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분말정량 공급장치

  • 기술번호 : KST2016003969
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 분말이 수용되며 분말이 배출되는 게이트가 형성되는 분말 용기 및 분말 용기의 게이트에 결합되어 게이트를 개폐하는 셔터를 포함하여 이루어지며, 게이트가 일측보다 타측의 폭이 넓게 형성되거나 일측에서 타측으로 갈수록 폭이 넓게 형성되고, 셔터의 이동에 의해 게이트가 폭이 넓은 타측부터 점차 폐쇄되어 폭이 좁은 일측까지 폐쇄되도록 형성되어, 빠른 시간에 분말을 공급할 수 있으며 미량의 분말을 정밀하게 조절하여 공급할 수 있는 분말정량 공급장치에 관한 것이다.
Int. CL H01L 21/56 (2006.01)
CPC H01L 21/67126(2013.01)
출원번호/일자 1020120114569 (2012.10.16)
출원인 한국기계연구원
등록번호/일자 10-1332312-0000 (2013.11.18)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20131122) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.10.16)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이창우 대한민국 대전광역시 서구
2 송준엽 대한민국 대전광역시 서구
3 하태호 대한민국 대전광역시 유성구
4 이재학 대한민국 대전광역시 유성구
5 김형준 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김종관 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)
2 박창희 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)
3 권오식 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2012.10.16 수리 (Accepted) 1-1-2012-0838025-14
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2013.05.03 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2013.06.05 수리 (Accepted) 9-1-2013-0041477-54
4 등록결정서
Decision to grant
2013.08.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0608928-25
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
분말이 수용되며, 하면에 분말이 배출되는 게이트(120)가 형성되는 분말 용기(100); 및상기 게이트(120)에 결합되어 게이트(120)를 개폐하는 셔터(200);를 포함하여 이루어지며,상기 게이트(120)는 일측보다 타측의 폭이 넓게 형성되거나 일측에서 타측으로 갈수록 폭이 넓게 형성되어, 상기 셔터(200)의 이동에 의해 게이트(120)의 폭이 넓은 타측부터 점차 폐쇄되어 폭이 좁은 일측까지 폐쇄되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 분말정량 공급장치
2 2
제1항에 있어서,상기 셔터(200)는 상기 게이트(120)와 동일한 형상의 단면으로 형성되어 게이트(120)에 삽입되도록 결합되며, 상기 셔터(200)의 상측 일부는 폭이 좁은 일측에서 폭이 넓은 타측을 향해 상측 방향으로 경사진 경사부(210)가 형성되는 것을 특징으로 하는 분말정량 공급장치
3 3
제1항에 있어서,상기 셔터(200)는 하측에 상기 게이트(120)를 밀폐하는 밀폐부(220)가 형성되는 것을 특징으로 하는 분말정량 공급장치
4 4
제1항에 있어서,상기 게이트(120)는 삼각형 또는 사다리꼴 형태인 것을 특징으로 하는 분말정량 공급장치
5 5
제1항에 있어서,상기 게이트(120)는 일측의 폭이 좁은 직사각형과 타측의 폭이 넓은 직사각형이 연결된 형태인 것을 특징으로 하는 분말정량 공급장치
6 6
제5항에 있어서,상기 게이트(120)는 폭이 좁은 일측의 폭(W1)은 분말 입자의 직경보다 크게 형성되는 것을 특징으로 하는 분말정량 공급장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 지식경제부 한국기계연구원 주요사업 극 초박형 웨이퍼 TBDB(Temporary Bonding De-Bonding) 장비 핵심기술 개발 (1/3)