맞춤기술찾기

이전대상기술

초음파 세정 장치 및 이를 이용한 세정 시스템

  • 기술번호 : KST2016004327
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명에 따른 초음파 세정 장치는 피세정물에 대향하도록 구비되고, 냉각유체가 유입되는 냉각유체유입구와, 냉각유체가 배출되는 냉각유체배출구가 형성되는 하우징; 및 상기 하우징의 내부에 설치되는 제1전달체, 상기 제1전달체에 경사지게 설치되며 초음파가 발생하는 압전소자, 상기 하우징의 피세정물에 대향하는 대향면에 밀착 고정되어 상기 제1전달체의 피세정물에 대향하는 대향면과 결합되는 제2전달체를 포함하며, 상기 하우징의 내부에 유입된 냉각유체에 의해 냉각되는 진동자;를 포함하는 것을 특징으로 한다.또한, 본 발명에 따른 초음파 세정 시스템은 초음파 세정 장치; 및 피세정물에 세정액을 공급하는 세정액 공급수단;을 포함하며, 상기 초음파 세정 장치가 피세정물에 경사지게 대향하도록 구비되는 것을 특징으로 한다.
Int. CL H01L 21/302 (2006.01)
CPC H01L 21/6704(2013.01) H01L 21/6704(2013.01) H01L 21/6704(2013.01) H01L 21/6704(2013.01)
출원번호/일자 1020130054680 (2013.05.14)
출원인 한국기계연구원, (주) 경일메가소닉
등록번호/일자 10-1347068-0000 (2013.12.26)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20140107) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2013.05.14)
심사청구항수 6

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구
2 (주) 경일메가소닉 대한민국 경기도 안산시 단원구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 이양래 대한민국 대전광역시 유성구
2 임의수 대한민국 대전광역시 유성구
3 김현세 대한민국 서울특별시 종로구
4 김상율 대한민국 경기도 안산시 상록구

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 김종관 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)
2 박창희 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)
3 권오식 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층(특허법인 플러스)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대전광역시 유성구
2 (주) 경일메가소닉 경기도 안산시 단원구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2013.05.14 수리 (Accepted) 1-1-2013-0426777-67
2 [우선심사신청]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Preferential Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2013.06.18 수리 (Accepted) 1-1-2013-0539076-97
3 우선심사신청관련 서류제출서
Submission of Document Related to Request for Accelerated Examination
2013.07.08 수리 (Accepted) 1-1-2013-0613394-15
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2013.07.15 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2013.07.30 수리 (Accepted) 9-1-2013-0059648-20
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2013.08.05 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0542573-95
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2013.09.30 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0882411-46
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2013.09.30 수리 (Accepted) 1-1-2013-0882422-48
9 등록결정서
Decision to grant
2013.10.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0741005-41
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
피세정물에 대향하도록 구비되고, 냉각유체가 유입되는 냉각유체유입구와, 냉각유체가 배출되는 냉각유체배출구가 형성되는 하우징; 및상기 하우징의 내부에 설치되는 제1전달체, 상기 제1전달체에 경사지게 설치되며 초음파가 발생하는 압전소자, 상기 하우징의 피세정물에 대향하는 대향면에 밀착 고정되어 상기 제1전달체의 피세정물에 대향하는 대향면과 결합되는 제2전달체를 포함하며, 상기 하우징의 내부에 유입된 냉각유체에 의해 냉각되는 진동자;를 포함하며,상기 진동자는 상기 제1전달체의 피세정물에 대향하는 대향면의 반대면에 경사진 경사면이 형성되고, 상기 압전소자가 상기 경사면에 결합되는 것을 특징으로 하는 초음파 세정 장치
2 2
삭제
3 3
제1항에 있어서, 상기 제1전달체는상기 경사면의 경사각도가 0
4 4
제1항에 있어서, 상기 제1전달체는상기 경사면의 둘레면에 단차가 형성되는 것을 특징으로 하는 초음파 세정 장치
5 5
제1항에 있어서, 상기 초음파 세정 장치는상기 하우징과 제2전달체가 나사결합에 의해 서로 탈착가능하게 결합되는 것을 특징으로 하는 초음파 세정 장치
6 6
제1항에 의한 초음파 세정 장치; 및피세정물에 세정액을 공급하는 세정액 공급수단;을 포함하며,상기 초음파 세정 장치가 피세정물에 경사지게 대향하도록 구비되는 것을 특징으로 하는 초음파 세정 장치를 이용한 세정 시스템
7 7
제6항에 있어서, 상기 초음파 세정 장치를 이용한 세정 시스템은상기 초음파 세정 장치가 피세정물에 0
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 지식경제부 한국기계연구원 에너지자원기술개발사업-핵심기술 에너지다소비 웨이퍼 세정공정의 고효율 핵심모듈 개발 (3/3)