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CNT-PZT 나노 복합체 박막의 제조방법 및 그로부터 제조되는 CNT-PZT 나노 복합체 박막(MANUFACTURING METHOD OF CNT-PZT NANOCOMPOSITE THIN FIM AND NANOCOMPOSITE THIN FIM THEREBY)

  • 기술번호 : KST2016005689
  • 담당센터 : 광주기술혁신센터
  • 전화번호 : 062-360-4654
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명에서는 탄소나노튜브(CNT)를 전처리하는 단계; 상기 전처리된 CNT를 납, 지르코늄 및 티타늄을 포함하는 Pb-Zr-Ti(PZT) 전구체 졸-겔 용액에 분산시켜 CNT-PZT 졸-겔 용액을 수득한 다음, 기판 상에 스핀코팅하는 단계; 상기 기판상에 코팅된 PZT 전구체 졸-겔 용액을 건조하고 열분해하는 단계; 및 상기 열분해에 의하여 합성된 PZT를 불활성 가스 하에서 열처리하는 단계;를 포함하는 CNT-PZT 나노복합체 박막의 제조방법 및 그로부터 제조되는 CNT-PZT 나노복합체 박막을 제공한다. 본 발명의 제조방법에 따르면, 졸-겔 법으로 CNT-PZT 복합체 박막을 제조함에 있어 종래의 방법에 비하여 열처리 온도를 100℃ 이상 낮출 수 있다.
Int. CL H01B 1/06 (2006.01) B82B 3/00 (2006.01) H01B 5/14 (2006.01)
CPC C01B 32/16(2013.01) C01B 32/16(2013.01) C01B 32/16(2013.01) C01B 32/16(2013.01)
출원번호/일자 1020140085802 (2014.07.09)
출원인 전북대학교산학협력단
등록번호/일자 10-1590314-0000 (2016.01.26)
공개번호/일자 10-2016-0006374 (2016.01.19) 문서열기
공고번호/일자 (20160201) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2014.07.09)
심사청구항수 9

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 전북대학교산학협력단 대한민국 전라북도 전주시 덕진구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 부상돈 대한민국 서울특별시 양천구
2 한진규 대한민국 전라북도 전주시 덕진구
3 곽진호 대한민국 전라북도 완주군
4 김종옥 대한민국 전라북도 부안군

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인세원 대한민국 서울특별시 서초구 사임당로 **, **층 (서초동, 신영빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 전북대학교 산학협력단 전라북도 전주시 덕진구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2014.07.09 수리 (Accepted) 1-1-2014-0643802-35
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2014.07.15 수리 (Accepted) 1-1-2014-0664467-79
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2015.03.11 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2015.05.11 수리 (Accepted) 9-1-2015-0030348-95
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2015.07.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0477071-42
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2015.09.16 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2015-0899477-15
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2015.09.16 수리 (Accepted) 1-1-2015-0899476-69
8 등록결정서
Decision to grant
2015.11.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0805223-46
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2016.01.29 수리 (Accepted) 4-1-2016-5013206-34
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.02.27 수리 (Accepted) 4-1-2019-5038917-11
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.07.23 수리 (Accepted) 4-1-2019-5146985-61
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.07.23 수리 (Accepted) 4-1-2019-5146986-17
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.10.22 수리 (Accepted) 4-1-2019-5219602-91
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.07.06 수리 (Accepted) 4-1-2020-5149086-79
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번호 청구항
1 1
탄소나노튜브(CNT)를 전처리하는 단계;상기 전처리된 CNT를 납, 지르코늄 및 티타늄을 포함하는 Pb-Zr-Ti(PZT) 전구체 졸-겔 용액에 분산시켜 CNT-PZT 졸-겔 용액을 수득한 다음, 기판 상에 코팅하는 단계;상기 기판상에 코팅된 PZT 전구체 졸-겔 용액을 건조하고 열분해하는 단계; 및 상기 열분해에 의하여 합성된 PZT를 불활성 가스 하에서 열처리하는 단계;를 포함하고,다음의 식 (1)로 부터 계산되는 박막 상에서 파묻힌 MWCNT의 골에 대한 상대적인 %-비율이 30% 이상인 CNT-PZT 나노복합체 박막의 제조방법:MWCNT 비율 = [(MWCNT 수)/(MWCNT 수+골 수)] x 100 -----(1)
2 2
제1항에 있어서, 상기 탄소나노튜브는 다중벽 탄소나노튜브인 것을 특징으로 하는 CNT-PZT 나노복합체 박막의 제조방법
3 3
제1항에 있어서, 상기 전처리는 열처리, 산처리 또는 열처리 및 산처리인 것을 특징으로 하는 CNT-PZT 나노복합체 박막의 제조방법
4 4
제1항에 있어서, 상기 불활성 가스는 N2, 또는 H2/N2 혼합가스인 것을 특징으로 하는 CNT-PZT 나노복합체 박막의 제조방법
5 5
제1항에 있어서, 상기 불활성 가스는 H2/N2 혼합가스인 것을 특징으로 하는 CNT-PZT 나노복합체 박막의 제조방법
6 6
제1항에 있어서, 상기 열처리는 550℃ 이하인 것을 특징으로 하는 CNT-PZT 나노복합체 박막의 제조방법
7 7
제1항에 있어서, 상기 열처리 시간이 10 내지 60분인 것을 특징으로 하는 CNT-PZT 나노복합체 박막의 제조방법
8 8
제1항의 방법으로 제조되고, 다음의 식 (1)로 부터 계산되는 박막 상에서 파묻힌 MWCNT의 골에 대한 상대적인 %-비율이 30% 이상인 CNT-PZT 나노복합체 박막:MWCNT 비율 = [(MWCNT 수)/(MWCNT 수+골 수)] x 100 -----(1)
9 9
제8항에 있어서, 상기 박막의 두께는 500nm 이하인 것을 특징으로 하는 CNT-PZT 나노복합체 박막:
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
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4 전북대학교 전북대학교 연구기반 조성비 지원사업 CNT-PZT 나노복합구조물 제작 및 특성 연구