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2차원 자석배열과 상기 2차원 자석배열의 상부에 공극을 두고 배치된 다수개의 코일로 구성된 평면모터에 의해 부상 및 구동되는 조동 스테이지; 및상기 조동 스테이지의 상부에 다수개의 보이스코일모터로 부상 및 구동되는 미세 스테이지;를 포함하되, 상기 조동 스테이지는 무빙 코일-무빙 마그넷 구조(moving coil-moving magnet)로서, 상기 2차원 자석배열을 고정자로 구비하고, 상기 다수개의 코일을 운동자로 구비하며, 상기 미세 스테이지는 상기 다수개의 보이스코일모터의 코일을 고정자로 구비하고, 상기 보이스코일모터의 자석을 미세 스테이지의 운동자로 구비하며, 상기 조동 스테이지의 운동자와 상기 미세 스테이지의 고정자가 이루는 한 몸체들 사이에 구비되어 상기 평면모터의 코일과 상기 보이스코일모터의 코일에서 발생한 열을 냉각수를 통해 방출하는 냉각수 채널을 더 구비하고,상기 냉각수 채널은, 유로가 새겨진 구조체와 상기 구조체를 덮는 뚜껑의 구조로 구비되되, 상기 뚜껑은 상기 2차원 자석배열의 상부에 발생된 와전류를 방지하는 세라믹 재질(alumina 또는 silicon carbide)로 구비되고, 상기 유로가 새겨진 구조체는 알루미늄으로 구비되는 것을 특징으로 하는 자기부상 이중서보 스테이지
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제1항에 있어서,상기 조동 스테이지 및 미세 스테이지의 각 6자유도 모션을 측정하는 센서부; 상기 센서부의 신호를 입력받아 이를 기초로 상기 조동 스테이지의 초기 위치 대비 현재 위치를 비교하여 오차를 판단하는 제어부; 및상기 제어부에 의해 상기 보이스코일모터의 작동을 제어하여 상기 미세 스테이지를 구동시키는 미세 스테이지 구동부;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는, 자기부상 이중서보 스테이지
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제2항에 있어서, 상기 센서부는,상기 미세 스테이지의 경우, 고정밀 모션 측정을 위해 6개의 비접촉식 센서를 상기 조동 스테이지의 고정자와 연결된 프레임에 구비하는 것을 특징으로 하는, 자기부상 이중서보 스테이지
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제2항에 있어서, 상기 센서부는,상기 조동 스테이지의 경우, 측면은 접촉 또는 비접촉식 3축의 센서로 타겟팅하고, 상부면은 비접촉식 3축의 센서로 상기 미세 스테이지에 대한 조동 스테이지의 상대적인 위치를 측정하는 것을 특징으로 하는, 자기부상 이중서보 스테이지
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제1항에 있어서,상기 조동 스테이지의 운동자 상부에 상기 미세스테이지의 고정자인 상기 보이스코일모터의 코일이 배치됨으로써, 상기 조동 스테이지의 운동자와 상기 미세 스테이지의 고정자가 한 몸체를 이루어 함께 움직이는 것을 특징으로 하는, 자기부상 이중서보 스테이지
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제5항에 있어서,상기 평면모터의 코일로 인한 전선, 상기 보이스코일모터의 코일로 인한 전선, 냉각수를 공급하는 유연파이프, 상기 조동 스테이지의 운동자와 상기 미세 스테이지의 운동자 간의 상대모션을 측정하는 센서의 전선을 포함한 와이어들은 상기 조동 스테이지의 운동자 부분에 결선하는 것을 특징으로 하는, 자기부상 이중서보 스테이지
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