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제1압전부, 제2압전부 및 제3압전부를 순차적으로 포함하는 압전 액츄에이터로서, 상기 제2압전부의 표면에서만 표면파 회전운동이 발생하고,상기 제2압전부의 일측면에는 상기 제1압전부가 위치하고, 상기 제2압전부의 상기 제1압전부와 대향하는 타측면에는 상기 제3압전부가 위치하며, 상기 표면파 회전운동은 상기 제1압전부, 제2압전부 및 제3압전부에의 전기신호 인가에 따라 발생하는 것인 압전 액츄에이터
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제 1항에 있어서,상기 표면파 회전운동이 발생하는 상기 제2압전부의 회전표면에 상기 회전운동을 확대시키는 회전운동변위확대부를 더 포함하는 압전 액츄에이터
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3 |
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제 2항에 있어서,상기 회전운동변위확대부는 상기 제2압전부의 중심에 대응하는 위치에서의 높이가 가장 높은 것을 특징으로 하는 압전 액츄에이터
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4 |
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제 2항에 있어서,상기 회전운동변위확대부를 통하여 회전운동력이 전달되는 물체는 원형회전체인 것을 특징으로 하는 압전 액츄에이터
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5
제 2항에 있어서,상기 회전운동변위확대부는 금속 또는 플라스틱 물질을 포함하는 것을 특징으로 하는 압전 액츄에이터
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제1항에 있어서, 상기 제1압전부, 제2압전부 및 제3압전부는 세라믹 및 전극을 적층하여 형성된 것을 특징으로 하는 압전 액츄에이터
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7 |
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제1항에 있어서, 상기 제1압전부, 제2압전부 및 제3압전부는 표면파 회전운동이 발생하는 표면 이외의 면에 전극이 형성된 것을 특징으로 하는 압전 액츄에이터
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8 |
8
제 1항에 있어서,상기 제1압전부 및 상기 제3압전부의 분극방향은 상기 제2압전부의 분극방향과 상이한 것을 특징으로 하는 압전 액츄에이터
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9
제 1항에 있어서,상기 제1압전부 및 상기 제3압전부의 양단을 고정하는 고정부;를 더 포함하는 압전 액츄에이터
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10
제1압전부, 제2압전부 및 제3압전부를 순차적으로 포함하되, 상기 제2압전부의 표면에서만 표면파 회전운동이 발생하고, 상기 제2압전부의 일측면에는 상기 제1압전부가 위치하고, 상기 제2압전부의 상기 제1압전부와 대향하는 타측면에는 상기 제3압전부가 위치하며, 상기 표면파 회전운동은 상기 제1압전부, 제2압전부 및 제3압전부에의 전기신호 인가에 따라 발생하는 것인 압전 액츄에이터를 포함하는 전자기기
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