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레이저 어블레이션을 이용한 금형 표면 마이크로 구조물 형성방법

  • 기술번호 : KST2016003901
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 기재의 마이크로 구조물 형성방법은, 레이저 발진기에서 레이저빔을 생성하는 단계, 상기 레이저빔을 스캐너를 지나 렌즈를 통과시켜 포커싱 하는 단계, 상기 금형의 표면을 상기 렌즈의 초점 거리(focal distance)보다 더 큰 작업 거리(working distance)만큼 이격시켜서 단위 면적당 레이저 에너지를 변화시키는 단계, 상기 스캐너를 이용하여 상기 금형의 표면에 대하여 상기 레이저빔을 스캔하면서 상기 금형 표면을 가공하는 단계를 포함하고, 상기 레이저빔의 스캔 영역에 대응되는 상기 금형의 표면에 볼록렌즈 형상의 마이크로 구조물을 형성할 수 있다.
Int. CL B23K 26/36 (2014.01)
CPC B23K 26/36(2013.01) B23K 26/36(2013.01) B23K 26/36(2013.01) B23K 26/36(2013.01) B23K 26/36(2013.01) B23K 26/36(2013.01)
출원번호/일자 1020120111989 (2012.10.09)
출원인 한국기계연구원
등록번호/일자 10-1425190-0000 (2014.07.24)
공개번호/일자 10-2014-0046105 (2014.04.18) 문서열기
공고번호/일자 (20140804) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.10.09)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 노지환 대한민국 대전 유성구
2 이제훈 대한민국 대전 유성구
3 서정 대한민국 부산 강서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 팬코리아특허법인 대한민국 서울특별시 강남구 논현로**길 **, 역삼***빌딩 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 이명구 대구광역시 달성군
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2012.10.09 수리 (Accepted) 1-1-2012-0819419-10
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2013.08.02 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2013.08.27 수리 (Accepted) 9-1-2013-0072319-75
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2013.11.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0827248-12
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2014.01.28 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-0093022-38
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2014.01.28 수리 (Accepted) 1-1-2014-0093020-47
7 등록결정서
Decision to grant
2014.05.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0302766-72
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
레이저 발진기에서 레이저빔을 생성하는 단계;상기 레이저빔을 스캐너를 지나 렌즈를 통과시켜 포커싱 하는 단계;금형의 표면을 상기 렌즈의 초점 거리(focal distance)보다 더 큰 작업 거리(working distance)만큼 이격시켜서 단위 면적당 레이저 에너지를 변화시키는 단계;상기 스캐너를 이용하여 상기 금형의 표면에 대하여 상기 레이저빔을 스캔하면서 상기 금형 표면을 가공하는 단계;를 포함하고,상기 금형 표면을 가공하는 단계는,상기 레이저빔을 스캔하면서 상기 금형의 일부 원소의 용융을 유도하고,상기 용융된 부분이 넓게 퍼지면서 상기 레이저빔에 대하여 마스크 역할을 하는 것을 포함하며,상기 레이저빔의 스캔 영역에 대응되는 상기 금형의 표면에 볼록렌즈 형상의 마이크로 구조물을 형성하는 마이크로 구조물 형성방법
2 2
제 1 항에 있어서,상기 금형은 적어도 2 이상의 서로 다른 원소를 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 구조물 형성방법
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삭제
4 4
제 1 항에 있어서,상기 레이저 발진기는 펄스 듀레이션이 10 펨토초 내지 1 나노초의 범위에 속하는 레이저빔을 생성하는 것을 특징으로 하는 마이크로 구조물 형성방법
5 5
제 1 항에 있어서,상기 레이저빔을 스캔하는 단계는 공기 중에서 수행되는 것을 특징으로 하는 마이크로 구조물 형성방법
6 6
제 1 항에 있어서,상기 금형의 표면에 형성되는 마이크로 구조물의 단위 직경은 상기 금형의 표면에 포커스된 레이저빔의 스팟 직경보다 더 작은 것을 특징으로 하는 마이크로 구조물 형성방법
7 7
제 1 항에 있어서,상기 금형 표면을 가공하는 단계는,상기 스캐너를 이용하여 상기 금형의 표면에 대하여 상기 레이저빔을 일 방향으로 스캔하면서 가공하는 것을 특징으로 하는 마이크로 구조물 형성방법
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 지식경제부 기계연구원 주요사업 스캐너와 다중빔 레이저 기반 롤금형 마이크로 패터닝 장비기술개발 (1/3)