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롤 임프린팅 공정을 이용한 유기박막트랜지스터 제조방법 및 그 유기박막트랜지스터

  • 기술번호 : KST2016003916
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명의 목적은 전극의 선폭을 나노 크기로 형성하고 유기박막트랜지스터를 박막으로 형성하는 롤 임프린팅 공정을 이용한 유기박막트랜지스터 제조방법을 제공하는 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 롤 임프린팅 공정을 이용한 유기박막트랜지스터 제조방법은, 합성수지 기판에 롤 임프린팅으로 채널을 형성하는 제1 단계, 상기 채널에 전도성 물질을 충전하여 제1 전극을 형성하는 제2 단계, 상기 제1 전극 상에 유기반도체층을 형성하는 제3 단계, 및 상기 유기반도체층 상에 전도성 물질로 제2 전극을 형성하는 제4 단계를 포함한다.
Int. CL H01L 51/10 (2006.01) H01L 51/40 (2006.01)
CPC H01L 51/0021(2013.01) H01L 51/0021(2013.01) H01L 51/0021(2013.01) H01L 51/0021(2013.01) H01L 51/0021(2013.01) H01L 51/0021(2013.01)
출원번호/일자 1020130000182 (2013.01.02)
출원인 한국기계연구원
등록번호/일자 10-1425193-0000 (2014.07.24)
공개번호/일자 10-2014-0088370 (2014.07.10) 문서열기
공고번호/일자 (20140731) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2013.01.02)
심사청구항수 20

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 조정대 대한민국 대전 유성구
2 김광영 대한민국 경남 창원시 성산구
3 장윤석 대한민국 대전광역시 유성구
4 이택민 대한민국 대전 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 팬코리아특허법인 대한민국 서울특별시 강남구 논현로**길 **, 역삼***빌딩 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2013.01.02 수리 (Accepted) 1-1-2013-0001872-06
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2013.10.07 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2013.11.14 수리 (Accepted) 9-1-2013-0097047-81
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2014.01.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0050343-84
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2014.02.27 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-0197059-22
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2014.02.27 수리 (Accepted) 1-1-2014-0197057-31
7 등록결정서
Decision to grant
2014.05.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0334726-40
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
합성수지 기판에 롤 임프린팅으로 채널을 형성하는 제1 단계;상기 채널에 전도성 물질을 충전하여 제1 전극을 형성하는 제2 단계;상기 제1 전극 상에 유기반도체층을 형성하는 제3 단계; 및상기 유기반도체층 상에 전도성 물질로 제2 전극을 형성하는 제4 단계를 포함하며,상기 제1 단계는,상기 채널에 대응하는 패턴을 가지는 스탬프 몰드와 서브롤 사이로 상기 기판을 통과시키면서 상기 기판에 상기 채널을 임프린팅 하는롤 임프린팅 공정을 이용한 유기박막트랜지스터 제조방법
2 2
제1항에 있어서,상기 스탬프 몰드는 히팅롤에 설치되는롤 임프린팅 공정을 이용한 유기박막트랜지스터 제조방법
3 3
제1항에 있어서,상기 제2 단계는,상기 채널에 소스 전극과 드레인 전극을 형성하는 롤 임프린팅 공정을 이용한 유기박막트랜지스터 제조방법
4 4
제3항에 있어서,상기 제2 단계는,상기 채널에 금속물질 또는 전도성 고분자 물질을 충전하는 롤 임프린팅 공정을 이용한 유기박막트랜지스터 제조방법
5 5
제3항에 있어서,상기 제4 단계는,상기 유기반도체층 상에 게이트 전극을 형성하는 롤 임프린팅 공정을 이용한 유기박막트랜지스터 제조방법
6 6
제1항에 있어서,상기 제2 단계는,상기 채널에 게이트 전극을 형성하는 롤 임프린팅 공정을 이용한 유기박막트랜지스터 제조방법
7 7
제6항에 있어서,상기 제2 단계는,상기 채널에 금속물질 또는 전도성 고분자 물질을 충전하는 롤 임프린팅 공정을 이용한 유기박막트랜지스터 제조방법
8 8
제6항에 있어서,상기 제4 단계는,상기 유기반도체층 상에 드레인 전극과 소스 전극을 형성하는 롤 임프린팅 공정을 이용한 유기박막트랜지스터 제조방법
9 9
합성수지 기판에 전도층을 형성하는 제1 단계;상기 기판에 롤 임프린팅으로 채널을 형성하면서 상기 전도층에 의한 제1 전극과 제2 전극을 형성하는 제2 단계; 및상기 채널 내부의 상기 제1 전극과 상기 채널 외부의 제2 전극 상에 유기반도체층을 형성하는 제3 단계를 포함하며,상기 제1 단계는,상기 기판에 투명도전막을 코팅하는 롤 임프린팅 공정을 이용한 유기박막트랜지스터 제조방법
10 10
삭제
11 11
제9항에 있어서,상기 제2 단계는,상기 채널의 내부에 소스 전극과 드레인 전극을 형성하고,상기 채널의 외부에 게이트 전극을 형성하는 롤 임프린팅 공정을 이용한 유기박막트랜지스터 제조방법
12 12
제9항에 있어서,상기 제2 단계는,상기 채널의 내부에 게이트 전극을 형성하고,상기 채널의 외부에 소스 전극과 드레인 전극을 형성하는 롤 임프린팅 공정을 이용한 유기박막트랜지스터 제조방법
13 13
롤 임프린팅으로 형성되는 채널을 가지는 합성수지 기판;상기 채널에 충전되는 전도성 물질로 형성되는 제1 전극;상기 제1 전극 상에 형성되는 유기반도체층; 및상기 유기반도체층 상에 전도성 물질로 형성되는 제2 전극을 포함하며,상기 채널은,이격 형성되는 제1 채널과 제2 채널을 포함하며,상기 제1 전극은상기 제1 채널에 형성되는 소스 전극과상기 제2 채널에 형성되는 드레인 전극을 포함하는 유기박막트랜지스터
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삭제
15 15
제13항에 있어서,상기 소스 전극 및 상기 드레인 전극은금속물질 또는 전도성 고분자 물질로 형성되는 유기박막트랜지스터
16 16
제13항에 있어서,상기 제1 전극은,상기 채널에 형성되는 게이트 전극인 유기박막트랜지스터
17 17
제13항에 있어서,상기 채널은,100~900 나노미터의 폭을 가지는 유기박막트랜지스터
18 18
전도층이 형성된 상태에서 롤 임프린팅으로 형성되는 채널을 가지는 합성수지 기판;상기 전도층 중 상기 채널의 내부에 위치하는 전도층으로 형성되는 제1 전극;상기 전도층 중 상기 채널의 외부에 위치하는 전도층으로 형성되는 제2 전극; 및상기 제1 전극과 상기 제2 전극 상에 형성되는 유기반도체층을 포함하고,상기 전도층은,상기 기판에 코팅된 투명도전막으로 형성되는 유기박막트랜지스터
19 19
삭제
20 20
제18항에 있어서,상기 채널은 이격 형성되는 제1 채널과 제2 패널을 포함하며,상기 제1 전극은, 상기 제1 채널 내부에 형성되는 소스 전극과상기 제2 채널 내부에 형성되는 드레인 전극을 포함하는 유기박막트랜지스터
21 21
제20항에 있어서,상기 제2 전극은,상기 채널의 외부에 형성되는 게이트 전극인 유기박막트랜지스터
22 22
제18항에 있어서,상기 제1 전극은 상기 채널의 내부에 형성되는 게이트 전극인 유기박막트랜지스터
23 23
제22항에 있어서,상기 제2 전극은,상기 채널의 외부에 이격 형성되는 소스 전극과 드레인 전극을 포함하는 유기박막트랜지스터
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 지식경제부 한국기계연구원 기본/자체연구 저온경화가 가능한 Al 잉크 인쇄/코팅 공정기술개발 (1/3)
2 지식경제부 기계연구원 주요사업-일반 인쇄전자소자(PEMS) 연속생산 시스템 Test Bed 기반구축사업 (1/5)