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친환경 공정을 위한 플라즈마 반응기(PLASMA REACTOR FOR ECO-FRIENDLY PROCESSING)

  • 기술번호 : KST2016005668
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 공정 챔버에서 발생하는 각종 유해 물질을 진공 펌프의 전단에서 분해 및 제거하기 위한 플라즈마 반응기를 제공한다. 플라즈마 반응기는 내부 공간을 가지는 절연체와, 절연체의 적어도 한 단부에 연결되는 접지 전극과, 절연체의 외면에 고정되고 전원부와 연결되어 교류(AC) 또는 고주파(RF) 전압을 인가받는 구동 전극과, 산소를 포함하는 제1 반응가스 주입을 위한 제1 주입부와, 수소 또는 탄화수소를 포함하는 제2 반응가스 주입을 위한 제2 주입부를 포함한다. 제1 주입부와 제2 주입부는 서로 이격되며, 제1 반응가스와 제2 반응가스 중 어느 하나는 다른 하나보다 플라즈마에 의해 먼저 해리된다.
Int. CL H05H 1/34 (2006.01) H05H 1/24 (2006.01)
CPC H05H 1/24(2013.01) H05H 1/24(2013.01) H05H 1/24(2013.01)
출원번호/일자 1020140083093 (2014.07.03)
출원인 한국기계연구원
등록번호/일자 10-1607637-0000 (2016.03.24)
공개번호/일자 10-2016-0004595 (2016.01.13) 문서열기
공고번호/일자 (20160330) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2014.07.03)
심사청구항수 15

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 허민 대한민국 대전광역시 유성구
2 강우석 대한민국 대전광역시 유성구
3 이재옥 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 팬코리아특허법인 대한민국 서울특별시 강남구 논현로**길 **, 역삼***빌딩 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2014.07.03 수리 (Accepted) 1-1-2014-0628635-10
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2014.11.06 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2014.12.11 수리 (Accepted) 9-1-2014-0097363-38
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2015.06.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0426204-44
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2015.08.25 수리 (Accepted) 1-1-2015-0824847-69
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2015.08.25 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2015-0824848-15
7 등록결정서
Decision to grant		 2016.01.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0048383-76
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
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번호 청구항
1 1
공정 챔버로부터 진공 펌프를 향하는 공정 가스의 배출 경로 상에 설치되어 공정 가스에 포함된 유해 물질을 제거하는 플라즈마 반응기에 있어서,내부로 상기 공정 가스가 통과하는 관 모양의 절연체;상기 공정 챔버를 향한 상기 절연체의 전단에 연결되며, 산소를 포함하는 제1 반응가스 주입을 위한 제1 주입부와 수소 또는 탄화수소를 포함하는 제2 반응가스 주입을 위한 제2 주입부를 상기 공정 가스의 이송 방향을 따라 이격 배치하는 제1 접지 전극;상기 진공 펌프를 향한 상기 절연체의 후단에 연결되는 제2 접지 전극; 및상기 절연체의 외면에 고정되고, 전원부와 연결되어 교류(AC) 또는 고주파(RF) 전압을 인가받는 구동 전극을 포함하며,상기 제1 반응가스와 상기 제2 반응가스는 플라즈마 내부에 머무는 시간 차이에 의해 어느 하나가 다른 하나보다 플라즈마에 의해 먼저 해리되는 플라즈마 반응기
2 2
제1항에 있어서,상기 제1 접지 전극과 상기 제2 접지 전극은 상기 절연체를 향한 단부에 가변 직경부를 형성하며,상기 가변 직경부는 상기 절연체와 가까워질수록 커지는 직경을 가지는 플라즈마 반응기
3 3
제2항에 있어서,상기 제2 접지 전극은 상기 공정 가스의 이송 방향을 따라 상기 절연체의 내부 중심과 마주하는 대향부를 포함하며,상기 제2 접지 전극의 내벽과 상기 대향부 사이에 공간이 제공되어 상기 공정 가스를 배출하는 플라즈마 반응기
4 4
제3항에 있어서,상기 제2 접지 전극은 상기 대향부 주위로 확장부를 형성하고,상기 대향부는 상기 확장부를 제외한 상기 제2 접지 전극의 직경보다 큰 직경을 가지는 플라즈마 반응기
5 5
제4항에 있어서,상기 확장부는 파티클 포집함으로 기능하고,상기 파티클 포집함 내부에서 상기 대향부의 하면과 상기 제2 접지 전극 사이에 지지부가 위치하며,상기 지지부는 공정 가스를 배출시키기 위한 적어도 하나의 개구부를 형성하는 플라즈마 반응기
6 6
공정 챔버로부터 진공 펌프를 향하는 공정 가스의 배출 경로 상에 연결 설치되어 공정 가스에 포함된 유해 물질을 제거하는 플라즈마 반응기에 있어서,상기 진공 펌프의 전단에 위치하며 상기 진공 펌프를 향한 제1 단부와 그 반대측의 제2 단부를 포함하는 관 모양의 제1 접지 전극;상기 제1 접지 전극의 측면에 접속되며 상기 공정 가스를 이송하는 관 모양의 제2 접지 전극;상기 제2 단부에 연결 설치되는 절연체; 및상기 절연체의 외면에 고정되고, 전원부와 연결되어 교류(AC) 또는 고주파(RF) 전압을 인가받는 구동 전극을 포함하며,상기 제2 접지 전극은 제1 반응가스 주입을 위한 제1 주입부를 구비하고, 상기 절연체는 제2 반응가스 주입을 위한 제2 주입부를 구비하며, 상기 제1 반응가스와 상기 제2 반응가스는 플라즈마 내부에 머무는 시간에 차이를 가지는 플라즈마 반응기
7 7
제6항에 있어서,상기 절연체는 상기 제2 단부에 고정되고 상기 제1 접지 전극과 나란한 관 모양의 제1 절연부와, 상기 제2 주입부를 구비하면서 상기 제1 절연부의 단부를 덮는 판 모양의 제2 절연부를 포함하는 플라즈마 반응기
8 8
제7항에 있어서,상기 제2 단부와 상기 제1 절연부의 직경은 상기 제1 단부의 직경보다 크고,상기 제1 접지 전극은 상기 제1 단부와 접하는 균일 직경부와, 상기 제2 단부와 접하는 가변 직경부를 포함하는 플라즈마 반응기
9 9
제8항에 있어서,상기 가변 직경부의 길이는 상기 균일 직경부의 길이보다 작고,상기 제2 접지 전극은 상기 가변 직경부와 접하는 상기 균일 직경부의 끝부분에 접속되는 플라즈마 반응기
10 10
제7항에 있어서,상기 제1 접지 전극은 상기 제1 단부와 상기 제2 접지 전극 사이에서 상기 공정 가스의 이송 방향을 따라 상기 절연체의 내부 중심과 마주하는 대향부를 포함하는 플라즈마 반응기
11 11
제10항에 있어서,상기 대향부는 상기 제1 접지 전극의 내경보다 작은 직경을 가지는 원판 모양이거나, 상기 제1 접지 전극의 내벽에 고정된 관 모양이면서 상기 절연체로부터 멀어질수록 폭이 좁아지는 개구부를 형성하는 플라즈마 반응기
12 12
제10항에 있어서,상기 대향부를 둘러싸는 상기 제1 접지 전극의 일부가 확장되어 파티클 포집함으로 기능하고,상기 파티클 포집함 내부에서 상기 대향부의 하면과 상기 제1 접지 전극 사이에 지지부가 위치하며,상기 지지부는 공정 가스를 배출시키기 위한 적어도 하나의 개구부를 형성하는 플라즈마 반응기
13 13
제7항에 있어서,상기 제2 접지 전극과 마주하는 상기 제1 접지 전극의 일 측면에 끝이 막힌 관 부재가 부착되어 공정 가스의 잔류 시간을 늘리는 플라즈마 반응기
14 14
제6항 내지 제13항 중 어느 한 항에 있어서,상기 제1 반응가스와 상기 제2 반응가스 중 어느 하나는 산소를 포함하고, 다른 하나는 수소 또는 탄화수소를 포함하는 플라즈마 반응기
15 15
공정 챔버로부터 진공 펌프를 향하는 공정 가스의 배출 경로 상에 설치되어 공정 가스에 포함된 유해 물질을 제거하는 플라즈마 반응기에 있어서,내부 공간을 가지는 절연체;상기 절연체의 적어도 한 단부에 연결되는 접지 전극;상기 절연체의 외면에 고정되고, 전원부와 연결되어 교류(AC) 또는 고주파(RF) 전압을 인가받는 구동 전극;산소를 포함하는 제1 반응가스 주입을 위한 제1 주입부; 및상기 제1 주입부와 이격되고, 수소 또는 탄화수소를 포함하는 제2 반응가스 주입을 위한 제2 주입부를 포함하며,상기 제1 반응가스와 상기 제2 반응가스 중 어느 하나는 다른 하나보다 플라즈마에 의해 먼저 해리되는 플라즈마 반응기
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1 CN105013419 CN 중국 FAMILY
2 CN105047515 CN 중국 FAMILY
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4 JP27213171 JP 일본 FAMILY
5 KR101589624 KR 대한민국 FAMILY
6 KR101642129 KR 대한민국 FAMILY
7 US09211500 US 미국 FAMILY
8 US09472381 US 미국 FAMILY
9 US20150306540 US 미국 FAMILY
10 US20150314233 US 미국 FAMILY

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1 CN105013419 CN 중국 DOCDBFAMILY
2 CN105013419 CN 중국 DOCDBFAMILY
3 CN105047515 CN 중국 DOCDBFAMILY
4 CN105047515 CN 중국 DOCDBFAMILY
5 JP2015213171 JP 일본 DOCDBFAMILY
6 JP6018665 JP 일본 DOCDBFAMILY
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 기계연구원 주요사업-일반 [SC1020-Sub] 플라즈마 기반 점착제어 및 보호막 형성기술 개발 (2/5)