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초음파 분무 장치부; 및 박막 형성부;를 포함하고, 상기 초음파 분무 장치부는 반응용액으로부터 액적을 발생시키기 위한 액적발생기; 액적 분무용기;상기 액적 분무 용기로부터 발생되는 에어로졸이 이동되는 이동관; 을 포함하고, 상기 박막 형성부는 기판:상기 기판 하부에 위치하는 열인가부; 상기 기판 상부에 위치하고 기판에 소정의 에너지를 인가하기 위한 에너지인가부;및 상기 기판 상부에 전계 발생을 위한 전계 발생 장치; 포함하는 것인 박막 제조 장치
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제 1 항에 있어서, 상기 초음파 분무 장치부; 및 상기 박막 형성부는 별도로 독립된 공간에 위치하는 것을 특징으로 하는 박막 제조 장치
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제 1 항에 있어서, 상기 액적발생기가 복수개의 초음파 진동자를 포함하는 것을 특징으로 하는 박막 제조 장치
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제 1 항에 있어서, 상기 액적 분무 용기는 반응용액을 연속적으로 공급하기 위한 용액 주입구, 발생된 액적을 연속적으로 이동시키기 위한 운반 기체를 주입하는 운반기체 주입구를 포함하는 것을 특징으로 하는 박막 제조 장치
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제 1 항에 있어서, 상기 액적발생기와 상기 액적 분무용기의 연결부에 상기 초음파 진동자와 반응 용액을 분리시키기 위한 고분자 막이 형성되는 것을 특징으로 하는 박막 제조 장치
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제 1 항에 있어서, 상기 액적 분무 용기와 연결되는 이동관은 상기 기판 상부까지 연장 형성되어 상기 초음파 분무 장치부에서 제조되는 에어로졸이 상기 기판에 공급되는 것을 특징으로 하는 박막 제조 장치
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제 1 항에 있어서, 상기 에너지 인가부는 후면 반사부; 및 전면 투명 차폐부;로 구성되는 하우징 및 상기 하우징 내부에 수용되는 에너지원을 포함하는 것을 특징으로 하는 박막 제조 장치
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제 1 항에 있어서, 상기 전계 발생 장치는 박막 형성부 상부에 위치하는 전극, 상기 전극과 기판을 연결하는 전원을 포함하는 것을 특징으로 하는 박막 제조 장치
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제 1 항에 있어서, 상기 박막 형성부는 상기 초음파 분무 장치부에서 발생된 액적이 원활하게 공급되도록 진공펌프가 연결되는 것을 특징으로 하는 박막 제조 장치
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제 1 항에 있어서, 상기 박막이 ZnO, Mn3O4, TiO2, SiO2, CuO, PbO, SnO2, MoO3, MoO2, WO3, CdO, 및 NiO 중에서 선택된 단성분 산화물; Ag, Ni, Cu, Pd 및 Au 중에서 선택된 금속 박막; YBa2Cu3O7 , BaTiO3, SrTiO3 , BST 및 PZT 중에서 선택된 다성분 박막; ZnO:In, ZnO:Sn, Y2O3:Eu, Gd2O3:Eu, (YGd)BO3:Eu, Zn2SiO4 :Mn, BaMgAl10O17:Mn, Sr5(PO4)3Cl:Eu, (Ba,Sr)SiO4:Eu, Y2SiO5:Tb, YAG:Ce, SrTiO3:Pr,Al 및 BaAl12O19 :Mn 중에서 선택된 산화물계 박막; 또는 MoS2, ZnS 및 CdS 중에서 선택된 황화물계 박막임을 특징으로 하는 박막 제조 장치
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