| 1 |
1
반도체 웨이퍼를 세정하는 장치에 있어서,일측이 개구되고 내부가 비어있으며, 내측면에서 다수개의 반사판(18)이 연장돌출되는 적분구형 세정조(30)와;상기 세정조(30) 외주면에 일측이 부착되는 다수개의 초음파장치(41)와;상기 초음파장치(41)에 연결되어 전원을 공급하는 전원선(31);을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 세정용 초음파 장치 및 이를 이용한 초음파 세정시스템
|
| 2 |
2
반도체 웨이퍼를 세정하는 장치에 있어서,일단이 개구되고, 내부가 비어있는 아령형 세정조(30)와;상기 세정조(30)의 상, 하단부에 각각 결합되되, 일측이 부착되는 다수개의 초음파장치(41)와;상기 초음파장치(41)에 연결되어 전원을 공급하는 전원선(31);을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 세정용 초음파 장치 및 이를 이용한 초음파 세정시스템
|
| 3 |
3
반도체 웨이퍼를 세정하는 장치에 있어서,상부 중단이 개구되고, 내부가 비어있는 아령형 세정조(30)와;상기 세정조(30)의 양측에 각각 결합되되, 일측이 부착되는 다수개의 초음파장치(41)와;상기 초음파장치(41)에 연결되어 전원을 공급하는 전원선(31);을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 세정용 초음파 장치 및 이를 이용한 초음파 세정시스템
|
| 4 |
4
반도체 웨이퍼를 세정하는 장치에 있어서,일측이 개구되고, 내부가 비어있는 원통형 세정조(30)와;초음파를 확산시키는 확산층(13)과 빔확산용 압전소자(10)가 접합되어 이루어지며, 상기 세정조(30) 하단부 외주면에 결합되되, 일측이 부착되는 다수개의 초음파장치(41)와;상기 초음파장치(41)에 연결되어 전원을 공급하는 전원선(31);을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 세정용 초음파 장치 및 이를 이용한 초음파 세정시스템
|
| 5 |
5
반도체 웨이퍼를 세정하는 장치에 있어서,내부가 비어있는 원통형 세정조(30)와;초음파를 확산시키는 확산층(13)과 빔확산용 압전소자(10)가 접합되어 이루어지며, 상기 세정조(30) 외주면에 결합되되, 일측이 부착되는 다수개의 초음파장치(41)와;상기 초음파장치(41)에 연결되어 전원을 공급하는 다수개의 전원선(31);을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 세정용 초음파 장치 및 이를 이용한 초음파 세정시스템
|
| 6 |
6
반도체 웨이퍼를 세정하는 장치에 있어서,내부가 비어있는 원통형 세정조(30)와;초음파를 확산시키는 확산층(13)과 빔확산용 압전소자(10)가 접합되어 이루어지며, 상기 세정조(30)에 일면이 부착되는 초음파장치(41)와;상기 초음파장치(41)에 연결되어 전원을 공급하는 다수개의 전원선(31);을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 세정용 초음파 장치 및 이를 이용한 초음파 세정시스템
|
| 7 |
7
제 4항 내지 제 6항 중 어느 한 항에 있어서,상기 빔확산용 압전소자(10)는 압전세라믹(14) 일측에 양극부(2)가 증착되고, 타측에는 음극부(3)가 증착되어 구성되는 것을 특징으로 하는 세정용 초음파 장치 및 이를 이용한 초음파 세정시스템
|
| 8 |
8
제 4항 내지 제 6항 중 어느 한 항에 있어서,상기 확산층(13)은 일측이 상기 음극부(3)에 접합되며 초음파가 직진성을 갖는 니어필드(11) 영역과, 초음파가 확산 중첩되는 파필드(12) 영역으로 구성되어, 초음파의 음압편차를 감소시키는 것을 특징으로 하는 세정용 초음파 장치 및 이를 이용한 초음파 세정시스템
|
| 9 |
9
제 4항 내지 제 6항 중 어느 한 항에 있어서,상기 빔확산용 압전소자(10)는 횡과 종으로 일정간격 이격되며 다수개가 형성되되, 수축팽창으로 초음파를 발생시키는 것을 특징으로 하는 세정용 초음파 장치 및 이를 이용한 초음파 세정시스템
|
| 10 |
10
제 4항 내지 제 6항 중 어느 한 항에 있어서,상기 확산층(13)은 석영, 스테인리스강, 테플론, 알루미늄, 철 중 어느 하나의 소재로 된 것을 특징으로 하는 세정용 초음파 장치 및 이를 이용한 초음파 세정시스템
|
| 11 |
11
제 7항에 있어서,상기 양극부(2)는 일정간격 이격되는 다수개의 양극편(1)으로 구성되어 전원이 유입되되, 상기 양극편(1)은 너비가 작아질수록 확산각을 크게 하는 것을 특징으로 하는 세정용 초음파 장치 및 이를 이용한 초음파 세정시스템
|
| 12 |
12
제 6항에 있어서,상기 초음파 장치(41)는 피세정물(17) 상면의 패턴손상을 방지하도록 상기 세정조(30)의 후면에 부착되어 피세정물(17)의 후면을 통해 세정하는 것을 특징으로 하는 세정용 초음파 장치 및 이를 이용한 초음파 세정시스템
|
| 13 |
13
삭제
|
| 14 |
14
삭제
|
| 15 |
15
삭제
|
| 16 |
16
삭제
|
| 17 |
17
삭제
|
| 18 |
18
삭제
|
| 19 |
19
삭제
|
