맞춤기술찾기

홈으로 가기
맞춤기술찾기
이전대상기술
프린트하기

이전대상기술

자유지지형 나노박막의 기계적 특성 측정 장치 및 방법

  • 기술번호 : KST2016004187
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
상담신청 PDF 받기
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 자유지지형 나노박막의 기계적 특성 측정 장치 및 방법에 관한 것으로서, 구체적으로는 자유지지형 나노박막을 부상액 위에 띄워 자유지지 박막의 형태를 유지한 후 별도로 제작된 지그를 사용하여 100nm 두께이하의 시편에 대한 자유지지형 나노박막의 인장 특성을 측정하는 장치 및 방법을 제공한다.
Int. CL G01N 3/08 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1020120131996 (2012.11.20)
출원인 한국기계연구원
등록번호/일자 10-1388005-0000 (2014.04.16)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20140422) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.11.20)
심사청구항수 16

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 황보윤 대한민국 대전광역시 유성구
2 현승민 대한민국 대전광역시 유성구
3 김재한 대한민국 대전광역시 동구
4 우창수 대한민국 대전광역시 유성구
5 이학주 대한민국 대전광역시 서구
6 정준호 대한민국 대전광역시 서구
7 김택수 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 김종관 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)
2 박창희 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)
3 권오식 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대전광역시 유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2012.11.20 수리 (Accepted) 1-1-2012-0957248-02
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2013.10.07 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2013.11.13 수리 (Accepted) 9-1-2013-0094882-63
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2013.12.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0871614-07
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2013.12.20 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-1170251-16
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2013.12.20 수리 (Accepted) 1-1-2013-1170267-35
7 등록결정서
Decision to grant		 2014.02.14 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0107819-29
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
로드셀(100);모터(200);일측이 상기 로드셀(100)의 일단에 연결되고 타측이 시편(10)의 일단에 고정되는 로드셀측지그(310);일측이 상기 모터(200)의 일단에 연결되고 타측이 상기 시편(10)의 타단에 고정되는 모터측지그(320);상기 로드셀(100)과 상기 모터(200)의 사이에 구비되며, 내부에 부상액(410)을 수용하여 상기 시편(10)을 상기 부상액(410) 위에 띄운 상태로 상기 로드셀(100)과 상기 모터(200)의 사이에 위치시키는 표본거치대(400); 및상기 표본거치대(400)의 상부에 위치하며, 상기 시편(10)의 기계적 특성을 측정하는 측정부(500);를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 자유지지형 나노박막의 기계적 특성 측정 장치
2 2
제1항에 있어서, 상기 측정부(500)는상기 모터(200)에 의해 상기 시편(10)이 당겨지면 상기 시편(10)이 늘어나는 정도(strain)를 실시간으로 측정하는 카메라(510); 를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 자유지지형 나노박막의 기계적 특성 측정 장치
3 3
제1항에 있어서, 상기 시편(10)은 특정한 패턴(11)이 형성되는 것을 특징으로 하는 자유지지형 나노박막의 기계적 특성 측정 장치
4 4
제1항에 있어서, 상기 로드셀측지그(310) 및 상기 모터측지그(320)는 상기 시편(10)과 접촉되는 측 표면에 구비되는 점착부재(350);를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 자유지지형 나노박막의 기계적 특성 측정 장치
5 5
제4항에 있어서, 상기 점착부재(350)는 PDMS(polydimethylsiloxane) 및 PMMA(Polymethylmethacrylate) 중 선택되는 어느 하나인 것을 특징으로 하는 자유지지형 나노박막의 기계적 특성 측정 장치
6 6
제3항에 있어서, 상기 측정부(500)는 상기 패턴(11)을 카메라(510)를 이용하여 추적하여 상기 시편(10)이 늘어나는 정도(strain)를 측정하는 것을 특징으로 하는 자유지지형 나노박막의 기계적 특성 측정 장치
7 7
제3항에 있어서, 상기 측정부(500)는 랩뷰(LabView) 프로그램을 사용하는 것을 특징으로 하는 자유지지형 나노박막의 기계적 특성 측정 장치
8 8
로드셀(100), 모터(200), 로드셀측지그(310), 모터측지그(320), 표본거치대(400), 카메라(510) 및 측정부(500)를 포함하여 구성되는 나노스케일 자유지지 박막의 기계적 특성 측정 장치를 이용한 나노스케일 자유지지 박막의 기계적 특성 측정 방법에 있어서,기계적 특성을 측정하기 위한 시편(10)을 준비하는 시편 준비 단계(S10);상기 시편 준비 단계(S10)에서 준비된 시편(10)을 상기 표본거치대(400)에 담겨진 부상액(410) 위에 띄우는 표본 거치 단계(S20);상기 표본 거치 단계(S20)에서 상기 부상액(410) 위에 띄워진 상기 시편(10)과 상기 로드셀(100)에 상기 로드셀측지그(310)를 연결하고, 상기 시편(10)과 상기 모터(200)에 상기 모터측지그(320)를 연결하는 지그 연결 단계(S30); 및상기 지그 연결 단계(S30)에서 상기 로드셀측지그(310) 및 모터측지그(320)가 연결된 상기 시편(10)을 상기 모터(200)를 이용하여 잡아당기며 상기 로드셀(100) 및 상기 카메라(510)를 이용하여 상기 측정부(500)가 측정하는 측정 단계(S40);를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 자유지지형 나노박막의 기계적 특성 측정 방법
9 9
제8항에 있어서, 상기 시편 준비 단계(S10)는 기판(12) 위에 기판재료(13)를 증착하는 기판재료 증착 단계(S11);제1 부재(14)를 증착하는 제1 부재 증착 단계(S12); 마스크재(15)를 코팅하는 마스크재 코팅 단계(S13); 시편 형상의 마스크를 통해서 시편 형상의 몰을 패턴하는 패턴 단계(S14); 제2 부재(16)를 증착하는 제2 부재 증착 단계(S15); 및상기 마스크재(15)를 제거하는 마스크재 제거 단계(S16);를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 자유지지형 나노박막의 기계적 특성 측정 방법
10 10
제9항에 있어서, 상기 기판재료(13)는 Si인 것을 특징으로 하는 자유지지형 나노박막의 기계적 특성 측정 방법
11 11
제9항에 있어서, 상기 제1 부재(14)는 Cu인 것을 특징으로 하는 자유지지형 나노박막의 기계적 특성 측정 방법
12 12
제9항에 있어서, 상기 제2 부재(16)는 Au인 것을 특징으로 하는 자유지지형 나노박막의 기계적 특성 측정 방법
13 13
제8항에 있어서, 상기 표본 거치 단계(S20)는 제1 부재(14) 위에 증착된 제2 부재(16)가 포함된 기판(12)을 측정에 사용할 크기로 자르는 커팅 단계(S21);상기 제1 부재(14)를 기판재료(13)에서 떼어내는 제1 부재 분리 단계(S22); 상기 부상액(410) 위에 띄워져 있는 상기 제1 부재(14)와 상기 제2 부재(16)를 떠 올려서 제1 부재 부식액(etchant)(17) 위에 띄우는 제1 부재 띄움 단계(S23);상기 제1 부재 부식액(17)에 의하여 상기 제1 부재(14)를 제거하여 상기 제2 부재(16)만 상기 제1 부재 부식액(17) 위에 띄우는 제2 부재 분리 단계(S24); 및상기 제1 부재 부식액(17) 위에 떠 있는 상기 제2 부재(16) 시편을 떠 올려 상기 부상액(410) 표면위로 옮기는 시편 이동 단계(S25); 를 포함하여 이루어지되 모든 단계에서 시편은 상기 부상액(410) 표면에서 진행되는 것을 특징으로 하는 자유지지형 나노박막의 기계적 특성 측정 방법
14 14
제13항에 있어서, 상기 시편 이동 단계(S25)는상기 부상액 위에 올리는 과정에서 수용기구(미도시)를 사용하여 상기 시편(10)과 주변 상기 부상액(410)도 함께 들어 올리는 것을 특징으로 하는 자유지지형 나노박막의 기계적 특성 측정 방법
15 15
제8항에 있어서, 상기 지그 연결 단계(S30)는 상기 로드셀(100)에 상기 로드셀측지그(310)를 연결하고, 상기 모터(200)에 상기 모터측지그(320)를 연결하는 로드셀 및 모터 연결 단계(S31); 및상기 로드셀(100) 및 상기 모터(200)를 움직여서 상기 시편(10)에 상기 로드셀측지그(310) 및 상기 모터측지그(320)를 부착하는 시편 연결 단계(S32);를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 자유지지형 나노박막의 기계적 특성 측정 방법
16 16
제8항에 있어서, 상기 측정 단계(S40)는 상기 측정부(500)가 상기 카메라(510)로부터 시편의 이미지를 실시간으로 입력받는 이미지 입력 단계(S41); 및상기 이미지 상에서 시편 위에 있는 특정한 패턴간의 움직임을 추적하여 시편의 늘어난 정도를 확인하는 확인단계(S42); 를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 자유지지형 나노박막의 기계적 특성 측정 방법
지정국 정보가 없습니다
순번, 패밀리번호, 국가코드, 국가명, 종류의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 패밀리정보 - 패밀리정보 표입니다.
순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 WO2014081109 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

순번, 패밀리번호, 국가코드, 국가명, 종류의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 패밀리정보 - DOCDB 패밀리 정보 표입니다.
순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 WO2014081109 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 지식경제부 한국기계연구원 주요사업 나노소재 기반 기능성 소자 적용기술 개발 (1/3)
2 지식경제부 한국과학기술원 주요사업-일반 3차원 나노구조체 제조기술 고도화 사업 (2/5)