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초음파 세정장치

  • 기술번호 : KST2016004324
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 압전소자에서 발생된 초음파의 진행과정에서의 반사를 방지하여 효율적으로 초음파를 전달하며 최종 단부에서 발생하는 음압의 분포를 균일하게 하여 피세정물에 손상을 주지 않으면서 세정 효율을 높일 수 있는 초음파 세정장치에 관한 것이다. 이를 위한 본 발명의 초음파 세정장치는 피세정물에 세정액을 공급하는 세정액 공급장치와, 초음파 전달체와 상기 초음파 전달체에 구비되는 압전소자로 구성되고 상기 피세정물과 대향하도록 구비되어 초음파를 발생시키는 진동자를 포함하는 초음파 세정 장치에 있어서, 상기 초음파 전달체는; 상기 압전소자와의 결합부로부터 단부 방향으로 직경이 점차 증가한다. 세정장치, 초음파, 직경, 전달체, 니어필드, 파필드
Int. CL H01L 21/304 (2006.01) H01L 21/302 (2006.01)
CPC B08B 3/12(2013.01) B08B 3/12(2013.01) B08B 3/12(2013.01)
출원번호/일자 1020080112728 (2008.11.13)
출원인 한국기계연구원
등록번호/일자 10-1002706-0000 (2010.12.14)
공개번호/일자 10-2010-0053886 (2010.05.24) 문서열기
공고번호/일자 (20101221) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2008.11.13)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이양래 대한민국 대전 유성구
2 임의수 대한민국 대전 유성구
3 김현세 대한민국 서울 서대문구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김종관 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)
2 박창희 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)
3 권오식 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2008.11.13 수리 (Accepted) 1-1-2008-0785053-33
2 보정요구서
Request for Amendment
2008.11.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2008-0128090-28
3 [출원서등 보정]보정서(납부자번호)
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment(Payer number)
2008.11.24 수리 (Accepted) 1-1-2008-0803762-19
4 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2010.03.19 수리 (Accepted) 1-1-2010-0176023-15
5 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2010.05.17 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
6 [대리인사임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Resignation of Agent] Report on Agent (Representative)
2010.06.10 수리 (Accepted) 1-1-2010-0372442-74
7 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2010.06.11 수리 (Accepted) 1-1-2010-0374911-22
8 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2010.06.17 수리 (Accepted) 9-1-2010-0038196-44
9 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2010.08.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0357736-31
10 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2010.09.30 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2010-0631571-19
11 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2010.09.30 수리 (Accepted) 1-1-2010-0631524-73
12 등록결정서
Decision to grant
2010.11.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0546948-92
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.04.08 수리 (Accepted) 4-1-2011-5069919-31
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.04.08 수리 (Accepted) 4-1-2011-5069914-14
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
피세정물(1)에 세정액을 공급하는 세정액 공급장치(2)와, 초음파 전달체(4a)와 상기 초음파 전달체(4a)에 구비되는 압전소자(4b)로 구성되고 상기 피세정물(1)과 대향하도록 구비되어 초음파를 발생시키는 진동자(4)를 포함하는 초음파 세정 장치에 있어서, 상기 초음파 전달체(4a)는 상기 압전소자(4b)와의 결합부로부터 단부 방향으로 직경이 점차 증가하고, 상기 초음파 전달체(4a)의 길이(L)는 0
2 2
제 1항에 있어서, 상기 초음파 전달체(4a)는 원뿔형, 다단형, 또는 외벽면이 곡선형의 형상으로 이루어진 것을 특징으로 하는 초음파 세정장치
3 3
삭제
4 4
제 1항에 있어서, 상기 초음파 전달체 단부의 폭 W=2·(tanθ·L)임을 특징으로 하는 초음파 세정장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 지식경제부 한국기계연구원 기본연구사업 초정밀세정용 메가소닉기술 개발