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다수의 실리콘 웨이퍼를 세척하도록 오존과 물을 혼합하여 기능수를 생성하는 기능수 생성 시스템에 있어서,초순수를 형성하여 배출하는 초순수 공급장치(10)와; 산소가스를 이용하여 오존가스를 생성하는 오존 생성장치(20)와; 상기 초순수 공급장치(10)와 오존 생성장치(20)가 연결되어 배출되는 초순수와 오존가스를 혼합하는 인젝터(30)와;상기 인젝터(30)와 연결되어 인젝터에서 혼합하여 이송되어 온 오존가스와 초순수를 마이크로 버블형태로 초순수 입자를 작게 하여 오존가스와의 접촉 가능성을 높여 고농도로 오존 기능수를 제조하는 액체기체 접촉장치(40)와;상기 액체기체 접촉장치(40)와 연결되어져 공급되는 기능수를 저장하며, 기능수 제조 초기의 설정농도 도달에 필요한 시간 동안의 기능수 손실을 보정하기 위해 제조된 기능수를 다시 액체기체 접촉장치(40)로 유동시키는 리턴 배관라인을 포함하는 기능수 저장조(50)와;상기 액체기체 접촉장치(40)와 기능수 저장조(50)가 연결되어 배출되는 잔류 오존가스 및 기능수의 오존을 분해하는 오존분해장치(60)와;상기 기능수 저장조(50) 내부에 설치되어 기능수의 농도를 측정하는 기능수 농도측정장치(70)와;상기 기능수 농도측정장치(70)와 연결되어 기능수의 농도를 제어하도록 제어신호를 송신하는 PID 방식 기능수 농도제어기(80)와;상기 기능수 농도제어기(80)의 제어신호를 수신받아 주파수 변화에 방전전력을 가변하여 오존 생성장치(20)로 공급함으로써 오존가스 생성농도를 조절하는 전력공급장치(90);를 포함하여 구성되어지는 것을 특징으로 하는 다수의 실리콘 웨이퍼 일괄 세정용 균일농도 오존기능수 제조 시스템
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제 1항에 있어서,상기 오존 생성장치(20)는 전력공급장치(90)에서 인가되는 전력에 의해 반응되어 생성되는 오존가스 농도가 증감되어지는 것을 특징으로 하는 다수의 실리콘 웨이퍼 일괄 세정용 균일농도 오존기능수 제조 시스템
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제 1항에 있어서,상기 전력공급장치(90)는 기능수 농도제어기(80)에서 전송되는 제어신호에 의해 PWM방식(Pulse Width Modulation : 펄스폭 변조방식)으로 주파수를 변화시켜 전력공급장치(90)의 방전전력을 가변함으로써 오존생성장치(20)에서의 오존생성농도를 제어하는 것을 특징으로 하는 다수의 실리콘 웨이퍼 일괄 세정용 균일농도 오존기능수 제조 시스템
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다수의 실리콘 웨이퍼 일괄 세정용 균일농도 오존기능수 제조 시스템을 이용한 기능수 제조방법에 있어서,초순수 공급장치(10)에서 초순수를 생성하여 인젝터(30)로 공급하고, 상기 오존 생성장치(20)에서 오존가스를 생성하여 인젝터(30)로 공급하는 공급단계(S10)와;상기 공급단계(S10)에서 공급되는 오존가스와 초순수를 인젝터(30)에서 혼합하여 액체기체 접촉장치(40)로 유동시켜 초순수를 마이크로 버블형태로 미세하게 분할하여 기체액체접촉효율을 높이는 방법으로 고농도의 기능수를 생성하는 생성단계(S20)와;상기 기능수 생성단계(S20)를 통해 생성되어지는 기능수가 균일농도를 갖도록 리턴라인을 포함하여 기능수를 저장조(50)에 저장하는 기능수 저장단계(S30)와;상기 저장단계(S30)에서 저장되는 기능수의 농도를 기능수 농도측정장치(70)를 통해 측정하여 기능수 농도제어기(80)로 기능수의 농도를 조절하는 기능수 농도조절단계(S40)와;상기 기능수 농도조절단계(S40)에서 조절되어진 기능수를 이용하여 세정장치에서 다수의 실리콘 웨이퍼를 세정하는 세정단계(S50)와;상기 세정단계(S50)를 거친 기능수와 액체기체 접촉장치(40)에서 발생되는 잔류 오존가스를 오존분해장치(60)에서 분해하여 배출하는 분해단계(S60);를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 다수의 실리콘 웨이퍼 일괄 세정용 균일농도 오존기능수 제조 시스템을 이용한 기능수 제조방법
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제 4항에 있어서,상기 기능수 농도조절단계(S40)는 상기 저장단계(S30)에서 저장되는 기능수의 농도를 기능수 농도측정장치(70)를 통해 측정하여 기능수 농도제어기(80)로 전력공급장치(90)의 전력공급량을 제어하며, 전력공급장치(90)를 통해 오존 생성장치(20)를 제어하며, 오존 생성장치(20)에서 생성되는 오존가스의 농도를 제어하여 인젝터(30)와 액체기체 접촉장치(40)에서 제조되는 기능수의 농도를 조절하게 되며 짧은 시간 내에 기능수 저장조(50)에 균일농도의 기능수가 저장되는 것을 특징으로 하는 다수의 실리콘 웨이퍼 일괄 세정용 균일농도 오존기능수 제조 시스템을 이용한 기능수 제조방법
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실리콘 웨이퍼를 세척하도록 오존과 물을 혼합하여 기능수를 생성하는 기능수 생성 시스템에 있어서,초순수를 형성하여 배출하는 초순수 공급장치(110)와;산소가스를 이용하여 오존가스를 생성하는 오존 생성장치(120)와;상기 초순수 공급장치(110)와 오존 생성장치(120)가 연결되어 배출되는 초순수와 오존가스를 혼합하는 인젝터(130)와;상기 인젝터(130)와 연결되어 인젝터에서 혼합하여 이송되어 온 오존가스와 초순수를 마이크로 버블형태로 초순수 입자를 작게 하여 오존가스와의 접촉 가능성을 높여 고농도로 오존 기능수를 제조하는 액체기체 접촉장치(140)와; 상기 액체기체 접촉장치(140)와 연결되어져 기능수 제조 초기의 설정농도 도달에 필요한 시간 동안의 기능수 손실을 보정하기 위해 제조된 기능수를 다시 액체기체 접촉장치(140)로 유동시키는 리턴 배관라인(150)과;상기 액체기체 접촉장치(140)에서배출되는 잔류 오존가스 및 기능수의 오존을 분해하는 오존분해장치(160)와;상기 액체기체 접촉장치(140)와 실리콘 웨이퍼를 세정하는 세정장치 간의 배관에 설치되어 기능수의 농도를 측정하는 기능수 농도측정장치(170)와;상기 기능수 농도측정장치(170)와 연결되어 기능수의 농도를 제어하도록 제어신호를 송신하는 PID 방식 기능수 농도제어기(180)와;상기 기능수 농도제어기(180)의 제어신호를 수신받아 주파수 변화에 방전전력을 가변하여 오존 생성장치(120)로 공급함으로써 오존가스 생성농도를 조절하는 전력공급장치(190);를 포함하여 구성되어 지는 것을 특징으로 하는 실리콘 웨이퍼 연속 세정용 균일농도 오존기능수 제조 시스템
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제 6항에 있어서,상기 전력공급장치(190)는상기 전력공급장치(190)는 PWM방식(Pulse Width Modulation : 펄스폭 변조방식)을 사용하여 오존 생성장치(120)에 전원을 공급하며, 기능수 농도제어기(180)에서 전송되는 제어신호에 의해 주파수를 조절함으로써 방전전력 출력을 제어하는 것을 특징으로 하는 실리콘 웨이퍼 연속 세정용 균일농도 오존기능수 제조 시스템
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8
제 6항에 있어서,상기 기능수 농도측정장치(170)는 액체기체 접촉장치(140)와 세정장치 간에 연결되는 배관에 설치되어 세정장치로 유동되는 기능수의 농도를 측정하고 설정되어지는 농도에 도달되지 않으면 배관과 액체기체 접촉장치(140) 간에 설치되는 리턴배관(150)을 통해 액체기체 접촉장치(140)로 리턴시켜 기능수 농도제어기(180)를 통해 기능수의 농도를 조절하는 것을 특징으로 하는 실리콘 웨이퍼 연속 세정용 균일농도 오존기능수 제조 시스템
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실리콘 웨이퍼 연속 세정용 균일농도 오존기능수 제조 시스템을 이용한 기능수 제조방법에 있어서,초순수 공급장치(110)에서 초순수를 생성하여 인젝터(130)로 공급하고, 상기 오존 생성장치(120)에서 오존가스를 생성하여 인젝터(130)로 공급하는 공급단계(S110)와;상기 공급단계(S110)에서 공급되는 오존가스와 초순수를 인젝터(130)에서 혼합하여 액체기체 접촉장치(140)로 유동시켜 기능수를 생성하는 기능수 생성단계(S120)와;상기 기능수 생성단계(S120)에서 생성되는 기능수의 농도를 기능수 농도측정장치(170)를 통해 측정하여 기능수 농도제어기(180)로 기능수의 농도를 조절하는 기능수 농도조절단계(S130)와;상기 기능수 농도조절단계(S130)에서 조절되어진 기능수를 이용하여 세정장치에서 다수의 실리콘 웨이퍼를 세정하는 세정단계(S140)와;상기 세정단계(S140)를 거친 기능수와 액체기체 접촉장치(140)에서 발생되는 잔류 오존가스를 오존분해장치(160)에서 분해하여 배출하는 분해단계(S150);를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 실리콘 웨이퍼 연속 세정용 균일농도 오존기능수 제조 시스템을 이용한 기능수 제조방법
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제 9항에 있어서,상기 기능수 농도조절단계(S130)는 상기 기능수 생성단계(S120)에서 생성되는 기능수의 농도를 액체기체 접촉장치(140)와 세정장치 간에 설치되는 배관에 설치되어지는 기능수 농도측정장치(170)를 통해 측정하여 기능수 농도제어기(180)로 전력공급장치(190)의 전력공급량을 제어하며, 전력공급장치(190)를 통해 오존 생성장치(120)를 제어하며, 오존 생성장치(120)에서 생성되는 오존가스의 농도를 제어하여 인젝터(130)와 액체기체 접촉장치(140)에서 세정잔치로 공급되는 기능수의 농도를 실시간으로 조절하는 것을 특징으로 하는 실리콘 웨이퍼 연속 세정용 균일농도 오존기능수 제조 시스템을 이용한 기능수 제조방법
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