치, 자기조립 단분자막(Self-assembled monolayers, SAMs)을 이용한 표면처리장치, 레이저, 자외선 또는 이온빔을 조사하는 조사장치 중에서 선택된 장치이거나, 제2온도제어장치로 구성되고, 상기 제2온도제어장치는, 상기 보조롤러의 외주부의 온도보다 상기 타겟기판의 온도가 낮도록 온도제어하는 것을 특징으로 하는 계층화 구조물 제조 장치 |
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20 제9항에 있어서, 상기 보조롤러의 일측에는 상기 더미기판과 상기 미소유닛 간의 점착력보다 큰 점착력을 상기 보조롤러와 상기 미소유닛 간에 제공하기 위한 제1점착처리수단이 구비되고, 상기 보조롤러의 타측에는 상기 보조롤러와 상기 미소유닛 간의 점착력보다 큰 점착력을 상기 타겟기판과 상기 미소유닛 간에 제공하기 위한 제2점착처리수단이 구비된 것을 특징으로 하는 계층화 구조물 제조 장치 |
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26 제9항에 있어서, 상기 보조롤러는, 상기 더미기판 상에 마련된 상기 미소유닛을 릴리스하여 상기 타겟기판에 적층하도록 외주면에 요철부를 가지는 소정의 패턴을 갖는 것을 특징으로 하는 계층화 구조물 제조 장치 |
| 27 |
27 단단한 재질의 더미기판(dummy substrate) 상에 구비된 미소유닛을 릴리스(release)하여 유연한 재질의 타겟기판(target substrate) 상에 적층하기 위한 계층화 구조물 제조 장치에 있어서, 상기 더미기판을 지지하여 평면이송시키는 이송스테이지; 상기 더미기판과 근접한 위치에 설치된 제1보조롤러; 상기 제1보조롤러와 소정거리 이격되어 설치된 제2보조롤러; 상기 제1보조롤러와 제2보조롤러에 감겨 순환되고, 상기 더미기판 및 상기 제1보조롤러에 대하여 컨포멀 디포메이션 하도록 유연성을 가지며, 상기 제1보조롤러에 의해 상기 더미기판에 맞닿아 압착되어 상기 더미기판의 미소유닛이 부착되는 링벨트; 및 상기 제2보조롤러에 의해 상기 링벨트가 상기 타겟기판과 압착되도록 상기 타겟기판의 공급측에 위치된 제1텐션롤러 및 배출측에 위치된 제2텐션롤러;를 포함하며, 상기 미소유닛은 0 |
| 28 |
28 제27항에 있어서, 상기 제1보조롤러의 일측에는 상기 더미기판과 상기 미소유닛 간의 점착력보다 큰 점착력을 상기 제1보조롤러와 상기 미소유닛 간에 제공하기 위한 제3점착처리수단이 구비된 것을 특징으로 하는 계층화 구조물 제조 장치 |
| 29 |
29 제28항에 있어서, 상기 제3점착처리수단은, 플라즈마를 이용한 표면처리장치, 자기조립 단분자막(Self-assembled monolayers, SAMs)을 이용한 표면처리장치, 레이저, 자외선 또는 이온빔을 조사하는 조사장치 중에서 선택된 장치이거나, 제3온도제어장치로 구성되고, 상기 제3온도제어장치는 상기 더미기판의 온도보다 상기 링벨트의 온도가 낮도록 온도제어하는 것을 특징으로 하는 계층화 구조물 제조 장치 |
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33 제27항에 있어서, 상기 제2보조롤러의 일측에는 상기 제1보조롤러와 상기 미소유닛 간의 점착력보다 큰 점착력을 상기 타겟기판과 상기 미소유닛 간에 제공하기 위한 제4점착처리수단이 구비된 것을 특징으로 하는 계층화 구조물 제조 장치 |
| 34 |
34 제33항에 있어서, 상기 제4점착처리수단은, 플라즈마를 이용한 표면처리장치, 자기조립 단분자막(Self-assembled monolayers, SAMs)을 이용한 표면처리장치, 레이저, 자외선 또는 이온빔을 조사하는 조사장치 중에서 선택된 장치이거나, 제4온도제어장치로 구성되고, 상기 제4온도제어장치는, 상기 링벨트의 온도보다 상기 타겟기판의 온도가 낮도록 온도제어하는 것을 특징으로 하는 계층화 구조물 제조 장치 |
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38 제27항에 있어서, 상기 제1보조롤러의 일측에는 상기 더미기판과 상기 미소유닛 간의 점착력보다 큰 점착력을 상기 제1보조롤러와 상기 미소유닛 간에 제공하기 위한 제3점착처리수단이 구비되고, 상기 제2보조롤러의 일측에는 상기 제1보조롤러와 상기 미소유닛 간의 점착력보다 큰 점착력을 상기 타겟기판과 상기 미소유닛 간에 제공하기 위한 제4점착처리수단이 구비된 것을 특징으로 하는 계층화 구조물 제조 장치 |
| 39 |
39 삭제 |
| 40 |
40 제27항에 있어서, 상기 제2텐션롤러의 일측에는 상기 미소유닛이 적층된 타겟기판으로 도포액을 분사하는 분사노즐이 구비된 것을 특징으로 하는 계층화 구조물 제조 장치 |
| 41 |
41 제27항에 있어서, 상기 링벨트는 메탈시트의 일측에 제1폴리머층이 일체형으로 형성되고, 상기 제1폴리머층에 상기 더미기판의 상기 미소유닛이 부착되는 것을 특징으로 하는 계층화 구조물 제조 장치 |
| 42 |
42 제41항에 있어서, 상기 링벨트는 뫼비우스의 띠 형상으로 이루어짐과 동시에 상기 메탈시트의 타측에 제2폴리머층이 일체형으로 형성되고, 상기 제1 및 제2폴리머층에 상기 더미기판의 상기 미소유닛이 부착되는 것을 특징으로 하는 계층화 구조물 제조 장치 |
| 43 |
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| 44 |
44 제27항에 있어서, 상기 제2보조롤러와 대향되는 위치에 상기 타겟기판에 적층되는 미소유닛의 정렬 상태를 감시하고, 상기 미소유닛의 정렬 상태를 제어하는 정렬제어모듈이 구비된 것을 특징으로 하는 계층화 구조물 제조 장치 |
| 45 |
45 단단한 재질의 더미기판(dummy substrate) 상에 구비된 미소유닛을 릴리스(release)하여 유연한 재질의 타겟기판(target substrate) 상에 적층하기 위한 계층화 구조물 제조 장치에 있어서, 상기 더미기판을 지지하여 평면이송시키는 이송스테이지; 상기 더미기판과 근접한 위치에 설치된 보조롤러; 상기 보조롤러와 소정거리 이격되어 설치된 메인롤러; 및 뫼비우스의 띠 형상으로 이루어지며, 상기 보조롤러와 상기 메인롤러에 감겨 순환되고, 상기 더미기판 및 상기 보조롤러에 대하여 컨포멀 디포메이션 하도록 유연성을 가지며, 상기 보조롤러에 의해 상기 더미기판에 맞닿아 압착되어 상기 더미기판의 미소유닛이 부착되는 링벨트;를 포함하여 이루어지고, 상기 타겟기판은, 상기 메인롤러와 상기 링벨트 사이의 일측으로 공급되어 상기 메인롤러와 상기 링벨트 사이의 타측으로 배출되면서, 상기 미소유닛을 상기 링벨트로부터 릴리스하여 적층하며, 상기 미소유닛은 0 |
| 46 |
46 제45항에 있어서, 상기 보조롤러의 일측에는 상기 더미기판과 상기 미소유닛 간의 점착력보다 큰 점착력을 상기 링벨트와 상기 미소유닛 간에 제공하기 위한 제5점착처리수단이 구비된 것을 특징으로 하는 계층화 구조물 제조 장치 |
| 47 |
47 제46항에 있어서, 상기 제5점착처리수단은, 플라즈마를 이용한 표면처리장치, 자기조립 단분자막(Self-assembled monolayers, SAMs)을 이용한 표면처리장치, 레이저, 자외선 또는 이온빔을 조사하는 조사장치 중에서 선택된 장치이거나, 제5온도제어장치로 구성되고, 상기 제5온도제어장치는, 상기 더미기판의 온도보다 상기 링벨트의 온도가 낮도록 온도제어하는 것을 특징으로 하는 계층화 구조물 제조 장치 |
| 48 |
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| 50 |
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| 51 |
51 제46항에 있어서, 상기 메인롤러의 일측에는 상기 링벨트와 상기 미소유닛 간의 점착력보다 큰 점착력을 상기 타겟기판과 상기 미소유닛 간에 제공하기 위한 제6점착처리수단이 구비된 것을 특징으로 하는 계층화 구조물 제조 장치 |
| 52 |
52 제51항에 있어서, 상기 제6점착처리수단은, 플라즈마를 이용한 표면처리장치, 자기조립 단분자막(Self-assembled monolayers, SAMs)을 이용한 표면처리장치, 레이저, 자외선 또는 이온빔을 조사하는 조사장치 중에서 선택되는 장치이거나, 제6온도제어장치로 구성되고, 상기 제6온도제어장치는, 상기 링벨트의 온도보다 상기 타겟기판의 온도가 낮도록 온도제어하는 것을 특징으로 하는 계층화 구조물 제조 장치 |
| 53 |
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| 54 |
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| 55 |
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| 56 |
56 제45항에 있어서, 상기 보조롤러의 일측에는 상기 더미기판과 상기 미소유닛 간의 점착력보다 큰 점착력을 상기 링벨트와 상기 미소유닛 간에 제공하기 위한 제5점착처리수단이 구비되고, 상기 메인롤러의 일측에는 상기 링벨트와 상기 미소유닛 간의 점착력보다 큰 점착력을 상기 타겟기판과 상기 미소유닛 간에 제공하기 위한 제6점착처리수단이 구비된 것을 특징으로 하는 계층화 구조물 제조 장치 |
| 57 |
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| 58 |
58 제45항에 있어서, 상기 링벨트는 메탈시트의 일측에 제3폴리머층이 일체형으로 형성되고, 상기 제3폴리머층에 상기 더미기판의 상기 미소유닛이 부착되는 것을 특징으로 하는 계층화 구조물 제조 장치 |
| 59 |
59 제58항에 있어서, 상기 링벨트는 상기 메탈시트의 타측에 제4폴리머층이 일체형으로 형성되고, 상기 제3 및 제4폴리머층에 상기 더미기판의 상기 미소유닛이 부착되는 것을 특징으로 하는 계층화 구조물 제조 장치 |
| 60 |
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| 지정국 정보가 없습니다 |
|---|
| 순번 | 패밀리번호 | 국가코드 | 국가명 | 종류 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | US09281230 | US | 미국 | FAMILY |
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DOCDB 패밀리 정보
| 순번 | 패밀리번호 | 국가코드 | 국가명 | 종류 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | US2012118506 | US | 미국 | DOCDBFAMILY |
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| 순번 | 연구부처 | 주관기관 | 연구사업 | 연구과제 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | 과학기술부 | 한국기계연구원 | 21세기 프론티어 사업 | 10nm급 측정 원천기술개발 |
- 본 등록정보는 참고용으로 법적증빙자료로 사용할 수 없습니다.
- 데이터 이관에 따른 소요기간(1일)으로 인하여 등록원부와 일부 차이가 발생할 수 있으며, 일부 정보(부기, 상세 주소 등)를 제공하지 않고 있습니다.
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| 특허 등록번호 | 10-1022017-0000 |
|---|
권리란
| 표시번호 | 사항 |
|---|---|
| 1 |
출원 연월일 : 20081001 출원 번호 : 1020080096815 공고 연월일 : 20110316 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20110221 청구범위의 항수 : 27 유별 : H01L 21/677 발명의 명칭 : 계층화 구조물 제조 장치 존속기간(예정)만료일 : |
특허권자란
| 순위번호 | 사항 |
|---|---|
| 1 |
(권리자) 한국기계연구원 대전광역시 유성구... |
등록료란
| 제 1 - 3 년분 | 금 액 | 549,000 원 | 2011년 03월 07일 | 납입 |
| 제 4 년분 | 금 액 | 634,000 원 | 2013년 12월 06일 | 납입 |
| 제 5 년분 | 금 액 | 634,000 원 | 2014년 12월 30일 | 납입 |
| 제 6 년분 | 금 액 | 634,000 원 | 2015년 12월 08일 | 납입 |
| 제 7 년분 | 금 액 | 788,200 원 | 2016년 12월 07일 | 납입 |
| 제 8 년분 | 금 액 | 788,200 원 | 2017년 12월 04일 | 납입 |
| 제 9 년분 | 금 액 | 563,000 원 | 2018년 12월 11일 | 납입 |
| 제 10 년분 | 금 액 | 862,500 원 | 2019년 12월 10일 | 납입 |
- 본 '원본보기 서비스'는 참고용이므로, 일부 오류 및 누락이 발생할 수 있습니다.
- 정확한 서류를 확인하시려면 해당 웹사이트에서 조회하시기 바랍니다. (특허로 바로가기: http://www.patent.go.kr)
- 해당 서비스는 점검으로 인해 매주 일요일 00:00 ~ 02:00까지 이용이 중단됩니다.
| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | [특허출원]특허출원서 | 2008.10.01 | 수리 (Accepted) | 1-1-2008-0691607-01 |
| 2 | 선행기술조사의뢰서 | 2010.05.19 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
| 3 | 선행기술조사보고서 | 2010.06.16 | 수리 (Accepted) | 9-1-2010-0036187-97 |
| 4 | [대리인사임]대리인(대표자)에 관한 신고서 | 2010.08.02 | 수리 (Accepted) | 1-1-2010-0497562-97 |
| 5 | [대리인사임]대리인(대표자)에 관한 신고서 | 2010.08.02 | 수리 (Accepted) | 1-1-2010-0497554-21 |
| 6 | [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서 | 2010.08.10 | 수리 (Accepted) | 1-1-2010-0514347-21 |
| 7 | 의견제출통지서 | 2010.09.30 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2010-0435746-06 |
| 8 | [명세서등 보정]보정서 | 2010.10.29 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2010-0705513-39 |
| 9 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 | 2010.10.29 | 수리 (Accepted) | 1-1-2010-0705510-03 |
| 10 | 등록결정서 | 2011.02.21 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2011-0097110-84 |
| 11 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2011.04.08 | 수리 (Accepted) | 4-1-2011-5069919-31 |
| 12 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2011.04.08 | 수리 (Accepted) | 4-1-2011-5069914-14 |
| 13 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2017.11.28 | 수리 (Accepted) | 4-1-2017-5193093-72 |
| 기술정보가 없습니다 |
|---|
| 과제고유번호 | 1345162556 |
|---|---|
| 세부과제번호 | 14-2008-05-001-00 |
| 연구과제명 | 10nm급 나노측정 원천기술개발 |
| 성과구분 | 등록 |
| 부처명 | 교육과학기술부 |
| 연구관리전문기관명 | 한국연구재단 |
| 연구주관기관명 | 한국기계연구원 |
| 성과제출연도 | 2011 |
| 연구기간 | 200804~201203 |
| 기여율 | 1 |
| 연구개발단계명 | 개발연구 |
| 6T분류명 | NT(나노기술) |
| 과제고유번호 | 1345086023 |
|---|---|
| 세부과제번호 | 14-2008-05-001-00 |
| 연구과제명 | 10nm급나노측정원천기술개발 |
| 성과구분 | 출원 |
| 부처명 | 교육과학기술부 |
| 연구관리전문기관명 | 한국과학재단 |
| 연구주관기관명 | 한국기계연구원 |
| 성과제출연도 | 2008 |
| 연구기간 | 200804~201203 |
| 기여율 | 1 |
| 연구개발단계명 | 기초연구 |
| 6T분류명 | NT(나노기술) |
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