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처리대상의 표면의 일 지점을 용융시키는 열원을 출력하는 열원출력부; 상기 열원출력부에 의해 용융된 표면의 일 지점을 냉각시키는 냉각부; 및상기 열원출력부의 용융방향 및 상기 냉각부의 냉각방향을 제어하여 상기 표면이 용융 및 냉각되는 지점을 변경하는 방향제어부; 를 포함하는 표면처리장치
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제1항에 있어서,상기 열원출력부에서 출력하는 열원은 레이저 빔을 포함하고,상기 열원출력부는 상기 열원을 내부에서 이송하는 광섬유(glass fiber)를 포함하는 표면처리장치
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제1항에 있어서,상기 냉각부는 용융된 지점에 비정질층(amorphous layer)이 형성될 수 있을 정도로 빠른 냉각속도를 갖는 냉각용매를 조사하고,상기 냉각부는 상기 냉각용매를 내부에서 이송하는 냉각용매 이송부을 포함하는 표면처리장치
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제1항에 있어서,상기 냉각부는 상기 열원출력부에 의해 용융된 지점의 배후에 위치하고,상기 지점의 배후를 냉각시키는 표면처리장치
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제1항에 있어서,상기 방향제어부는 상기 열원출력부 및 냉각부를 지지, 회전 및 이동시키고,표면이 용융 및 냉각되는 지점이 상기 열원출력부 및 냉각부와 특정 간격을 유지하도록 상기 표면이 용융 및 냉각되는 지점을 제어하는 표면처리장치
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제5항에 있어서,상기 방향제어부는 상기 방향제어부를 중심으로 표면이 용융 및 냉각되는 지점이 나선(spiral)형으로 이동되도록 제어하는 표면처리장치
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제1항에 있어서,상기 열원출력부의 출력이 중단된 때부터 상기 냉각부가 냉각을 시작한 때까지의 전환시간을 제어하는 시간제어부를 더 포함하고,상기 전환시간은 표면이 용융 및 냉각되는 지점이 비정질층(amorphous layer)을 형성할 수 있도록 짧은 표면처리장치
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제7항에 있어서,상기 시간제어부는 상기 열원출력부의 출력시간 및 상기 냉각부의 냉각시간을 제어하는 표면처리장치
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관(tube)의 내부에서 내부표면의 제1 위치를 용융시키는 열원을 출력하는 열원출력단계;상기 제1 위치를 용융한 후, 상기 제1 위치를 냉각시키는 냉각단계; 및용융 및 냉각 위치를 제1 위치에서 제2 위치로 이동시키는 이동단계; 를 포함하는 관내 표면처리방법
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제9항에 있어서,상기 열원을 관의 외부에서 내부로 이송시키는 열원이송단계를 더 포함하고,상기 열원은 레이저 빔을 포함하는 관내 표면처리방법
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제9항에 있어서,냉각용매를 관의 외부에서 내부로 이송시키는 냉각용매이송단계를 더 포함하고,상기 냉각단계는 용융된 제1 위치가 비정질층(amorphous layer)을 형성할 수 있도록 빠르게 냉각시키는 냉각용매를 상기 제1 위치에 조사하는 관내 표면처리방법
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제9항에 있어서,상기 냉각단계는 관의 외부인 상기 제1 위치의 배후에서 냉각시키는 관내 표면처리방법
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제9항에 있어서,관의 내부를 따라 상기 용융 및 냉각 위치가 이동된 궤적이 나선(spiral)형이 되도록 상기 제2 위치를 제어하는 위치제어단계를 더 포함하는 관내 표면처리방법
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제9항에 있어서,상기 열원의 출력이 중단된 때부터 냉각을 시작한 때까지의 전환시간을 제어하는 시간제어단계를 더 포함하고,상기 전환시간은 상기 제1 위치가 비정질층(amorphous layer)을 형성할 수 있도록 짧은 관내 표면처리방법
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제14항에 있어서,상기 시간제어단계는 상기 열원의 출력시간 및 냉각의 냉각시간을 제어하는 관내 표면처리방법
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