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가공대상인 시료가 적재되는 진공척과, 상기 시료에 레이저 가공을 수행하는 레이저 가공부로 구성되는 레이저 가공기에 있어서,상기 시료를 상기 진공척 상부에 소정 거리를 두고 진공 흡착하게 하는 진공펌프와,상기 진공척의 표면 또는 내부에 형성된 열선과,상기 진공척의 하부에 형성되어 상기 열선의 온도를 제어하는 온도 조절부를 포함하는 것을 특징으로 하는 시료 고정 장치
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가공대상인 시료가 적재되는 진공척과, 상기 시료에 레이저 가공을 수행하는 레이저 가공부로 구성되는 레이저 가공기에 있어서,상기 시료를 상기 진공척 상부에 소정 거리를 두고 진공 흡착하게 하는 진공펌프와,상기 진공척의 표면에 형성되는 열전도부와,상기 진공척의 하부에 형성되어 상기 열전도부의 온도를 제어하는 온도 조절부를 포함하는 것을 특징으로 하는 시료 고정 장치
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제1항 또는 제2항에 있어서,상기 레이저 가공부 내에 제2 가스분사공 또는 제2 가스분사 노즐을 형성하고, 상기 제2 가스분사공 또는 제2 가스분사 노즐을 통해 상기 시료의 상부면에 보조가스를 분사하는 것을 특징으로 하는 시료 고정 장치
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제1항 또는 제2항에 있어서,상기 시료는 CFRP 소재인 것을 특징으로 하는 시료 고정 장치
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제1항 또는 제2항에 있어서,상기 레이저 가공부는 펨토초 레이저를 이용하는 것을 특징으로 하는 시료 고정 장치
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