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병렬배치된 탄성힌지기반 증폭기구에 의한 압전소자 구동 초정밀 스테이지

  • 기술번호 : KST2016004151
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 압전소자의 변위를 증폭시켜 대변위 구동이 가능하면서 동특성 또한 향상되는 압전소자 구동 초정밀 스테이지가 개시된다. 본 발명에 따른 압전소자 구동 초정밀 스테이지는 출력플레이트, 전압이 인가되면 길이방향으로 인장하는 추력용 압전소자와 상기 추력용 압전소자의 인장에 따라 일 방향으로 회전하는 추력용 연결플레이트를 포함하고 상기 출력플레이트에 추력을 발생시키는 추력용 변위확대부, 전압이 인가되면 길이방향으로 인장하는 인력용 압전소자와 상기 인력용 압전소자의 인장에 따라 상기 추력용 연결플레이트와 같은 방향으로 회전하는 인력용 연결플레이트를 포함하고 상기 출력플레이트에 인력을 발생시키는 인력용 변위확대부, 그리고 상기 추력용 변위확대부와 상기 인력용 변위확대부의 일단을 접촉 연결하는 입력플레이트를 포함하고, 상기 추력용 및 인력용 연결플레이트는 상기 입력플레이트와 상기 출력플레이트에 탄성힌지로 연결되어 상기 추력용 및 인력용 압전소자의 인장에 의해 상기 입력플레이트가 상기 인장의 방향으로 이동함과 동시에 변위되고 상기 입력플레이트의 이동에 따른 상기 탄성힌지의 변형에 의한 상기 추력용 및 인력용 연결플레이트의 회전으로 인해 상기 출력플레이트가 변위된다. 이와 같은 구성에 의하면, 압전소자의 인장에 의한 변위가 확대되어 출력플레이트에 전달되는바 대변위 구동이 가능해지고, 출력플레이트의 양쪽에 구비되는 변위 증폭기구에서 각각 추력과 인력을 발생시켜 상기 출력플레이트에 작용되는 힘이 배가되는바 동특성이 개선될 수 있다.
Int. CL H02N 2/02 (2006.01) H02N 2/10 (2006.01)
CPC H02N 2/005(2013.01) H02N 2/005(2013.01) H02N 2/005(2013.01)
출원번호/일자 1020100032531 (2010.04.09)
출원인 한국기계연구원
등록번호/일자 10-1066847-0000 (2011.09.16)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20110926) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.04.09)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 최기봉 대한민국 대전광역시 유성구
2 이재종 대한민국 대전광역시 서구
3 김기홍 대한민국 대전광역시 서구
4 임형준 대한민국 대전광역시 서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 남충우 대한민국 서울 강남구 언주로 ***, *층(역삼동, 광진빌딩)(알렉스국제특허법률사무소)
2 노철호 대한민국 경기도 성남시 분당구 판교역로 ***, 에스동 ***호(삼평동,에이치스퀘어)(특허법인도담)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2010.04.09 수리 (Accepted) 1-1-2010-0226428-09
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.04.08 수리 (Accepted) 4-1-2011-5069914-14
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.04.08 수리 (Accepted) 4-1-2011-5069919-31
4 [우선심사신청]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Preferential Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2011.04.11 수리 (Accepted) 1-1-2011-0263437-56
5 보정요구서
Request for Amendment
2011.04.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2011-0031361-48
6 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2011.04.14 수리 (Accepted) 1-1-2011-0273322-94
7 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2011.05.12 수리 (Accepted) 1-1-2011-0349970-64
8 [대리인사임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Resignation of Agent] Report on Agent (Representative)
2011.05.12 수리 (Accepted) 1-1-2011-0351179-68
9 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2011.06.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0345333-54
10 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2011.07.12 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0531559-82
11 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2011.07.12 수리 (Accepted) 1-1-2011-0531563-65
12 등록결정서
Decision to grant
2011.09.14 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0519183-83
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
출력플레이트;전압이 인가되면 길이방향으로 인장하는 추력용 압전소자와 상기 추력용 압전소자의 인장에 따라 일방 향으로 회전하는 추력용 연결플레이트를 포함하고 상기 출력플레이트에 추력을 발생시키는 추력용 변위확대부;전압이 인가되면 길이방향으로 인장하는 인력용 압전소자와 상기 인력용 압전소자의 인장에 따라 상기 추력용 연결플레이트와 같은 방향으로 회전하는 인력용 연결플레이트를 포함하고 상기 출력플레이트에 인력을 발생시키는 인력용 변위확대부; 및상기 추력용 변위확대부 와 상기 인력용 변위확대부의 일단을 접촉 연결하는 입력플레이트;를 포함하고, 상기 추력용 및 인력용 연결플레이트는 상기 입력플레이트와 상기 출력플레이트에 탄성힌지로 연결되어, 상기 추력용 및 인력용 압전소자의 인장에 의해 상기 입력플레이트가 상기 인장의 방향으로 이동함과 동시에 변위 되고 상기 입력플레이트의 이동에 따른 상기 탄성힌지의 변형에 의한 상기 추력용 및 인력용 연결플레이트의 회전으로 인해 상기 출력플레이트가 변위되는 것을 특징으로 하는 압전소자 구동 초정밀 스테이지
2 2
제1항에 있어서,상기 입력플레이트는 상기 추력용 변위확대부 와 상기 인력용 변위확대부의 양단에 각각 구비되는 것을 특징으로 하는 압전소자 구동 초정밀 스테이지
3 3
삭제
4 4
제1항에 있어서,상기 출력플레이트는 돌출부를 더 포함하고,상기 추력용 또는 인력용 압전소자의 인장방향으로 상기 돌출부의 상측과 하측에 상기 추력용 또는 인력용 연결플레이트가 배치된 것을 특징으로 하는 압전소자 구동 초정밀 스테이지
5 5
제1항에 있어서,상기 탄성힌지는 상기 추력용 또는 인력용 연결플레이트의 상하 양측에 상기 추력용 또는 인력용 압전소자의 인장방향과 평행하게 연결되되 상기 연결플레이트의 중심에서 각각 좌우로 오프셋(offset)시켜 연결된 것을 특징으로 하는 압전소자 구동 초정밀 스테이지
6 6
제4항에 있어서,상기 탄성힌지는 상기 추력용 또는 인력용 연결플레이트의 회전을 용이하게 하기 위하여 경사지게 배치되는 것을 특징으로 하는 압전소자 구동 초정밀 스테이지
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 중소기업청 한국기계연구원 산연공동기술개발지원사업 탄성힌지기반 압전구동 격자 스캐닝 시스템 개발