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탄소 소스로부터 생성된 탄소 원자들을 증착하여 그래핀을 성막하는 도중 일부 탄소 원자들을 피리딘을 포함하는 치환 소스로부터 생성된 질소 원자로 치환하여 상기 그래핀에 제1 사이즈를 갖는 제1 홀들이 형성된 제1 그래핀 필터를 형성하는 단계;탄소 소스로부터 생성된 탄소 원자들을 증착하여 그래핀을 성막하는 도중 일부 탄소 원자를 피리딘을 포함하는 치환 소스로부터 생성된 질소 원자로 치환하여 상기 그래핀에 상기 제1 사이즈보다 큰 제2 사이즈를 갖는 제2 홀들이 형성된 제2 그래핀 필터를 형성하는 단계; 및상기 제1 및 제2 그래핀 필터들을 유입구 및 배출구가 형성된 필터 몸체 내부에 배치하는 단계를 포함하는 다공성 그래핀 필터의 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 제1 그래핀 필터를 형성하는 단계에서 상기 치환 소스의 제공량은 상기 제2 그래핀 필터를 형성하는 단계에서 상기 치환 소스의 제공량보다 적은 다공성 그래핀 필터의 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 탄소 소스는 메탄(CH4), 메탄올(CH3OH), 일산화탄소(CO), 에탄(C2H6), 에틸렌(C2H4), 에탄올(C2H5OH), 아세틸렌(C2H2), 아세톤(CH3COCH3), 프로판(CH3CH2CH3), 프로필렌(C3H6), 부탄(C4H10), 펜탄(CH3(CH2)3CH3), 펜텐(C5H10), 사이클로펜타디엔(C5H6), 헥산(C6H14), 시클로헥산(C6H12), 벤젠(C6H6), 톨루엔(C7H8) 및 자일렌(C6H4(CH3)2)으로 이루어진 군으로부터 선택된 어느 하나를 포함하는 다공성 그래핀 필터의 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 제1 및 제2 그래핀 필터들을 각각 형성할 때, 상기 탄소 소스 및 상기 치환 소스는 각각 동시에 기화되어 상기 제1 및 제2 그래핀 필터들이 형성되는 증착로로 제공되는 다공성 그래핀 필터의 제조 방법
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그래핀을 이루는 탄소 원자들 중 공유 결합 부분에 결정 결함이 형성된 탄소 원자를 피리딘을 포함하는 치환 소스로부터 생성된 질소 원자로 치환하여 제1 사이즈를 갖는 제1 홀들이 형성된 제1 그래핀 필터;그래핀을 이루는 탄소 원자들 중 공유 결합 부분에 결정 결함이 형성된 탄소 원자를 피리딘을 포함하는 치환 소스로부터 생성된 질소 원자로 치환하여 상기 제1 사이즈보다 큰 제2 사이즈를 갖는 제2 홀들이 형성된 제2 그래핀 필터; 및복수개의 물질들이 혼합된 혼합 물질들이 유입되며, 상기 혼합 물질들의 이동 경로 상에 상기 제1 및 제2 그래핀 필터를 고정하는 필터 몸체를 포함하는 다공성 그래핀 필터
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제7항에 있어서,상기 제1 및 제2 그래핀 필터들은 필름 형태 또는 원통 형상으로 형성된 다공성 그래핀 필터
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서로 다른 사이즈를 갖는 물질들이 혼합된 일정량의 혼합물질을 단속적으로 제공하는 혼합물질 공급 장치;상기 혼합물질이 제공되는 유입구를 갖고 측면에 적어도 두 개의 배출구들이 형성된 필터 몸체, 상기 필터 몸체의 내측에 배치되며 상기 배출구들 사이를 가로막아 상기 혼합물질에 포함된 물질을 분리하는 홀이 형성된 적어도 하나의 그래핀 박막을 포함하는 그래핀 필터; 및상기 배출구들에 각각 연결되어 상기 혼합물질로부터 분리된 각 물질들을 회수하는 회수 유닛을 포함하는 필터 장치로서, 상기 홀은 탄소 원자들을 증착하여 그래핀을 성막하는 도중 일부 탄소 원자들을 피리딘을 포함하는 치환 소스로부터 생성된 질소 원자로 치환함으로써 형성되며,상기 그래핀 필터는 상기 필터 몸체의 내측면에 배치되고 제1 사이즈를 갖는 제1 홀들이 형성된 제1 그래핀 필터; 및 상기 필터 몸체의 상기 내측면에 상기 제1 그래핀 필터와 마주하게 배치되며 상기 제1 사이즈보다 큰 제2 사이즈를 갖는 제2 홀들이 형성된 제2 그래핀 필터를 포함하는 필터 장치
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제9항에 있어서,상기 혼합물질 공급 장치는 상기 혼합물질을 제공하는 혼합물질 제공 유닛;상기 혼합물질을 일정량 수납하는 수납 용기;상기 수납 용기에 수납된 상기 혼합물질을 배출하는 배출 유닛을 포함하는 필터 장치
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제10항에 있어서,상기 배출 유닛은 상기 수납 용기로 공기 또는 불활성 가스를 제공하는 블로워를 포함하는 필터 장치
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제9항에 있어서,상기 혼합물질 공급 장치, 상기 그래핀 필터 및 상기 회수 유닛에 결합된 전자 밸브들; 및상기 전자 밸브들을 제어하는 밸브 콘트롤러를 더 포함하는 필터 장치
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