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초음파발생용 진동소자 및 그것을 구비한 초음파장치

  • 기술번호 : KST2016004326
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 초음파진동자의 구성요소인 진동소자에 관한 것이다. 본 발명의 초음파발생용 진동소자는 다각형의 플레이트 형상이되 평행한 변을 갖지 않는 다각형의 플레이트 형상이다. 따라서 횡파의 발생이 최소화되어 출력되는 초음파의 횡파와 종파가 만나 발생되던 종래기술에서의 피크(peak) 음압이 발생되지 않는다. 따라서 본 발명의 진동소자가 구비된 초음파진동자는 초음파가 비교적 고르게 출력되어 고른 음압분포를 보이게 되고, 이로 인해 반도체 기판의 세정 효과 등을 극대화할 수 있는 특징이 있다.
Int. CL B06B 1/04 (2006.01) H01L 21/607 (2006.01)
CPC B06B 1/02(2013.01) B06B 1/02(2013.01) B06B 1/02(2013.01) B06B 1/02(2013.01)
출원번호/일자 1020100056277 (2010.06.15)
출원인 한국기계연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2011-0136345 (2011.12.21) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항 심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.06.15)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이양래 대한민국 대전광역시 유성구
2 임의수 대한민국 대전광역시 유성구
3 김현세 대한민국 서울특별시 서대문구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김종관 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)
2 박창희 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)
3 권오식 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)

최종권리자

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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2010.06.15 수리 (Accepted) 1-1-2010-0381854-82
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.04.08 수리 (Accepted) 4-1-2011-5069919-31
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.04.08 수리 (Accepted) 4-1-2011-5069914-14
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2011.06.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2011.07.14 수리 (Accepted) 9-1-2011-0060037-00
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2012.03.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0156481-59
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2012.05.15 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0386332-02
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2012.05.15 수리 (Accepted) 1-1-2012-0386321-00
9 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2012.10.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0631693-96
10 심사관의견요청서
Request for Opinion of Examiner		 2013.01.02 수리 (Accepted) 7-8-2013-0000206-43
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
초음파진동자의 구성요소인 초음파발생용 진동소자에 있어서,상기 진동소자는 다각형의 플레이트 형상이되 평행한 변을 갖지 않는 다각형의 플레이트 형상인 것을 특징으로 하는, 초음파발생용 진동소자
2 2
제 1항에 있어서,상기 다각형은 홀수 개의 변을 갖는 다각형인 것은 특징으로 하는, 초음파발생용 진동소자
3 3
제 1항에 있어서,상기 다각형은 각각의 변이 동일한 길이를 갖는 정다각형인 것을 특징으로 하는, 초음파발생용 진동소자
4 4
제 1항에 있어서,상기 다각형은 사각형, 육각형, 팔각형 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는, 초음파발생용 진동소자
5 5
제 2항 또는 제 3항에 있어서,상기 다각형은 삼각형, 오각형, 칠각형, 구각형, 십일각형 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는, 초음파발생용 진동소자
6 6
제 1항 내지 제 4항 중 어느 한 항의 초음파발생용 진동소자를 구비한 초음파장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 지식경제부 한국기계연구원 일반사업 그린에너지기기 양산화기술지원센터 구축사업