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피세정물(1)의 세정 대상면에 세정액을 공급하는 세정액 공급장치(2)와,
초음파 전달체(4a)와 상기 초음파 전달체(4a)에 구비되는 압전소자(4b)로 구성되고 상기 피세정물(1)과 대향하도록 구비되어 초음파를 발생시켜 피세정물(1)에 공급된 세정액에 초음파를 공급하여 세정이 이루어지게 하는 진동자(4)를 포함하는 초음파 세정 장치에 있어서,
상기 압전소자(4b)는
적어도 둘 이상의 서로 다른 주파수로 구동되는 것을 특징으로 하는 다중 주파수를 이용한 매엽식 초음파 세정장치
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피세정물(1)의 세정 대상면에 세정액을 공급하는 세정액 공급장치(2)와,
초음파 전달체(4a)와 상기 초음파 전달체(4a)에 구비되는 압전소자(4b)로 구성되고 상기 피세정물(1)과 대향하도록 구비되어 초음파를 발생시켜 피세정물(1)에 공급된 세정액에 초음파를 공급하여 세정이 이루어지게 하는 진동자(4)를 포함하는 초음파 세정 장치에 있어서,
상기 진동자(4)는;
적어도 둘 이상의 초음파 전달체(4a)와,
상기 각 초음파 전달체(4a)에 구비되는 하나 이상의 압전소자(4b)로 구성되고,
상기 각 압전 소자(4b)는 각각 서로 다른 주파수로 구동되는 것을 특징으로 하는 다중 주파수를 이용한 매엽식 초음파 세정 장치
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3
제 2항에 있어서,
상기 각 초음파 전달체(4a)는 서로 다른 높이를 가지는 것을 특징으로 하는 다중 주파수를 이용한 매엽식 초음파 세정 장치
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4
제 3항에 있어서,
상기 초음파 전달체(4a)는,
일렬 배열, 삼각 배열, 다각 배열 중 선택된 어느 하나의 형태로 배열되는 것을 특징으로 하는 다중 주파수를 이용한 매엽식 초음파 세정 장치
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5
피세정물(1)의 세정 대상면에 세정액을 공급하는 세정액 공급장치(2)와,
초음파 전달체(4a)와 상기 초음파 전달체(4a)에 구비되는 압전소자(4b)로 구성되고 상기 피세정물(1)과 대향하도록 구비되어 초음파를 발생시켜 피세정물(1)에 공급된 세정액에 초음파를 공급하여 세정이 이루어지게 하는 진동자(4)를 포함하는 초음파 세정 장치에 있어서,
상기 압전 소자(4b)는;
상기 초음파 전달체(4a)에 적어도 둘 이상으로 구비되어 각각의 압전소자(4b)는 서로 다른 주파수로 구동되는 것을 특징으로 하는 다중 주파수를 이용한 매엽식 초음파 세정 장치
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제 5항에 있어서,
상기 압전소자(4b)는,
일렬 배열, 삼각 배열, 다각 배열 중 선택된 어느 하나의 형태로 배열되는 것을 특징으로 하는 다중 주파수를 이용한 매엽식 초음파 세정 장치
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7
제 1항 내지 제 6항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 초음파 전달체(4a)는 석영, 사파이어, 다이아몬드, 유리질 카본을 포함하는 유리질 고체물질로부터 선택되는 어느 하나인 것을 특징으로 하는 다중 주파수를 이용한 매엽식 초음파 세정 장치
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8
제 1항 내지 제 6항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 초음파 전달체(4a)는 스테인레스, 티타늄, 알루미늄, 스틸을 포함하는 금속물질과, 테플론을 포함하는 내화학성 재료가 코팅된 금속물질 중 선택되는 어느 하나인 것을 특징으로 하는 다중 주파수를 이용한 매엽식 초음파 세정 장치
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9
제 1항 내지 제 6항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 진동자(4)는 사각형, 원형, 다각형 중 어느 하나의 단면을 가지는 것을 특징으로 하는 다중 주파수를 이용한 매엽식 초음파 세정 장치
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10
제 1항 내지 제 6항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 압전소자(4b)는 원형 또는 다각형 중 어느 하나의 형상을 가지는 것을 특징으로 하는 다중 주파수를 이용한 매엽식 초음파 세정 장치
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