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탄성체의 복원력을 이용하여 음압(negative pressure)을 형성하는 펌핑부,친수성 폴리머를 함유하는 미세 채널을 포함하는 채널부, 및상기 채널부에 부착된, 중공을 포함하는 마이크로니들을 포함하고,상기 펌핑부에 의해 형성되는 음압에 의하여 외부의 액체가 상기 마이크로니들의 중공을 통과하여 상기 미세 채널로 도입되어 이송되는 것인,미세 유체 소자
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제 1 항에 있어서,상기 펌핑부는,홀을 포함하는 몸체;외부의 압력에 의하여 상기 몸체의 상기 홀 내로 인입되는 실린더; 및상기 몸체와 상기 실린더 사이에 위치하며, 상기 실린더의 인입에 따라 상기 홀 내로 인입되는, 복원력을 가진 패드를 포함하는 것인, 미세 유체 소자
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제 2 항에 있어서,상기 채널부는 상기 몸체에 부착되어 있는 것인, 미세 유체 소자
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제 1 항에 있어서,상기 친수성 폴리머는 우레탄계열 폴리머를 포함하는 것인, 미세 유체 소자
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제 2 항에 있어서,상기 실린더, 상기 패드, 또는 상기 몸체는, 소수성 물질을 포함하는 것인, 미세 유체 소자
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제 5 항에 있어서, 상기 소수성 물질은 PDMS(polydimethylsiloxane), 폴리스티렌(polystylene), 폴리에틸렌(polyethylene), 폴리프로필렌(polypropylene), 폴리염화비닐(polyvinyl chloride, PVC), 폴리테트라플루오로에틸렌(polytetrafluoroethylene, PTFE), 및 이들의 조합들로 이루어지는 군으로부터 선택되는 것을 포함하는 것인, 미세 유체 소자
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제 2 항에 있어서,상기 실린더, 상기 패드, 또는 상기 몸체는 탄성체를 포함하는 것인, 미세 유체 소자
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제 1 항에 있어서, 상기 마이크로니들은 길이가 1 ㎛ 내지 5,000 ㎛이고 내경이 10 ㎛ 내지 100 ㎛인 것을 포함하는 것인, 미세 유체 소자
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제 1 항에 있어서,상기 미세 유체 소자는 면역반응키트, 단백질 어레이, 펩타이드 어레이, 또는 특정 세포 분리용 미세 유체 소자를 추가로 포함하는 것인, 미세 유체 소자
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실린더, 패드, 및 몸체를 준비하는 단계;미세 채널의 주형 상에 친수성 폴리머를 주입하고 이를 경화시켜 채널부를 형성하는 단계;상기 채널부를 소수성 물질로 코팅하는 단계;상기 실린더, 상기 패드, 상기 몸체, 및 상기 채널부를 접착시키는 단계; 및,상기 채널부에 중공을 포함하는 마이크로니들을 접착시키는 단계를 포함하는,미세 유체 소자의 제조방법
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제 12 항에 있어서,상기 친수성 폴리머는 우레탄계열 폴리머를 포함하는 것인, 미세 유체 소자의 제조방법
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제 12 항에 있어서,상기 실린더, 상기 패드, 또는 상기 몸체는 소수성 물질을 포함하는 것인, 미세 유체 소자의 제조방법
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제 14 항에 있어서,상기 소수성 물질은 PDMS(polydimethylsiloxane), 폴리스티렌(polystylene), 폴리에틸렌(polyethylene), 폴리프로필렌(polypropylene), 폴리염화비닐(polyvinyl chloride, PVC), 폴리테트라플루오로에틸렌(polytetrafluoroethylene, PTFE), 및 이들의 조합들로 이루어지는 군으로부터 선택되는 것을 포함하는 것인, 미세 유체 소자의 제조방법
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제 12 항에 있어서, 상기 실린더, 상기 패드, 상기 몸체, 및 상기 채널부를 접착시키는 단계는, 각각의 접착하고자 하는 면에 산소 플라즈마를 처리하여 접착시키는 것을 포함하는 것인, 미세 유체 소자의 제조방법
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제 12 항에 있어서,상기 마이크로니들은 길이가 1 ㎛ 내지 5,000 ㎛이고 내경이 10 ㎛ 내지 100 ㎛인 것을 포함하는 것인, 미세 유체소자의 제조방법
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제 1 항 내지 제 7 항, 제 10 항, 및 제 11 항 중 어느 한 항에 따른 미세 유체 소자를 포함하는, 바이오 분석 플랫폼
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