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대면적 전사용 스탬프 및 이를 이용한 대면적 전사 장비

  • 기술번호 : KST2016004035
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 전사용 스탬프와 전사 장비에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 롤(roll)에 의해 대면적에 형성된 박막 소자를 밀착시켜 이송한 후 롤에 의해 이송된 박막 소자를 정렬시킴으로서 연속 공정이 가능한 대면적 전사용 스탬프와, 상기 스탬프의 표면 접촉력을 균일화 하여 전사 시 박막 소자의 손상을 최소화 하게 되는 대면적 전사용 스탬프를 이용한 대면적 전사 장비에 관한 것이다.
Int. CL B29C 33/38 (2006.01) B29C 59/04 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1020110041887 (2011.05.03)
출원인 한국기계연구원
등록번호/일자 10-1104923-0000 (2012.01.04)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20120112) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.05.03)
심사청구항수 13

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김재현 대한민국 대전광역시 유성구
2 장봉균 대한민국 대전광역시 유성구
3 김광섭 대한민국 대전광역시 유성구
4 최현주 대한민국 대전광역시 유성구
5 이학주 대한민국 대전광역시 서구
6 최병익 대한민국 대전광역시 서구
7 김경식 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김종관 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)
2 박창희 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)
3 권오식 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2011.05.03 수리 (Accepted) 1-1-2011-0328860-14
2 [우선심사신청]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Preferential Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)		 2011.06.03 수리 (Accepted) 1-1-2011-0420922-83
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2011.06.29 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2011.07.13 수리 (Accepted) 9-1-2011-0058200-43
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2011.08.05 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0441266-12
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2011.09.30 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0765506-49
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2011.09.30 수리 (Accepted) 1-1-2011-0765440-24
8 등록결정서
Decision to grant		 2011.12.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0713522-64
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
삭제
2 2
평면상에 배치된 동일 면적 또는 서로 다른 면적을 갖는 다수 개의 박막 소자들에 접촉되어 반데르발스 힘에 의하여 상기 박막 소자가 부착되거나, 또는 일측면에 부착되어 있는 다수 개의 상기 박막 소자들을 평면상에 접촉시킨 후 점착력의 차이를 유발하여 떼어지도록, 탄성을 가지는 유연한 재질의 판형으로 형성되는 상기 박막 소자의 동시 이송을 위한 전사용 스탬프에 있어서,상기 스탬프는,원통형 롤러; 및상기 롤러의 외주면을 감싸도록 일정 두께를 가지고 형성되며, 내측에 형성되는 제1층과, 중앙에 형성되는 제2층과, 외측에 형성되는 제3층으로 구성되는 스탬프층; 을 포함하되,상기 제2층은 폴리머 층 또는 금속 층으로 되며, 상기 제1층은 상기 제2층보다 강성이 작은 폴리머 층으로 되고, 상기 제3층은 점탄성 폴리머 층으로 되는 것을 특징으로 하는, 대면적 전사용 스탬프
3 3
제 2항에 있어서,상기 제1층의 두께는 상기 롤러의 외경의 1/50~1/5 이고,상기 제2층의 두께는 상기 롤러의 외경의 1/2000~1/100 이고,상기 제3층의 두께는 상기 롤러의 외경의 1/300 이하 인 것을 특징으로 하는 대면적 전사용 스탬프
4 4
제 2항에 있어서,상기 스탬프층은,상기 롤러의 외주면에서 일정거리 이격 형성되며, 상기 롤러와 스탬프층 사이에는 유체(流體)가 충전되는, 대면적 전사용 스탬프
5 5
제 2항 내지 제 4항 중 어느 한 항의 스탬프를 이용한 전사 장비에 있어서,상기 롤러의 회전축 방향을 y축, y축에 수직한 어느 한 방향을 x축, y축 및 x축에 수직한 방향을 z축이라 할 때,x축 일 방향으로 구동되는 선형 스테이지;일면에 다수의 박막 소자가 배치되며, 상기 선형 스테이지에 일정 간격으로 공급되는 하드모재; 및타면이 상기 하드모재의 일면에 대향되도록 상기 선형 스테이지의 z축 방향으로 일정거리 이격되며, x축 타방향으로 연속 공급되는 유연성 모재; 를 포함하며,상기 스탬프는 상기 선형 스테이지와 상기 유연성 모재 사이에 구비되어 롤링(rolling)에 의해 상기 하드모재 상에 배치된 박막 소자를 점착(picking)하여 상기 유연성 모재의 타면에 이송(placing) 하는 것을 특징으로 하는 스탬프를 이용한 대면적 전사 장비
6 6
제 5항에 있어서,상기 전사 장비는,상기 스탬프와 상기 하드모재가 맞닿았을 때의 압축력이 상기 스탬프와 상기 유연성 모재가 맞닿았을 때의 압축력보다 큰 것을 특징으로 하는 스탬프를 이용한 대면적 전사 장비
7 7
제 5항에 있어서,상기 전사 장비는,상기 스탬프의 자중에 의해 상기 박막 소자에 일정한 하중을 가하도록, 상기 스탬프가 z축 방향으로 회동이 가능하며, x축 방향으로는 구속되도록 설치되는 것을 특징으로 하는 스탬프를 이용한 대면적 전사 장비
8 8
제 7항에 있어서,상기 전사 장비는,상기 스탬프의 양단에 형성되는 롤링 수단;x축에 평행하게 구비되며, y축을 중심으로 힌지 회동 가능하도록 중앙에 힌지결합부가 형성되며, 일단부에 상기 롤링 수단이 롤 가능하도록 연결되는 회동수단;을 포함하는 것을 특징으로 하는 스탬프를 이용한 대면적 전사 장비
9 9
제 8항에 있어서,상기 회동수단의 타단부에는 상기 스탬프의 자중을 감소시키기 위한 무게추가 구비되는 것을 특징으로 하는 스탬프를 이용한 대면적 전사 장비
10 10
제 5항에 있어서,상기 유연성 모재는 투명 재질로 되며,상기 유연성 모재의 일면에 박막 소자가 이송 된다고 할 때, 상기 유연성 모재의 타면 외측에는 상기 박막 소자의 이송 상태를 촬영하기 위한 현미경이 상기 유연성 모재의 폭 방향으로 복수 개 구비되는 것을 특징으로 하는 스탬프를 이용한 대면적 전사 장비
11 11
제 5항에 있어서,상기 전사 장비는,상기 스탬프의 롤링을 위해 상기 스탬프의 양단에 구비되는 롤링 수단을 포함하며, 상기 롤링 수단 각각을 z축 방향으로 구동시키기 위한 스테이지; 및상기 롤링 수단과 스테이지 사이에 구비되며, 상기 스탬프에 가해지는 압력을 측정하기 위한 로드 셀;을 더 포함하는 스탬프를 이용한 대면적 전사 장비
12 12
제 11항에 있어서,상기 스테이지는,상기 스탬프의 일단에 구비되는 롤링 수단의 구동을 위한 제1 z축 구동기와, 상기 스탬프의 타단에 구비되는 롤링 수단의 구동을 위한 제2 z축 구동기로 구성되는 것을 특징으로 하는 스탬프를 이용한 대면적 전사 장비
13 13
제 11항에 있어서,상기 스테이지는,상기 스탬프의 양단에 구비되는 롤링 수단 각각을 연결하는 구동축과 상기 구동축의 z방향 구동을 위한 일체형 z축 구동기 및 상기 구동축의 x방향 회전을 위한 x축 회전구동기로 구성되는 것을 특징으로 하는 스탬프를 이용한 대면적 전사 장비
14 14
제 11항에 있어서,상기 스테이지의 구동제어는,하기 수학식에 의해 결정되는 것을 특징으로 하는 스탬프를 이용한 대면적 전사 장비
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 WO2012150814 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY
2 WO2012150814 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 WO2012150814 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
2 WO2012150814 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 지식경제부 한국기계연구원 지경부-국가연구개발사업(II) 멀티스케일 소자/패턴 전사 공정 및 모듈화 기술 개발(2/3)