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레이저 발진기에서 레이저빔을 생성하는 단계;상기 레이저빔을 스캐너를 지나 렌즈를 통과시켜 포커싱 하는 단계;금형의 표면을 상기 렌즈의 초점 거리(focal distance)보다 더 큰 작업 거리(working distance)만큼 이격시켜서 단위 면적당 레이저 에너지를 변화시키는 단계;상기 스캐너를 이용하여 상기 금형의 표면에 대하여 상기 레이저빔을 스캔하면서 상기 금형 표면을 가공하는 단계;를 포함하고,상기 금형 표면을 가공하는 단계는,상기 레이저빔을 스캔하면서 상기 금형의 일부 원소의 용융을 유도하고,상기 용융된 부분이 넓게 퍼지면서 상기 레이저빔에 대하여 마스크 역할을 하는 것을 포함하며,상기 레이저빔의 스캔 영역에 대응되는 상기 금형의 표면에 볼록렌즈 형상의 마이크로 구조물을 형성하는 마이크로 구조물 형성방법
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제 1 항에 있어서,상기 금형은 적어도 2 이상의 서로 다른 원소를 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 구조물 형성방법
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제 1 항에 있어서,상기 레이저 발진기는 펄스 듀레이션이 10 펨토초 내지 1 나노초의 범위에 속하는 레이저빔을 생성하는 것을 특징으로 하는 마이크로 구조물 형성방법
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제 1 항에 있어서,상기 레이저빔을 스캔하는 단계는 공기 중에서 수행되는 것을 특징으로 하는 마이크로 구조물 형성방법
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제 1 항에 있어서,상기 금형의 표면에 형성되는 마이크로 구조물의 단위 직경은 상기 금형의 표면에 포커스된 레이저빔의 스팟 직경보다 더 작은 것을 특징으로 하는 마이크로 구조물 형성방법
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제 1 항에 있어서,상기 금형 표면을 가공하는 단계는,상기 스캐너를 이용하여 상기 금형의 표면에 대하여 상기 레이저빔을 일 방향으로 스캔하면서 가공하는 것을 특징으로 하는 마이크로 구조물 형성방법
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