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와이어 방전 가공을 이용한 실리콘 웨이퍼 슬라이싱 장치(SILICON WAFER SLICING DEVICE USING WIRE ELECTRIC DISCHARGE MACHINING)

  • 기술번호 : KST2016005829
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 실리콘 잉곳을 절단하여 실리콘 웨이퍼를 제조하는 웨이퍼 슬라이싱 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 와이어 방전 가공을 이용하여 실리콘 잉곳을 절단하는 실리콘 웨이퍼 슬라이싱 장치에 관하여 개시한다. 본 발명은 전해액을 수용하는 수조; 상기 수조에 침지되는 커팅 구간을 가지며 와이어 구동수단에 의하여 이송되는 커팅와이어; 피절단물인 실리콘 잉곳이 고정되는 전극을 구비하며, 상기 실리콘 잉곳을 상기 커팅와이어의 커팅구간에서 승하강 시키는 잉곳 이송부; 상기 수조에 저장된 전해액을 순환시키며 정제하는 전해액순환수단; 및 상기 잉곳 이송부에 고정된 실리콘 잉곳과 상기 커팅와이어의 사이에 아크방전과 전해분해가 이루어지도록 상기 잉곳 이송부의 전극과 상기 커팅와이어에 전원을 공급하는 전원공급부;를 포함하는 와이어 방전 가공을 이용한 실리콘 웨이퍼 슬라이싱 장치를 제공한다.
Int. CL B23H 7/04 (2006.01) H01L 21/301 (2006.01) B23H 7/02 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1020140090083 (2014.07.16)
출원인 한국에너지기술연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2016-0009816 (2016.01.27) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2014.07.16)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국에너지기술연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 장보윤 대한민국 대전광역시 유성구
2 최선호 대한민국 대전광역시 유성구
3 송희은 대한민국 인천광역시 중구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인(유한) 대아 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로 ***, 한양빌딩*층(역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2014.07.16 수리 (Accepted) 1-1-2014-0670292-72
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.03.10 수리 (Accepted) 4-1-2015-0013224-83
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2015.04.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2015.06.10 수리 (Accepted) 9-1-2015-0037265-12
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2015.09.02 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0604562-05
6 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2015.11.02 수리 (Accepted) 1-1-2015-1061961-59
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2015.12.02 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2015-1181435-36
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2015.12.02 수리 (Accepted) 1-1-2015-1181383-50
9 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2016.04.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0302515-09
10 [법정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Extension of Legal Period] Request for Extension of Period (Reduction, Expiry Reconsideration)
2016.05.27 수리 (Accepted) 7-1-2016-0033749-81
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.01.19 수리 (Accepted) 4-1-2017-5010650-13
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.01.08 수리 (Accepted) 4-1-2019-5004978-55
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.21 수리 (Accepted) 4-1-2019-5166801-48
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.21 수리 (Accepted) 4-1-2019-5166803-39
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.09.01 수리 (Accepted) 4-1-2020-5197654-62
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
전해액을 수용하는 수조;상기 수조에 침지되는 커팅 구간을 가지며 와이어 구동수단에 의하여 이송되는 커팅와이어;피절단물인 실리콘 잉곳이 고정되는 전극을 구비하며, 상기 실리콘 잉곳을 상기 커팅와이어의 커팅구간에서 승하강 시키는 잉곳 이송부; 상기 수조에 저장된 전해액을 순환시키며 정제하는 전해액순환수단; 및상기 잉곳 이송부에 고정된 실리콘 잉곳과 상기 커팅와이어의 사이에 아크방전과 전해분해가 이루어지도록 상기 잉곳 이송부의 전극과 상기 커팅와이어에 전원을 공급하는 전원공급부;를 포함하는 와이어 방전 가공을 이용한 실리콘 웨이퍼 슬라이싱 장치
2 2
제 1 항에 있어서,상기 커팅와이어는 복수개가 구비되어 상기 커팅 구간에서 복수의 커팅와이어가 평행하게 배열되는 것을 특징으로 하는 와이어 방전 가공을 이용한 실리콘 웨이퍼 슬라이싱 장치
3 3
제 1 항에 있어서,상기 커팅와이어는 금, 은, 백금, 철, 구리, 니켈 중에서 선택되는 하나의 금속 재질이거나, 이들 중에서 선택되는 하나의 재질을 주성분으로 하는 합금 재질인 것을 특징으로 하는 와이어 방전 가공을 이용한 실리콘 웨이퍼 슬라이싱 장치
4 4
제 1 항에 있어서,상기 전원공급부는 직류 펄스 형태의 전압을 인가하는 것을 특징으로 하는 와이어 방전 가공을 이용한 실리콘 웨이퍼 슬라이싱 장치
5 5
제 4 항에 있어서,상기 전원공급부는상대적으로 높은 전압을 가지는 아크방전 펄스와, 상대적으로 낮은 전압을 가지는 전해가공 펄스를 교번적으로 인가하는 것을 특징으로 하는 와이어 방전 가공을 이용한 실리콘 웨이퍼 슬라이싱 장치
6 6
제 5 항에 있어서,상기 아크방전 펄스의 피크 전압은 100~1000V 이고,상기 전해가공 펄스의 피크 전압은 5~80V 인 것을 특징으로 하는 와이어 방전 가공을 이용한 실리콘 웨이퍼 슬라이싱 장치
7 7
제 5 항에 있어서,상기 아크방전 펄스의 유지시간은 0
8 8
제 2 항에 있어서,상기 전원공급부는상대적으로 높은 전압을 가지는 아크방전 펄스와, 상대적으로 낮은 전압을 가지는 전해가공 펄스를 교번적으로 인가하되,각 커팅와이어에 인가되는 아크방전 펄스의 피크 전압을 달리하는 것을 특징으로 하는 와이어 방전 가공을 이용한 실리콘 웨이퍼 슬라이싱 장치
지정국 정보가 없습니다
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 US10052703 US 미국 FAMILY
2 US20160016243 US 미국 FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 US10052703 US 미국 DOCDBFAMILY
2 US2016016243 US 미국 DOCDBFAMILY
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업통상자원부 한국에너지기술연구원 주요사업(구, 기본사업) 50마크론 초박형 실리콘 태양전지 사업화 미래원천기술 개발