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전기 화학 증착 장치 및 이를 이용한 전기 화학 증착 방법(A DEVICE FOR ELECTROCHEMICAL DEPOSITION, AND ELECTROCHEMICAL DEPOSITION METHOD USING THE SAME)

  • 기술번호 : KST2016004836
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 전기 화학 증착 장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 기판, 실링 부재 및 반응 용기 형성 부재를 이용하여 기판을 바닥부로 하는 반응 용기를 형성하고, 상기 반응 용기에 반응 용액을 담지하여 용액의 일면만 용액과 접하도록 함으로써, 기판의 온도와 용액의 온도를 다르게 조절할 수 있는 전기 화학 증착 반응 장치 및 이를 이용한 전기 화학 증착 방법에 관한 것이다. 본 발명의 전기 화학 증착 장치는 기판의 온도와 반응 용액의 온도를 별도로 조절할 수 있으며, 이에 따라 용액의 온도를 용액의 끓는점 이상까지 조절하는 것이 가능하며, 용액 순환 장치에 의해 용액의 농도를 일정하게 유지하면서 반응시키는 것이 가능하기 때문에 전기 화학 증착 반응에 의해 기판 위에 물성이 뛰어나고 다양한 나노 구조체를 빠르고 자유롭게 생성할 수 있는 효과가 있다.
Int. CL C25D 17/02 (2006.01.01) C25D 21/02 (2006.01.01) C25D 21/14 (2006.01.01) B82B 3/00 (2017.01.01) C25D 21/18 (2006.01.01)
CPC C25D 17/02(2013.01) C25D 17/02(2013.01) C25D 17/02(2013.01) C25D 17/02(2013.01) C25D 17/02(2013.01)
출원번호/일자 1020140064027 (2014.05.27)
출원인 인제대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2015-0136564 (2015.12.07) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2019.04.15)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 인제대학교 산학협력단 대한민국 경남 김해시 인제로 *

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 류혁현 대한민국 부산광역시 연제구
2 오희봉 대한민국 경상북도 포항시 남구
3 장진탁 대한민국 경상북도 구미시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인위더피플 대한민국 서울특별시 서대문구 경기대로 **, 진양빌딩 *층(충정로*가)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2014.05.27 수리 (Accepted) 1-1-2014-0502934-35
2 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2016.11.29 불수리 (Non-acceptance) 1-1-2016-1168987-01
3 서류반려이유통지서
Notice of Reason for Return of Document
2016.11.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2016-0171173-94
4 [반려요청]서류반려요청(반환신청)서
[Request for Return] Request for Return of Document
2016.12.06 수리 (Accepted) 1-1-2016-1193795-17
5 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2016.12.06 수리 (Accepted) 1-1-2016-1197395-51
6 서류반려통지서
Notice for Return of Document
2016.12.08 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2016-0175210-89
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.06.26 수리 (Accepted) 4-1-2017-5100061-64
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.12.29 수리 (Accepted) 4-1-2017-5214791-60
9 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2019.04.15 수리 (Accepted) 1-1-2019-0384427-46
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.04.09 수리 (Accepted) 4-1-2020-5082225-25
11 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2020.06.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.07.06 수리 (Accepted) 4-1-2020-5149036-07
13 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2020.08.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2020-0120474-07
14 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2020.08.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0583420-55
15 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2020.10.05 수리 (Accepted) 1-1-2020-1044256-08
16 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2020.10.26 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2020-1131897-62
17 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서
2020.10.26 수리 (Accepted) 1-1-2020-1131882-88
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판; 상기 기판의 일 면에 적층되는 실링 부재; 및상기 실링 부재 상부에 적층되고, 기판을 바닥부로 하는 전기 화학 증착 반응을 위한 반응 용액을 담지할 수 있는 반응 용기를 형성하는 반응 용기 형성 부재;를 포함하는 반응 용기; 상기 반응 용기 내에서 전기 화학 증착 반응을 수행하기 위해 전기 화학 장치부; 상기 반응 용기 내의 반응 용액을 순환시키는 반응 용액 순환부;를 포함하는 전기 화학 증착 장치
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 전기 화학 장치부는 상기 기판과 연결되는 전원부; 및 상기 전원부와 연결되고 상기 반응기 내의 반응 용액에 담지되는 기준 전극와 상대 전극을 포함하는 것인 전기 화학 증착 장치
3 3
제 1 항에 있어서, 상기 반응 용액 순환부는 상기 반응 용기 내에 담지된 반응 용액을 유출시키는 유출부; 상기 반응 용기 내로 반응 용액을 유입시키는 유입부; 상기 유출부와 유입부 사이에 형성되며, 유입, 유출되는 반응 용액을 정량하기 위한 정량 펌프; 및상기 유출부와 유입부 사이에 형성되며, 유입, 유출되는 반응 용액의 온도를 조절하기 위한 온도조절부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 전기 화학 증착 장치
4 4
제 3 항에 있어서, 상기 온도조절부는 상기 반응기 외주면을 둘러싸는 순환기;인 것을 특징으로 하는 전기 화학 증착 장치
5 5
제 1 항에 있어서, 반응 용액 저장부; 반응 용액 저장부로부터 반응 용액을 상기 반응기 내부로 도입하는 도입부; 및상기 반응기로부터 반응 용액을 유출시키는 유출부;를 포함하는 반응 용액 농도 조절부;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전기 화학 증착 장치
6 6
제 1 항에 있어서, 상기 기판에 열을 공급하기 위하여 기판 하부에 형성되는 기판가열부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전기 화학 증착 장치
7 7
제 1 항에 있어서, 상기 실링 부재는 오링 또는 실리콘 고무인 것을 특징으로 하는 전기 화학 증착 장치
8 8
제 1 항에 있어서, 상기 반응 용기 형성 부재는 테프론, 에폭시 또는 우레탄 재질인 것을 특징으로 하는 전기 화학 증착 장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 인제대학교 산학협력단 일반연구자지원사업 저온 일정 용액 주입 공정법을 이용한 그래핀 투명 전극 기반 유연 하이브리드 다차원 나노결정 태양전지 특성
2 산업통상자원부 인제대학교 산학협력단 지식경제기술혁신사업 유기박막태양전지의 초정밀 전사형 분자 소재 기술