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캔틸레버(cantilever) 및 상기 캔틸레버 상에 제공되는 탐침(probe)을 갖는 미소 캔틸레버의 제조방법에 있어서,상기 탐침을 위한 액상의 탐침용 용액이 수용되며, 상기 탐침의 형상에 대응하는 그루브(groove)를 갖는 탐침 몰드를 제공하는 단계; 상기 탐침의 위치에 대응하여 상기 캔틸레버를 상기 그루브가 형성된 상기 탐침 몰드에 접촉시키는 단계; 상기 캔틸레버를 상기 탐침 몰드에 접촉시킨 상태에서 상기 그루브 내에 수용된 상기 탐침용 용액을 경화시켜 상기 캔틸레버 상에 상기 탐침을 형성시키는 단계; 및 상기 캔틸레버를 상기 탐침 몰드에서 분리하는 단계;를 포함하며, 상기 탐침 몰드의 형상을 변형시켜 상기 그루브의 형상을 변형시키고, 상기 그루브의 형상에 대응하는 상기 탐침을 형성시키는 것을 특징으로 하는 미소 캔틸레버의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 탐침 몰드를 외부에서 가압하는 가압부재를 제공하며, 상기 가압부재로 상기 탐침 몰드를 가압하여 변형된 상기 그루브의 형상에 대응하는 상기 탐침을 형성시키는 것을 특징으로 하는 미소 캔틸레버의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 탐침 몰드에 인장력을 가하여 변형된 상기 그루브의 형상에 대응하는 상기 탐침을 형성시키는 것을 특징으로 하는 미소 캔틸레버의 제조방법
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제1항에 있어서,변형된 상기 그루브에 대응하여 형성된 상기 탐침의 높이는 가압 전의 상기 그루브에 대응하여 형성된 상기 탐침의 높이보다 상대적으로 길어지며, 상기 탐침의 팁(tip)은 상대적으로 날카로워지는 것을 특징으로 하는 미소 캔틸레버의 제조방법
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제1항에 있어서,비대칭형 그루브를 형성하도록 상기 탐침 몰드의 형상을 변형시키는 것을 특징으로 하는 미소 캔틸레버의 제조방법
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제1항에 있어서,대칭형 그루브를 형성하도록 상기 탐침 몰드의 형상을 변형시키는 것을 특징으로 하는 미소 캔틸레버의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 그루브는 반구(hemisphere), 각뿔(polypyramid), 및 원뿔(circular cone) 중 어느 하나의 형상으로 제공되는 것을 특징으로 하는 미소 캔틸레버의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 탐침용 용액은 자외선 경화제를 포함하며, 상기 자외선 경화제를 경화시켜 상기 탐침을 형성시키는 것을 특징으로 하는 미소 캔틸레버의 제조방법
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제1항에 있어서,경화된 상기 액상의 탐침용 용액은 상기 캔틸레버에 대해서 상기 탐침 몰드보다 상대적으로 강한 접착성을 갖는 것을 특징으로 하는 미소 캔틸레버의 제조방법
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제10항에 있어서,상기 탐침용 용액 및 상기 캔틸레버는 디아크릴레이트(1,6-hexanediol diacrylate; HDDA), 폴리에틸렌글리콜디아크릴레이트(polyethylene glycol diacrylate; PEGDA) 중 어느 하나를 포함하며, 상기 탐침 몰드는 폴리디메틸실록산(polydimethylsiloxane; PDMS)를 포함하는 것을 특징으로 하는 미소 캔틸레버의 제조방법
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제1항에 있어서,복수개의 상기 미소 캔틸레버를 동시에 형성하기 위하여, 복수개의 그루브를 갖는 탐침 몰드 및 복수개의 캔틸레버에 대응하는 캔틸레버 원판을 이용하는 것을 특징으로 하는 미소 캔틸레버의 제조방법
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