| 1 |
1
초음파를 발생시키는 초음파 세정부;상기 초음파 세정부에 결합되어 일체형으로 형성되며, 세정하고자 하는 기판의 상면에 세정액을 분사하는 세정액 분사 노즐; 및상기 초음파 세정부의 타측에 이격되어 구비되며, 분사되어 기판의 세정이 완료된 세정액을 흡입하여 회수하는 흡입 수단; 을 포함하고,상기 초음파 세정부는,내부가 중공되어 하측이 개방되게 형성되는 하우징, 상기 하우징의 하측에 결합되며 상하 한 쌍으로 이격되어 설치되는 진동판, 상기 한 쌍의 진동판의 중앙부에 결합되는 방열부, 상기 방열부의 상면에 결합되고 상기 하우징의 내부에 구비되어 초음파를 발생시키는 진동소자, 및 상기 방열부의 하면에 결합되어 상기 진동소자에서 발생되는 초음파를 전달하는 초음파 전달체를 포함하여 이루어지며,하측의 진동판에 분사공이 형성되어 상기 분사공이 분사 노즐로 형성되거나, 상기 분사공에 연결되도록 상기 분사 노즐의 상측이 하우징 및 하측의 진동판에 결합되어,상기 초음파 세정부의 하우징, 진동판 및 방열부에 의해 형성된 공간을 통해 세정액이 공급되어 상기 분사 노즐을 통해 세정액이 분사되는 것을 특징으로 하는 대면적 초음파 정밀 세정장치
|
| 2 |
2
제1항에 있어서,상기 세정액 분사 노즐은 세정하고자 하는 기판의 이송방향 상류측에 배치되며, 상기 흡입 수단은 기판의 이송방향 하류측에 배치되는 것을 특징으로 하는 대면적 초음파 정밀 세정장치
|
| 3 |
3
제1항에 있어서,상기 세정액 분사 노즐은 초음파 세정부와 기판 사이로 세정액을 분사하도록 하단이 초음파 세정부 쪽으로 경사지게 형성되는 것을 특징으로 하는 대면적 초음파 정밀 세정장치
|
| 4 |
4
제1항에 있어서,상기 흡입 수단은 초음파 세정부와 기판 사이를 통과한 세정액을 흡입하도록 하단이 초음파 세정부 쪽으로 경사지게 형성되는 것을 특징으로 하는 대면적 초음파 정밀 세정장치
|
| 5 |
5
제1항에 있어서,상기 흡입 수단의 일측에 이격되어 구비되며, 기판으로 에어를 분사하는 에어 나이프를 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 대면적 초음파 정밀 세정장치
|
| 6 |
6
제1항에 있어서,상기 초음파 세정부는, 진동소자에 연결되어 초음파를 전달하는 초음파 전달체가 하우징의 하측에 형성되며, 상기 초음파 전달체는 상측보다 하측의 폭이 좁은 사다리꼴 또는 삼각형 형태로 형성되는 것을 특징으로 하는 대면적 초음파 정밀 세정장치
|
| 7 |
7
삭제
|
| 8 |
8
제1항에 있어서,상기 세정액 분사 노즐의 하측에 이격되어 세정하고자 하는 기판의 하면에 세정액을 분사하는 하부 세정액 분사 노즐을 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 대면적 초음파 정밀 세정장치
|
