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압전물질 기판;상기 기판 상에 패터닝된 전극, 제1 반사판 및 제2 반사판;상기 패터닝된 기판 상에 코팅된 유기 박막을 포함하는 SAW 소자로서,상기 SAW 소자는 제2 반사판의 반사 신호(R2) 및 제2 반사판과 제1 반사판, 다시 제2 반사판을 거친 반사 신호(R212)만이 나타나고, 제1 반사판의 반사 신호(R1)는 나타나지 않는 것을 특징으로 하는 침투형 반사 신호 특성을 갖는 SAW 소자
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제1항에 있어서,상기 압전물질 기판의 압전물질은 64˚ Y-X 방향으로 잘라진 LiNbO3 인 것을 특징으로 하는 침투형 반사 신호 특성을 갖는 SAW 소자
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제1항에 있어서,상기 전극, 제1 반사판 및 제2 반사판은 알루미늄으로 패터닝되고, 상기 전극, 제1 반사판 및 제2 반사판 패턴의 높이는 230 내지 240nm이고, 두께 및 폭은 3
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제1항에 있어서,상기 유기 박막은 PMMA 박막인 것을 특징으로 하는 침투형 반사 신호 특성을 갖는 SAW 소자
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제4항에 있어서,상기 PMMA 박막의 두께는 1
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제1항 내지 제5항의 어느 한 항의 침투형 반사 신호 특성을 갖는 SAW 소자를 이용한 바이오센서
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