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LCD기판의 감광막을 제거하는 제거설비를 이용한 방법에 있어서, LCD기판을 제거공정실(100) 내부로 이송시키는 기판투입단계와;(S10) 상기 투입된 LCD기판을 제거공정실(100) 내부의 LCD기판 이송롤러(120) 하측에 설치된 고온수 분사노즐(130)로 고온수를 LCD기판 하측에 분사하여 LCD기판을 가열하는 기판가열단계와;(S20) 상기 가열된 LCD기판의 상측에 설치된 가스분사노즐(110)에서 감광막제거가스를 분사하여 감광막을 제거하는 감광막제거단계와;(S30) 상기 LCD기판을 이송롤러(120)로 좌우 왕복 이송하여 감광막을 제거하는 기판왕복이송단계와;(S40) 상기 왕복운동으로 감광막이 제거된 LCD기판을 상기 제거공정실(100) 일측에 밀착 구성된 세정공정실(200)로 이송하여 LCD기판 이동롤러(220)의 상하측에 설치된 세정수 분사노즐(230)로 세정수를 분사하여 LCD기판을 세정하는 기판세정단계와;(S50) 상기 세정공정실(200)에서 세정된 LCD기판을 에어나이프(210)를 통과시키며 물기를 제거하여 제거공정실(100)로 재 이송시켜 감광막제거단계(S30)와 기판왕복이송단계(S40) 및 기판세정단계(S50)를 다수 반복하는 반복순환단계와;(S60) 상기 반복순환단계(S60)를 거쳐 감광막이 제거된 LCD기판을 세정공정실(200)에서 세정하여 타측의 에어나이프(210)를 통과시켜 물기를 제거하여 LCD기판을 배출로를 통해 배출하는 기판배출단계;(S70)를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 LCD기판의 감광막제거설비를 이용한 감광막제거방법
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제 1항에 있어서,상기 기판가열단계(S10)에서 LCD기판의 하측에서 분사되어 LCD기판을 가열하는 고온수는 처음에 일정온도로 LCD기판을 가열하며, 상기 감광막제거단계(S30)에서 감광막제거가스로 인해 LCD기판이 가열되어지는데 이를 하측에서 분사되어지는 고온수가 LCD기판의 온도를 냉각시켜 일정하게 유지시키는 것을 특징으로 하는 LCD기판의 감광막제거설비를 이용한 감광막제거방법
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제 1항에 있어서,상기 감광막제거단계(S30)에서 LCD기판의 표면온도와 감광막제거가스 간의 온도차는 5℃~15℃를 유지하는 것을 특징으로 하는 LCD기판의 감광막제거설비를 이용한 감광막제거방법
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제 1항에 있어서,상기 감광막제거가스는 오존과 수증기가 혼합되어져 이루어지는 것을 특징으로 하는 LCD기판의 감광막제거설비를 이용한 감광막제거방법
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LCD기판의 감광막을 제거하는 감광막제거설비에 있어서,LCD기판이 투입되면 LCD기판을 이송시키는 이송롤러(120)와, 상기 이송롤러(120)의 상측에 설치되어 감광막제거가스를 분사하는 가스분사노즐(110)과, 상기 이송롤러(120)의 하측에 설치되어 고온수로 LCD기판을 일정 온도로 가열하는 고온수 분사노즐(130)과, 상기 이송롤러(120)를 구동시키는 구동장치(400)와, 상기 구동장치(400)에 연결되어 이송롤러(120)를 회전시키는 회전레일(410)을 포함하여 구성되는 제거공정실(100)과;상기 제거공정실(100)에서 이송되는 LCD기판을 이동시키는 이동롤러(220)와, 상기 이동롤러(220)를 통해 이동되어진 LCD기판이 이동롤러(220)의 상하측에 세정수를 분사하는 세정수 분사노즐(230)이 설치되고, 상기 제거공정실(100)과 연통되는 연통부의 일측과 LCD기판이 배출되는 배출로 전에 설치되어 LCD기판 상하측의 세정수를 고압의 공기로 제거하는 에어나이프(210)와, 상기 이동롤러(220)를 구동시키는 구동장치(400)와, 상기 이동롤러(220)와 구동장치(400) 간에 연결되어 이동롤러(220)를 회전시키는 회전레일(410)을 포함하여 구성되는 세정공정실(200)과;상기 제거공정실(100)의 고온수 분사노즐(130)과 세정공정실(200)의 세정수 분사노즐(230)에 고온수와 세정수를 공급하는 공급장치(300);를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 LCD기판 감광막제거설비
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제 5항에 있어서,상기 가스분사노즐(110)은 길이방향으로 일정 길이를 가지며, 외곽벽에서 일정 간격 내측으로 일정 깊이를 가지며, 요철부(113)를 타고 흐르는 물방울이 고이는 홈(114)이 형성되고, 상기 홈(114)의 중앙에 길이방향으로 일정높이의 요철부(113)가 형성되어지고, 상기 요철부(113)의 대칭되는 하측에 길이방향 양측으로 일정각도를 가지는 분사홈(116)이 형성 되어지며, 상기 요철부(113)의 중심에 길이방향으로 가스가 분사되는 분사홀(115)이 형성되어지고, 상기 홈(114)과 외측벽 간에 가스가 새어나가지 않도록 하는 패킹이 삽입되는 패킹홈이 형성되며, 상기 홈(114)의 길이방향 양단에 홈(114)까지 외측벽을 관통하여 형성되어지고, 상기 홈(114)에 고인 물방울이 배출되는 배출구(116)가 형성되는 가스분사노즐(110)과, 상기 가스분사노즐(110)의 상측에 결합되며, 상기 가스분사노즐(110)에 가스를 주입하는 다수개의 주입노즐(118)이 형성되어진 노즐덮개(117)를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 LCD기판 감광막제거설비
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제 5항에 있어서,상기 가스분사노즐(110)은 외부에 오존공급장치(300)와 수증기공급장치(300)가 연결되어 오존과 수증기가 공급되어 제거공정실(100) 내부로 분사하는 것을 특징으로 하는 LCD기판 감광막제거설비
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제 5항에 있어서,상기 에어나이프(210)는 상부와 하부로 나위어져 형성되어 제거공정실(100)과 세정공정실(200)의 접촉벽면에 연통부의 일측인 세정공정실(200)측에 공기를 소폭이면서 고압으로 분사하여 LCD기판에 잔존하는 세정수를 제거하며, 상하부의 양측단에 회전부가 형성되어 전후로 각각 회동되어지는 것을 특징으로 하는 LCD기판 감광막제거설비
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제 5항에 있어서,상기 에어나이프(210)는 외부의 고압건조공기 공급장치와 연결되어 건조하며 고압인 공기를 분사하는 것을 특징으로 하는 LCD기판 감광막제거설비
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