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알루미나계 화학적 기계적 연마 슬러리의 재생방법(Regeneration method of chemical mechanical polishing alumina slurry)

  • 기술번호 : KST2016005809
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 알칼리 용액을 제조하는 단계; 연마제 분말에 상기 알칼리 용액을 첨가하고 교반하여 슬러리를 제조하는 단계; 및 상기 슬러리를 여과하여 세척하고 분말을 수득하는 단계를 포함하는 알루미나계 화학적 기계적 연마(chemical mechanical polishing) 슬러리의 실리카 제거 방법을 제공한다.따라서 화학적 기계적 연마(chemical mechanical polishing) 공정에서 사용하는 폐슬러리에서 실리카를 제거하고 알루미나를 회수할 수 있다. 알루미나가 다량 함유된 연마제 분말을 회수하는 경우 웨이퍼 연마 비용을 상당히 감소시킬 수 있다.
Int. CL H01L 21/304 (2006.01) B24B 57/02 (2006.01)
CPC B24B 57/02(2013.01)B24B 57/02(2013.01)
출원번호/일자 1020140094790 (2014.07.25)
출원인 영남대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1683971-0000 (2016.12.01)
공개번호/일자 10-2016-0013429 (2016.02.04) 문서열기
공고번호/일자 (20161221) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2015.06.30)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 영남대학교 산학협력단 대한민국 경상북도 경산시

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이태진 대한민국 대구광역시 수성구
2 강미숙 대한민국 대구광역시 수성구
3 박노국 대한민국 대구광역시 수성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인태백 대한민국 서울 금천구 가산디지털*로 *** 이노플렉스 *차 ***호

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 영남대학교 산학협력단 대한민국 경상북도 경산시
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2014.07.25 수리 (Accepted) 1-1-2014-0703933-04
2 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2015.06.30 수리 (Accepted) 1-1-2015-0636497-72
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2015.11.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2016.01.08 수리 (Accepted) 9-1-2016-0002930-92
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2016.05.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0398503-23
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2016.07.20 수리 (Accepted) 1-1-2016-0704255-04
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2016.07.20 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2016-0704249-29
8 등록결정서
Decision to grant
2016.11.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0862805-13
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.11.03 수리 (Accepted) 4-1-2017-5175631-14
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.10.23 수리 (Accepted) 4-1-2019-5220555-67
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
5 M인 수산화칼륨(KOH) 용액을 제조하는 단계;연마제 분말에 상기 수산화칼륨 용액을 첨가하고 교반하여 슬러리를 제조하는 단계; 및 상기 슬러리를 여과하여 세척하고 분말을 수득하는 단계를 포함하며,상기 연마제 분말은 산소 분위기 하에서 900 내지 950℃ 및 20 내지 24 시간 동안 열처리한 이후에 알칼리 용액과 교반하는 것을 특징으로 하는 알루미나계 화학적 기계적 연마(chemical mechanical polishing) 슬러리의 재생방법
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3 3
삭제
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청구항 1에 있어서, 상기 교반하는 단계는 고압반응기에서 수산화칼륨 용액을 150 내지 200 ㎖ 및 연마제 분말을 15 내지 20 g혼합하고, 120 내지 140℃에서 3 내지 4 시간 동안 3 Bar 압력으로 교반하는 것을 특징으로 하는 알루미나계 화학적 기계적 연마 슬러리의 재생방법
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삭제
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교육과학기술부 영남대학교 지역혁신인력양성사업 사파이어 단결정 성장용 고순도 알루미나 분말 개발 및 전문 인력 양성