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임프린팅하는 방법에 있어서,
광에 반응하지 않는 희생층(110)을 기판(100)에 코팅하는 단계;
상기 희생층(110)을 고정시키기 위해 소프트 베이킹하는 단계;
상기 희생층(110) 위에 상기 광에 의해 경화되는 감광제를 코팅하여 이미지 감광막(120)을 형성하는 단계;
상기 희생층(110) 및 상기 이미지 감광막(120)을 미세 패턴(210)이 형성된 롤 몰드(200)로 가압하는 단계;
상기 롤 몰드(200)로 가압하여 상기 미세 패턴(210)을 형성한 상태에서 상기 광을 주사하여 상기 이미지 감광막(120)을 경화시키는 단계;
현상액으로 외부에 노출된 희생층(140)을 제거하는 현상 단계;
상기 이미지 감광막(120) 및 상기 희생층(110)을 정렬하기 위한 하드 베이킹하는 단계;
상기 기판(100)에 금속막(300)을 증착하는 단계;
상기 기판(100)에 증착된 금속막(300)을 고정시키기 위해 소프트 베이킹하는 단계;및
상기 희생층(110)을 제거하여 상기 기판(100) 위에 미세 금속배선을 형성하는 단계;를 포함하고,
상기 롤 몰드(200)는,
UV 광에 의해 경화 또는 분해되는 감광제를 롤 표면에 코팅하여 감광막(620)을 형성하는 단계;
상기 감광막(620)을 고정시키기 위해 소프트 베이킹하는 단계;
상기 감광막(620)에 UV 레이저 빔(700)을 주사하는 단계;
상기 UV 레이저 빔(700)이 주사된 감광막(620)을 선택적으로 제거하는 현상단계;및
현상 후 감광막(620)을 정렬하게 하기 위해 하드 베이킹하는 단계;를 포함하여 UV 레이저를 이용한 인쇄 롤 표면에 상기 미세패턴(210)을 형성하는 것을 특징으로 하는 잔류 감광막이 없는 임프린팅 방법
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제 1항에 있어서,
상기 감광제는 UV광에 의해 경화되는 것이고,
상기 기판(100) 전체에 UV광(400)을 주사하며 상기 이미지 감광막(120)을 경화하는 것을 특징으로 하는 잔류 감광막이 없는 임프린팅 방법
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제 3항에 있어서,
상기 이미지 감광막을 경화하는 단계에서,
상기 UV 광의 광원은 상기 기판 하부에 위치하여 상기 UV 광을 주사하는 것을 특징으로 하는 잔류 감광막이 없는 임프린팅 방법
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제 1항에 있어서,
상기 현상액은 상기 희생층(110)과는 반응하나 상기 경화된 이미지 감광막(130)과는 반응하지 않는 것을 특징으로 하는 잔류 감광막이 없는 임프린팅 방법
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제 1항에 있어서,
상기 희생층(110) 또는 상기 이미지 감광막(120)을 코팅하는 단계는 슬릿코팅, 스프레이 코팅, 아닐록스 롤을 이용한 코팅 또는 롤투룰 인쇄코팅인 것을 특징으로 하는 잔류 감광막이 없는 임프린팅 방법
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제 1항에 있어서,
상기 UV 레이저 빔(700)은,
3축 초정밀 스테이지 이송이 가능한 UV 레이저 주사장치를 통해 주사하여 미세패턴(210)을 형성하는 것을 특징으로 하는 잔류 감광막이 없는 임프린팅 방법
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제 1항에 있어서,
상기 UV 레이저 빔(700)이 주사된 감광막(620)을 선택적으로 제거하는 현상단계에서,
상기 UV 레이저에 의해 분해되는 감광막(620)의 경우는 상기 UV 레이저 빔(700)이 주사된 부분이 현상액에 의해 제거되며,
상기 현상액은 분해되지 않은 상기 감광막(620)과는 반응하지 않으나, 분해된 상기 감광막(620)과는 반응하는 것을 특징으로 하는 특징으로 하는 잔류 감광막이 없는 임프린팅 방법
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제 1항에 있어서,
상기 UV 레이저 빔(700)이 주사된 감광막(620)을 선택적으로 제거하는 현상단계에서,
상기 UV 레이저 의해 경화되는 감광막(620)의 경우는 상기 UV 레이저 빔(700)을 주사하지 않은 부분이 현상액에 의해 제거되며,
상기 현상액은 경화된 감광막(620)에는 반응하지 않은 것을 특징으로 하는 잔류 감광막이 없는 임프린팅 방법
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제 1항에 있어서,
상기 롤 표면(510)에 형성된 상기 미세패턴(210)의 폭(220)은 0
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제 1항에 있어서,
상기 롤 표면(510)에 상기 미세패턴(210)이 형성된 면은 상기 미세패턴(210)이 형성되지 않은 면에 비해 상대적으로 넓은 것을 특징으로 하는 잔류 감광막이 없는 임프린팅 방법
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제 8항에 있어서,
상기 UV 레이저 주사장치는,
상기 인쇄 롤(500)을 상기 롤(500)의 축선(880)을 기준으로 회전시키는 회전 수단;
상기 롤 표면(510)과 일정한 간격을 두고 상기 축선(880)과 평행하게 구비된 축(870);
상기 축(870)을 따라 이동하여 상기 롤 표면(510)에 상기 UV 레이저 빔(700)을 주사하는 UV 레이저 빔 형성수단(800);을 포함하는 것을 특징으로 하는 잔류 감광막이 없는 임프린팅 방법
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제 13항에 있어서,
상기 회전 수단은,
속도 조절이 가능한 구동모터(820);와
상기 구동모터(820)와 연결되고 상기 축선(880)방향으로 설치되는 기어 축(840);과
상기 기어 축(840)을 지지하는 베어링(850)을 구비한 지지대(860);를 포함하는 것을 특징으로 하는 잔류 감광막이 없는 임프린팅 방법
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제 13항에 있어서,
상기 UV 레이저 빔 형성수단(800)은 UV 광을 발생하는 UV 레이저 다이오드(720);와
상기 UV 광이 투과되면서 초점(750)을 형성하는 렌즈(740);를 포함하여 상기 UV 광(730)을 상기 렌즈(740)에 투사하여 상기 초점으로 모아지는 UV 레이저 빔(700)을 형성하는 것을 특징으로 하는 잔류 감광막이 없는 임프린팅 방법
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제 15항에 있어서,
상기 UV 레이저 빔(700)의 직경(710)은 상기 UV 레이저 다이오드(720)의 파장 및 상기 렌즈(740)의 초점(750)과의 거리에 따라 결정되는 것을 특징으로 하는 잔류 감광막이 없는 임프린팅 방법
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제 16항에 있어서,
상기 UV 레이저 빔(700)의 직경(710)은 0
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제 13항에 있어서,
상기 UV 레이저 빔 형성 수단(800)은 상기 축선(880)과 평행하게 1차원 운동을 하게 하고, 상기 롤(500)은 회전운동을 하여 상기 UV 레이저 빔(700)에 의해 2차원의 상기 미세패턴(210)을 형성하는 것을 특징으로 하는 잔류 감광막이 없는 임프린팅 방법
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제 18항에 있어서,
상기 UV 레이저 빔 형성 수단(800)은 정밀도가 100㎚이하의 1축 초정밀 스테이지인 것을 특징으로 하는 잔류 감광막이 없는 임프린팅 방법
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제 13항에 있어서,
상기 UV 레이저 빔 형성수단(800)은 롤(500)의 축선(880)과 수직인 방향으로 움직이는 것을 특징으로 하는 잔류 감광막이 없는 임프린팅 방법
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