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중이온 가속관의 나이오븀 식각방법(Niobium etching methods of heavy ion cavity)

  • 기술번호 : KST2016005548
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 유순한 혼합산 조성물을 이용한 중이온 가속관의 나이오븀 식각방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 중이온 가속기에 적용되는 초전도체 물질의 고순도 나이오븀(Nb) 중이온 가속관에 있어서 금속을 가공이나 가압성형하는 공정 중에 발생된 물리적 결함을 회복시키기 위한 식각액으로 인체 및 환경에 유순하고, 비점이 높은 혼합산(Mixed acids)을 이용하여 화학적 식각방법 내지는 전해연마(Electropolishing) 방법에 의해 나이오븀(Nb)의 물리적 결함을 회복시킴으로써, 기존에 비해 환경친화적이고 바람직한 방법으로 가공이 가능하도록 하는 유순한 혼합산 조성물을 이용한 중이온 가속관의 나이오븀(Nb) 식각방법에 관한 것이다.
Int. CL C23F 1/30 (2006.01) C22C 27/02 (2006.01) C25F 3/16 (2006.01) C09K 13/04 (2006.01)
CPC C23F 1/40(2013.01) C23F 1/40(2013.01) C23F 1/40(2013.01) C23F 1/40(2013.01) C23F 1/40(2013.01)
출원번호/일자 1020140089299 (2014.07.15)
출원인 한국화학연구원, 기초과학연구원
등록번호/일자 10-1600428-0000 (2016.02.29)
공개번호/일자 10-2016-0008899 (2016.01.25) 문서열기
공고번호/일자 (20160307) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2014.07.15)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국화학연구원 대한민국 대전광역시 유성구
2 기초과학연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이혁희 대한민국 대전광역시 서구
2 장태선 대한민국 대전광역시 유성구
3 김형진 대한민국 대전광역시 유성구
4 정유철 대한민국 경기도 하남시
5 전동오 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 한라특허법인(유한) 대한민국 서울시 서초구 강남대로 ***(서초동, 남강빌딩 *층)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국화학연구원 대전광역시 유성구
2 기초과학연구원 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2014.07.15 수리 (Accepted) 1-1-2014-0665181-95
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2015.08.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0542056-71
3 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2015.10.12 수리 (Accepted) 1-1-2015-0983714-35
4 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2015.10.12 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2015-0983727-28
5 대리인선임신고서
Report on Appointment of Agent
2015.12.23 수리 (Accepted) 1-1-2015-5033520-42
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2016.01.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0072664-19
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2016.02.01 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2016-0105601-60
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2016.02.01 수리 (Accepted) 1-1-2016-0105610-71
9 등록결정서
Decision to grant
2016.02.14 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0111622-51
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.09.14 수리 (Accepted) 4-1-2017-5149265-52
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.09.14 수리 (Accepted) 4-1-2017-5149242-13
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.01.24 수리 (Accepted) 4-1-2018-5013866-16
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
중이온 가속기의 가속관(Cavity)을 구성하기 위하여 나이오븀(Nb) 금속을 가압성형 공법으로 가공할 때 나이오븀(Nb)의 금속 표면에 발생된 물리적 결함을 산(Acid) 용해방법에 의해 제거하는 중이온 가속관의 나이오븀 식각방법에 있어서, 나이오븀 금속표면을 산화시키기 위한 크롬산무수물(CrO3), 중크롬산칼륨(K2Cr2O7), 및 질산칼륨(KNO3) 중 선택되는 1종 이상인 산화제 물질과, 산화나이오븀을 용해하기 위한 불화나트륨(NaF), 불화칼륨(KF), 불화수소암모늄(NH4HF2), 및 불화암모늄(NH4F) 중에서 선택되는 1종 이상인 불소계의 물질, 그리고 식각의 활성도를 높이기 위한 인산, 황산, 및 설폼산(Sulfamic acid) 중에서 선택되는 1종 이상인 산(Acid)이 혼합되어 있는 혼합산(Mixed acid) 조성물을 준비하는 단계와, 상기 혼합산의 조성물을 이용하여 20 ~ 80℃ 온도 조건에서 화학적 식각방법 또는 전해연마의 식각방법에 의해 나이오븀의 가압 성형공정에 의해 생성된 물리적 결함을 제거하기 위한 식각(Etching) 공정 단계를 포함하는 중이온 가속관의 나이오븀 식각방법
2 2
청구항 1에 있어서, 상기 혼합산 조성물은 산화제 물질을 100 중량부와 불소계의 물질이 35 중량부 내지는 190 중량부 및 산(Acid)이 25 중량부 내지는 170 중량부로 혼합 구성된 것을 특징으로 하는 중이온 가속관의 나이오븀 식각방법
3 3
청구항 2에 있어서, 상기 혼합산 조성물에는 추가적으로 물을 50 내지는 450 중량부로 함유하는 것을 특징으로 하는 중이온 가속관의 나이오븀 식각방법
4 4
삭제
5 5
삭제
6 6
삭제
7 7
청구항 1 내지 청구항 3 중에서 어느 하나의 항에 있어서, 식각두께(Etching depth)는 나이오븀의 표면으로부터 25 내지는 350㎛의 두께로 식각하는 것을 특징으로 하는 중이온 가속관의 나이오븀 식각방법
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청구항 7에 있어서, 식각의 속도가 0
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삭제
10 10
청구항 7에 있어서, 식각은 10분 내지 150분 동안 혼합산 조성물에 침적하여 수행하는 것을 특징으로 하는 중이온 가속관의 나이오븀 식각방법
11 11
삭제
12 12
삭제
13 13
삭제
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 기초과학연구원 기초과학연구사업 나이오븀(Nb)의 화학연마에 대한 특성 연구