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자장여과 아크 플라즈마를 이용한 DLC 코팅 장치(DLC coating apparatus using filtered cathode vacuum arc)

  • 기술번호 : KST2016005839
  • 담당센터 : 광주기술혁신센터
  • 전화번호 : 062-360-4654
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 자장여과 아크 플라즈마를 이용한 DLC 코팅 장치에 관한 것으로서, 메인 챔버 내에 장착된 흑연소재의 타겟체에 스파크를 발생시켜 플라즈마화된 이온을 생성하는 아크 플라즈마 발생부와, 아크 플라즈마 발생부에서 발생된 플라즈마화된 이온을 DLC 코팅용 기판까지 이송되는 이송경로를 제공하는 이송관과, 이송관을 통해 이송되는 물질 중 비이온화된 입자를 자력에 의해 내벽측에 집속되게 하는 자력 생성부와, 이송관 내에 이송관을 가로지르는 방향으로 설치되어 비이온화된 입자의 이송을 저지시킬 수 있도록 망체 형태로 형성된 적어도 하나의 필터판을 구비한다. 이러한 자장여과 아크 플라즈마를 이용한 DLC 코팅 장치에 의하면, 이송관의 연장방향을 가로지르는 방향으로 설치된 망체 형태의 필터판에 의해 비이온화된 거대 입자의 이송을 저지시킬 수 있어 DLC 박막의 막질을 향상시킬 수 있다.
Int. CL H05H 1/48 (2006.01) C23C 14/32 (2006.01)
CPC C23C 14/32(2013.01) C23C 14/32(2013.01) C23C 14/32(2013.01) C23C 14/32(2013.01) C23C 14/32(2013.01)
출원번호/일자 1020140089946 (2014.07.16)
출원인 한국광기술원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2016-0009785 (2016.01.27) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2014.07.16)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국광기술원 대한민국 광주광역시 북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 장영준 대한민국 광주광역시 광산구
2 최주현 미국 광주광역시 광산구
3 김정호 대한민국 광주광역시 광산구
4 김혜정 대한민국 광주광역시 북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이재량 대한민국 광주광역시 광산구 하남산단*번로 ***, *층(도천동, 광주경제고용진흥원)(가온특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2014.07.16 수리 (Accepted) 1-1-2014-0669576-19
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2015.01.15 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2015.03.09 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2015-0083412-12
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2015.10.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0716895-31
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2015.12.21 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2015-1252359-18
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2015.12.21 수리 (Accepted) 1-1-2015-1252340-41
7 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2016.03.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0219234-48
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.07.03 수리 (Accepted) 4-1-2020-5148105-81
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.07.09 수리 (Accepted) 4-1-2020-5153634-39
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번호 청구항
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아크 플라즈마를 발생시켜 DLC를 코팅하는 장치에 있어서,메인 챔버 내에 장착된 흑연소재의 타겟체에 스파크를 발생시켜 플라즈마화된 이온을 생성하는 아크 플라즈마 발생부와;상기 아크 플라즈마 발생부에서 발생된 플라즈마화된 이온을 DLC 코팅용 기판까지 이송되는 이송경로를 제공하는 이송관과;상기 이송관을 통해 이송되는 물질 중 비이온화된 입자를 자력에 의해 내벽측에 집속되게 하는 자력 생성부와;상기 이송관 내에 상기 이송관을 가로지르는 방향으로 설치되어 상기 비이온화된 입자의 이송을 저지시킬 수 있도록 망체 형태로 형성된 적어도 하나의 필터판;을 구비하는 것을 특징으로 하는 자장여과 아크 플라즈마를 이용한 DLC 코팅 장치
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제1항에 있어서, 상기 필터판은 스테인레스 스틸소재로 형성된 것을 특징으로 하는 자장여과 아크 플라즈마를 이용한 DLC 코팅 장치
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제2항에 있어서, 상기 필터판은 복수개가 상기 이송관의 이송방향을 따라 상호 이격되게 설치되어 있고, 상기 필터판 상호간은 가장자리를 따라 상기 필터판의 연장방향을 따라 상호 결합시키는 결합바에 의해 결합되어 있으며,상기 이송관 내에는 상기 필터판의 입출을 가이드 하기 위한 가이드 돌기가 상기 이송관의 길이방향을 따라 형성되어 있고, 상기 필터판 또는 상기 결합바에는 상기 가이드 돌기가 삽입되어 슬라이딩 입출을 가이드하는 가이드 홈이 형성된 것을 특징으로 하는 자장여과 아크 플라즈마를 이용한 DLC 코팅 장치
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제3항에 있어서, 인접된 상기 필터판 상호간은 상기 망체의 투과 형성영역이 상기 이송관의 이송방향을 따라 상호 어긋나게 망 형성 패턴이 상호 다르게 형성된 것을 특징으로 하는 자장여과 아크 플라즈마를 이용한 DLC 코팅 장치
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제3항에 있어서, 상기 필터판의 표면은 이온빔의 표면처리를 통해 중심선 평균거칠기가 1nm 내지 5nm인 것을 특징으로 하는 자장여과 아크 플라즈마를 이용한 DLC 코팅 장치
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패밀리정보가 없습니다
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