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동축 도파관 형태의 공진기;
일정 주파수의 마이크로파를 발생시키는 마이크로파 발생수단;
상기 마이크로파 발생수단으로부터 발생된 마이크로파를 TEM 모드로 상기 공진기 내부 공간으로 인입시키는 마이크로파 결합기;
상기 동축 도파관의 내경과 외경 사이의 상기 공진기 내부 공간에 결합된 반응기를 포함하고,
상기 공진기 내부로 유입된 마이크로파가 상기 공진기 내부 공간에서 형성하는 마이크로파 에너지를 이용하여 상기 반응기 내의 반응물을 처리하되,
상기 마이크로파 에너지가 상기 동축 도파관의 중심축 방향에 수직인 단면에 상기 내경과 상기 외경의 비율로 정해지는 값에 기초하여 형성되어 상기 공진기 내부 공간에 분포하는 것을 특징으로 하는 마이크로파 반응기
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제1항에 있어서, 상기 반응기는,
상기 동축 도파관의 내경과 외경 사이의 공진기 내부 중 상기 마이크로파가 유입되는 쪽의 일부 공간만을 차지하여 상기 마이크로파가 좀 더 균일한 영역에서 반응물을 처리하는 것을 특징으로 하는 마이크로파 반응기
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동축 도파관 형태의 공진기;
일정 주파수의 마이크로파를 발생시키는 마이크로파 발생수단;
상기 마이크로파 발생수단으로부터 발생된 마이크로파를 TEM 모드로 상기 공진기 내부 공간으로 인입시키는 마이크로파 결합기; 및
상기 동축 도파관의 내부 도체를 회전시키는 모터를 포함하고,
상기 동축 도파관의 내경과 외경 사이의 상기 공진기 내부 공간을 반응기로 이용하고, 상기 모터의 동작으로 상기 내부 도체를 회전시키면서, 상기 유입된 마이크로파가 상기 공진기 내부 공간에서 형성하는 마이크로파 에너지를 이용하여 상기 공진기 내부 공간 내의 반응물을 처리하되,
상기 마이크로파 에너지가 상기 동축 도파관의 중심축 방향에 수직인 단면에 상기 내경과 상기 외경의 비율로 정해지는 값에 기초하여 형성되어 상기 공진기 내부 공간에 분포하는 것을 특징으로 하는 마이크로파 반응기
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제4항에 있어서, 상기 내부 도체는 나선형의 홈을 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로파 반응기
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마이크로파 발생수단에서 발생하는 마이크로파를 TEM 모드로 동축 도파관 형태의 공진기 내부 공간으로 유입시키고,
상기 공진기 내부 공간으로 유입된 마이크로파가 상기 동축 도파관의 내경과 외경 사이의 상기 공진기 내부 공간에서 형성하는 마이크로파 에너지를 이용하여 상기 공진기 내부 공간에 결합된 반응기 내의 반응물을 처리하되,
상기 마이크로파 에너지가 상기 동축 도파관의 중심축 방향에 수직인 단면에 상기 내경과 상기 외경의 비율로 정해지는 값에 기초하여 형성되어 상기 공진기 내부 공간에 분포하는 것을 특징으로 하는 마이크로파 반응기의 마이크로파 에너지 분산 방법
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마이크로파 발생수단에서 발생하는 마이크로파를 TEM 모드로 동축 도파관 형태의 공진기 내부 공간으로 유입시키고,
상기 동축 도파관의 내경과 외경 사이의 상기 공진기 내부 공간을 반응기로 이용하고 상기 내부 도체를 회전시키면서, 상기 공진기 내부 공간으로 유입된 마이크로파가 상기 공진기 내부 공간에서 형성하는 마이크로파 에너지를 이용하여 상기 공진기 내부 공간 내의 반응물을 처리하되,
상기 마이크로파 에너지가 상기 동축 도파관의 중심축 방향에 수직인 단면에 상기 내경과 상기 외경의 비율로 정해지는 값에 기초하여 형성되어 상기 공진기 내부 공간에 분포하는 것을 특징으로 하는 마이크로파 반응기의 마이크로파 에너지 분산 방법
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