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마이크로버블을 이용한 수용성 유해가스 세정 스크러버 시스템(Using a water-soluble toxic gas microbubble washing scrubber system)

  • 기술번호 : KST2016004917
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 하부에 세정수가 저장되는 탱크 상부에 위치되어 수용성 유해가스가 유입되는 유입포트와 연결되는 제1세정공간부와, 상기 제1세정공간부와 병렬로 배치되고 상기 탱크 상부에 위치되는 배출포트와 연결되는 제2세정공간부와, 상기 세정수 수면 쪽으로 수용성 유해가스를 안내하여 접촉되도록 상기 제1세정공간부 및 제2세정공간부 사이에 연결통로가 형성된 챔버본체; 상기 챔버본체 외부에 설치되는 세정수 순환펌프장치에 의해 상기 탱크 내부의 세정수를 상기 수용성 유해가스의 유입 방향으로 분사하도록 상기 제1세정공간부에 설치되는 복수의 분사노즐; 상기 챔버본체 외측에 설치되어 상기 탱크 내부의 세정수를 마이크로버블용 세정수로 재공급하기 위해 상기 제2세정공간부와 상기 탱크 내부와 배관으로 각각 연결되어 있고, 수용성 유해 가스 세정 과정에서 생성되어 상기 탱크에 저장되는 폐수를 선택적으로 배출하기 위한 개폐밸브를 가진 버블 0026# 배수펌프장치; 상기 버블 0026# 배수펌프장치와 상기 탱크 사이 관로에 장착되고, 외부 공압장치의 에어가 공급되면서 생성되는 마이크로버블을 상기 탱크의 세정수 내부로 공급하여 상기 세정수 내에 포집된 산성파우더를 세정수 수면 쪽으로 부상시키는 마이크로버블발생기; 상기 버블0026# Drain펌프의 관로와 연결되고, 외부 공압장치에서 공급되는 에어에 의해 생성되는 세정미스트를 분사하여 상기 배출포트로 배기되는 잔여 유해가스를 제거하는 제2의 마이크로버블발생기; 및 상기 세정수 수면 가까이 수집되는 산성파우더를 강제적 또는 자연적으로 배출시키기 위한 배수트랩;을 포함하는 것을 특징으로 한다. 이러한 본 발명은 마이크로버블발생기에서 발생된 마이크로버블로서 수용성 가스와의 접촉 분해효율을 향상시키고, 세정수에 포집된 산성파우더와 같은 유해 입자를 세정수 수면 위쪽으로 마이크로버블에 의해 인위적으로 부상시켜 유해입자만을 배수장치에 의해 강제로 배수시키고, 세정수는 재순환시키면서 마이크로버블과 함께 연속적으로 재공급하도록 하는 일련의 과정에 의해 반도체 공정 등에서 생성되는 수용성 유해가스 및 산성파우더와 같은 유해성 입자를 마이크로버블를 이용하여 효과적으로 제거하고, 세정수의 사용량을 최소화하면서도 유해성 입자를 세정수 수면 위로 부상시켜 강제 배출시킬 수 있으므로 반도체 및 공정에서 발생하는 폐가스 등을 효과적으로 제거할 수 있다.
Int. CL B01D 47/12 (2006.01) B01D 47/06 (2006.01) B01F 3/04 (2006.01) C02F 1/24 (2006.01)
CPC B01D 47/06(2013.01) B01D 47/06(2013.01) B01D 47/06(2013.01) B01D 47/06(2013.01)
출원번호/일자 1020140075964 (2014.06.20)
출원인 공주대학교 산학협력단, (주)제이원텍
등록번호/일자 10-1591416-0000 (2016.01.28)
공개번호/일자 10-2015-0142560 (2015.12.22) 문서열기
공고번호/일자 (20160218) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보 대한민국  |   1020140070521   |   2014.06.11
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2014.06.20)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 공주대학교 산학협력단 대한민국 충청남도 공주시
2 (주)제이원텍 대한민국 충청남도 천안시 서북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김동선 대한민국 충남 천안시 서북구
2 이영춘 대한민국 충남 천안시 서북구
3 이성현 대한민국 충남 천안시 동남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 윤의섭 대한민국 서울특별시 강남구 언주로 ***, **층 유니스특허법률사무소 (역삼동, 윤익빌딩)
2 김수진 대한민국 서울특별시 강남구 언주로 *** **층 (역삼동, 윤익빌딩)(유니스특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 공주대학교 산학협력단 대한민국 충청남도 공주시
2 (주)제이원텍 대한민국 충청남도 천안시 서북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2014.06.20 수리 (Accepted) 1-1-2014-0579914-15
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.10.01 수리 (Accepted) 4-1-2014-5116413-47
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2015.04.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2015.06.10 수리 (Accepted) 9-1-2015-0040615-60
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2015.07.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0481750-85
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2015.09.16 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2015-0901898-16
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2015.09.16 수리 (Accepted) 1-1-2015-0901897-71
8 등록결정서
Decision to grant
2016.01.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0055322-66
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.02.18 수리 (Accepted) 4-1-2020-5036312-87
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.06.23 수리 (Accepted) 4-1-2020-5136814-18
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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하부에 세정수가 저장되는 탱크 상부에 위치되어 수용성 유해가스가 유입되는 유입포트와 연결되는 제1세정공간부와, 상기 제1세정공간부와 병렬로 배치되고 상기 탱크 상부에 위치되는 배출포트와 연결되는 제2세정공간부와, 상기 세정수 수면 쪽으로 수용성 유해가스를 안내하여 접촉되도록 상기 제1세정공간부 및 제2세정공간부 사이에 연결통로가 형성된 챔버본체;상기 챔버본체 외부에 설치되는 세정수 순환펌프장치에 의해 상기 탱크 내부의 세정수를 상기 수용성 유해가스의 유입 방향으로 분사하도록 상기 제1세정공간부에 설치되는 복수의 분사노즐;상기 챔버본체 외측에 설치되어 상기 탱크 내부의 세정수를 마이크로버블용 세정수로 재공급하기 위해 상기 제2세정공간부와 상기 탱크 내부와 배관으로 각각 연결되어 있고, 수용성 유해 가스 세정 과정에서 생성되어 상기 탱크에 저장되는 폐수를 선택적으로 배출하기 위한 개폐밸브를 가진 버블 0026# 배수펌프장치;상기 버블 0026# 배수펌프장치와 상기 탱크 사이 관로에 장착되고, 외부 공압장치의 에어가 공급되면서 생성되는 마이크로버블을 상기 탱크의 세정수 내부로 공급하여 상기 세정수 내에 포집된 산성파우더를 세정수 수면 쪽으로 부상시키는 마이크로버블발생기;상기 버블 0026# 배수펌프장치의 관로와 연결되고, 외부 공압장치에서 공급되는 에어에 의해 생성되는 세정미스트를 분사하여 상기 배출포트로 배기되는 잔여 유해가스를 제거하는 제2의 마이크로버블발생기;상기 세정수 수면 가까이 수집되는 산성파우더를 강제적 또는 자연적으로 배출시키기 위한 배수트랩;상기 제1세정공간부와 상기 제2세정공간부를 가로질러 각각 설치되는 다수의 통기공이 형성된 지지판; 및 상기 지지판 상에 적층되어 유해가스 및 배기가스의 흐름을 지연시키도록 다수개가 적층되고, 상기 분사노즐을 통해 분사되는 세정수 및 제2의 마이크로버블발생기를 통해 분사되는 세정미스트에 의해 유해가스성분이 부착 제거되어 상기 탱크로 포집되도록 하는 폴링부재;를 포함하며,상기 마이크로버블발생기 및 제2의 마이크로버블발생기는,원통관 입구에 조립되어 상기 세정수 공급관로와 접속되고 일측 개구부를 폐쇄하는 마감캡을 가진 버블발생본체와,상기 마감캡 정중앙에 형성된 세정수통과홀에 일단부가 조립되고 폐쇄된 타단부에 복수의 세정수 토출구가 방사형으로 배열 형성된 지지관과,상기 지지관 외면에 상기 세정수 흐름 방향으로 배열되어 회전 자계에 의한 자기공진 현상에 의한 상기 세정수 입자를 미립화시키도록 N극,S극이 교번되게 배열된 다수의 링형 자력발생부재와,상기 세정수 토출구 반대쪽 위치에서 상기 버블발생본체에 대해 직각 방향으로 돌출 형성되고 상기 버블발생본체 내경보다 작은 내경을 가지며 외면에 복수의 에어통과홀이 형성된 오리피스관과,상기 오리피스관 외측으로 에어통로가 형성되게 조립되고 상기 오리피스관 외부면의 접선 방향으로 형성되는 에어공급포트를 가진 버블생성관과, 상기 오리피스관의 출구에 접속되는 버블배출포트를 포함하는 자기공진형 버블발생기로 이루어지고,상기 세정수는 지지관의 세정수 출구를 통해 상기 자력발생부재를 통과하여 회전 자계에 의해 미립화 된 후 오리피스관을 지나는 세정수와 상기 나선형태로 회전 이동하면서 상기 에어통과홀을 통과한 에어와 충돌되어 마이크로 버블을 생성시키는 것을 특징으로 하는 마이크로버블을 이용한 수용성 유해가스 세정 스크러버 시스템
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삭제
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제 1 항에 있어서,상기 마이크로버블발생기 및 제2의 마이크로버블발생기는,상기 자기공진형 버블발생기 대신 다중 벤츄리형 버블발생기로 이루어지고,상기 다중 벤츄리형 버블발생기는 원통관 외주면의 접선 방향으로 형성되는 에어공급포트를 통해 외부의 공압장치로부터 에어가 공급되어 상기 원통관 내주면을 따라 나선형태로 회전되어 이동하며, 양측의 입구와 출구에는 내주면 내경이 관 내부를 향하여 점차 작아지는 한 쌍의 벤츄리캡이 밀폐되게 조립된 버블발생본체와,상기 버블발생본체 내부에 길이 방향으로 설치되고, 내부에는 상기 세정수가 통과되며, 외면에 다수의 에어통과홀이 방사형으로 형성되어 있고, 입구와 출구에 상호 조립되어 복수의 확장관부를 형성하는 복수의 오리피스관을 포함하며,상기 나선형 기류를 형성하는 에어가 상기 에어통과홀을 통과하여 상기 오리피스관을 지나는 세정수와 충돌되어 마이크로 버블을 생성시키는 것을 특징으로 하는 마이크로버블을 이용한 수용성 유해가스 세정 스크러버 시스템
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제 1 항에 있어서,상기 마이크로버블발생기 및 제2의 마이크로버블발생기는,상기 자기공진형 버블발생기 대신 다중관 스월형 버블발생기로 이루어지고,상기 다중관 스월형 버블발생기는원통관 외주면의 접선 방향으로 형성되는 세정수 공급포트를 통해 세정수가 공급되어 상기 원통관 내주면을 따라 나선 형태로 회전되어 이동하며, 일측의 밀폐캡에 에어공급포트가 구비되어 있고, 타측에는 정중앙에 관통조립홀이 형성된 마감캡이 기밀구조로 조립되어 있는 버블발생본체와,상기 버블발생본체 내측으로 조립되어 관 외면으로 세정수 제1통로를 형성하며, 일단부가 상기 에어공급포트의 내측면에 조립되어 폐쇄되고, 타단부는 상기 마감캡 쪽으로 개방된 제1중공관과,상기 제1중공관 내측으로 조립되어 관 외면으로 세정수 제2통로를 형성하며, 일단부가 상기 마감캡 외부로 돌출되게 상기 관통조립홀에 기밀 구조로 끼워지고 단부에 상기 에어공급포트 노즐부보다 작은 내경의 버블토출구가 형성되어 있고, 타단부는 상기 노즐부 일부가 내측으로 인입되게 조립되는 제2중공관으로 이루어지고,상기 세정수 공급포트를 통해 공급되는 세정수는 나선 형태로 상기 제1통로 및 제2통로를 지그재그 형태로 이동하다가 상기 제2중공관 내부를 통과하면서 상기 노즐부에서 분사되는 에어와 충돌되어 마이크로 버블을 생성시키는 것을 특징으로 하는 마이크로버블을 이용한 수용성 유해가스 세정 스크러버 시스템
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삭제
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제 3 항에 있어서,상기 자기공진형 버블발생기의 버블배출포트에는 상기 다중 벤츄리형 버블발생기가 연결되어 1차 버블화된 세정미스트의 미립자를 균일화시키는 것을 특징으로 하는 마이크로버블을 이용한 수용성 유해가스 세정 스크러버 시스템
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제 4 항에 있어서,상기 자기공진형 버블발생기의 버블배출포트에 상기 다중관 스월형 버블발생기가 연결되어 1차 버블화된 세정미스트의 미립자를 균일화시키는 것을 특징으로 하는 마이크로버블을 이용한 수용성 유해가스 세정 스크러버 시스템
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 중소기업청 공주대학교 산학협력단 도약기술개발사업 마이크로나노버블 Wet Scrubber개발