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확장광을 제공하는 한 개의 광원과, 상기 확장광의 조사에 의해 전기적 신호를 생성하는 한 개의 4분할 광전소자가 쌍을 이루고, 상기 광원과 광전소자사이에 위치하여 상기 광전소자 일 영역에 그림자가 생기게 하는 원통형상의 측정물과, 상기 각 광전소자에서 발생하는 전기적 신호를 검출하는 검출부를 포함하여, 상기 그림자의 크기나 위치의 변화에 따른 광전소자의 전기적 신호의 변화에 의해 상기 측정물의 공간상 3축 위치를 산출하는 방법으로서,
(1) 상기 검출부를 통해 상기 각 광전소자에서 변환되는 전기적 신호를 검출하는 제1단계와,
(2) 상기 검출된 전기적 신호의 강도와 상기 광전소자의 중심점을 기준으로 하여 상기 측정물의 하측 끝단면의 중앙부의 3축 좌표를 산출하는 제2단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 광강도 변조방식의 위치 측정 방법
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제4항에 있어서,
상기 제2단계는
(1)상기 중앙부의 3축 좌표 중 상기 확장광의 중심축 방향의 좌표를 다음의 [수학식1]에 의해 산출하는 제21단계와,
[수학식1]
단 x는 상기 중앙부의 좌표 중 상기 광전소자로부터 중앙부까지 확장광의 중심축 방향의 거리
x0는 상기 광원으로부터 상기 광전소자까지의 확장광의 중심축 방향의 거리 r은 상기 측정물의 하측 끝단면 반경
w1,w2는 좌상귀측 광전소자 및 우상귀측 광전소자에 각각 비치는 그림자의 폭이다
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제5항에 있어서,
상기 각 광전소자에 비치는 그림자의 폭 w1,w2는 아래의 [수학식3]에 의해 산정되는 것을 특징으로 하는 광강도 변조방식의 위치 측정 방법
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제5항에 있어서,
상기 h는 [수학식5]에 의해 산출되는 것을 특징으로 하는 광강도 변조방식의 위치 측정 방법
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제4항 내지 제7항에 기재된 방법을 이용하여 소형 공작기계에 사용되는 툴을 측정물로 하여 상기 툴의 하측 바닥면의 중앙부 위치를 측정하는 것을 특징으로 하는 광강도 변조방식의 소형 공작기계의 툴 위치 측정 방법
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