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무기 유전층을 포함한 정전기력 기반 작동기로서,서로 마주하는 한 쌍의 기판들;상기 기판들 상에 각각 배치되고, 서로 마주하는 한 쌍의 전극들;규소 산화물, 알루미늄 산화물, 아연 산화물, 티타늄 산화물 및 바륨-티타늄 산화물 중 어느 하나의 재질을 포함하여 상기 전극들 사이에 배치되는 무기 절연막; 및상기 전극들 중 어느 하나와 상기 무기 절연막의 사이에 배치하되, 상기 무기 절연막의 테두리부에 배치되어 접착되는 접착 부재를 포함하고,상기 접착 부재를 매개로 접착되는 상기 전극들 중 어느 하나와 상기 무기 절연막의 사이에는 상기 접착 부재에 중첩하여 접착되는 테두리부를 제외한 상기 무기 절연막의 가운데 부분이 빈 공간으로 형성되고,상기 전극들에 전압이 인가됨에 따라 상기 무기 절연막 내의 분극 현상에 의해 상기 전극들 사이에 인력이 작용하여, 상기 접착 부재에 중첩하지 않은 상기 전극들의 부분이 상기 인력에 의해 상기 무기 절연막의 빈 공간으로 휘어지게 되는 기계적인 변형이 발생되는 것을 특징으로 하는, 무기 유전층을 포함한 정전기력 기반 작동기
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제1항에 있어서,상기 규소 산화물은 이산화규소(SiO2)를 포함하는 것을 특징으로 하는, 무기 유전층을 포함한 정전기력 기반 작동기
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제1항에 있어서,상기 알루미늄 산화물은 산화 알루미늄(Al2O3)을 포함하는 것을 특징으로 하는, 무기 유전층을 포함한 정전기력 기반 작동기
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제1항에 있어서,상기 아연 산화물은 산화 아연(ZnO)을 포함하는 것을 특징으로 하는, 무기 유전층을 포함한 정전기력 기반 작동기
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제1항에 있어서,상기 티타늄 산화물은 이산화티타늄(TiO2)을 포함하는 것을 특징으로 하는, 무기 유전층을 포함한 정전기력 기반 작동기
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제1항에 있어서,상기 바륨-티타늄 산화물은 티타늄산바륨(BaTiO3)을 포함하는 것을 특징으로 하는, 무기 유전층을 포함한 정전기력 기반 작동기
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제1항에 있어서,상기 전극들은 산화인듐주석(indium tin oxide), 그래핀 시트(graphene sheet), 탄소 나노튜브막(carbon nanotube layer), 실버 나노와이어(silver nanowire), 실버 나노페이스트(silver nanopaste), 및 금속 나노클러스터의 표면 증착막(surface-implanted metallic nanocluster layer) 중 적어도 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는, 무기 유전층을 포함한 정전기력 기반 작동기
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정전기력 기반 작동기로서,서로 마주하는 한 쌍의 기판들;상기 기판들 상에 각각 배치되고, 서로 마주하는 한 쌍의 전극들; 및규소 산화물, 알루미늄 산화물, 아연 산화물, 티타늄 산화물 및 바륨-티타늄 산화물 중 어느 하나의 재질을 포함하고, 상기 전극들 사이에 배치되는 무기 절연막을 포함하고,상기 무기 절연막의 일면은 상기 전극들 중 제1 전극 상에 직접 배치되고, 타면은 테두리부에 배치되어 접착되는 접착 부재를 매개로 상기 제1 전극에 마주하는 제2 전극이 배치되어 접착되며, 상기 무기 절연막의 가운데 빈 공간의 형성을 통해 상기 제1 전극에 마주하는 제2 전극과는 가운데 부분이 미리 설정된 간격으로 이격되며,상기 전극들에 전압이 인가됨에 따라 상기 무기 절연막 내의 분극 현상에 의해 상기 전극들 사이에 인력이 작용하여 상기 전극들의 부분이 상기 접착 부재에 의해 형성된 상기 무기 절연막의 빈 공간으로 휘어지게 되는 기계적인 변형이 발생되는 것을 특징으로 하는, 무기 유전층을 포함한 정전기력 기반 작동기
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무기 유전층을 포함한 정전기력 기반 작동기로서,서로 마주하는 한 쌍의 기판들;상기 기판들 상에 각각 배치되고, 서로 마주하는 한 쌍의 산화인듐주석 전극들;상기 산화인듐주석 전극들 사이에 배치되고, 규소 산화물, 알루미늄 산화물, 아연 산화물, 티타늄 산화물 및 바륨-티타늄 산화물 중 어느 하나의 재질을 포함하는 무기 절연막; 및상기 산화인듐주석 전극들 중 어느 하나와 상기 무기 절연막의 사이에 배치하되, 상기 무기 절연막의 테두리부에 배치되어 접착되는 접착 부재를 포함하고,상기 접착 부재를 매개로 접착되는 상기 산화인듐주석 전극들 중 어느 하나와 상기 무기 절연막 사이에는 상기 접착 부재에 중첩하여 접착되는 테두리부를 제외한 상기 무기 절연막의 가운데 부분이 빈 공간으로 형성되고,상기 전극들에 전압이 인가됨에 따라 상기 무기 절연막 내의 분극 현상에 의해 상기 산화인듐주석 전극들 사이에 인력이 작용하여 상기 접착 부재에 중첩하지 않은 상기 산화인듐주석 전극들의 부분이 상기 무기 절연막의 빈 공간으로 휘어지게 되는 기계적인 변형이 발생되는 것을 특징으로 하는, 무기 유전층을 포함한 정전기력 기반 작동기
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복수의 단위 정전기력 기반 작동기들이 적층된 정전기력 기반 작동기로서,상기 단위 정전기력 기반 작동기들은 각각,서로 마주하는 한 쌍의 전극들;상기 전극들 사이에 배치되고, 규소 산화물, 알루미늄 산화물, 아연 산화물, 티타늄 산화물 및 바륨-티타늄 산화물 중 어느 하나의 재질을 포함하는 무기 절연막; 및상기 전극들 중 어느 하나와 상기 무기 절연막의 사이에 배치하되, 상기 무기 절연막의 테두리부에 배치되어 접착되는 접착 부재를 포함하고,상기 접착 부재를 매개로 접착되는 상기 전극들 중 어느 하나와 상기 무기 절연막의 사이에는 상기 접착 부재에 중첩하여 접착되는 테두리부를 제외한 상기 무기 절연막의 가운데 부분이 빈 공간으로 형성되고,상기 단위 정전기력 기반 작동기들은, 상기 전극들에 전압이 인가됨에 따라 상기 무기 절연막 내의 분극 현상에 의해 상기 전극들 사이에 인력이 작용하여 상기 접착 부재에 중첩하지 않은 상기 전극들의 부분이 상기 인력에 의해 상기 무기 절연막의 빈 공간으로 휘어지게 되는 기계적인 변형이 발생되는 것을 특징으로 하는, 무기 유전층을 포함한 정전기력 기반 작동기
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