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음향광변조기를 이용하여 미세 홈 또는 구멍을 가공하기 위한 레이저 장치 및 방법(Laser device and method for forming micro groove and hole using acoustic optical modulator)

  • 기술번호 : KST2016006525
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  • 전화번호 :
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 음향광변조기를 이용하여 미세 홈 또는 구멍을 가공하기 위한 레이저 장치 및 방법에 관한 것으로, 펄스 레이저를 조사하여 대상물에 미세 홈 또는 구멍을 가공하는 레이저 장치에 있어서, 레이저를 발생시키는 광원을 구비하는 광원부;와 광원에서 방출된 레이저가 통과하도록 순차적으로 다수 배치된 다수의 음향광변조기를 구비하는 가공부;를 포함하고, 여기서 가공부는 각각의 음향광변조기를 통과하는 레이저로부터 시간 단위로 펄스 레이저를 추출한 후 조사하여 대상물에 미세 홈 또는 구멍을 가공하도록 된 것이다.
Int. CL B23K 26/364 (2014.01.01) B23K 26/08 (2014.01.01) B23K 26/0622 (2014.01.01) B23K 26/06 (2014.01.01) G02B 27/09 (2006.01.01)
CPC B23K 26/364(2013.01) B23K 26/364(2013.01) B23K 26/364(2013.01) B23K 26/364(2013.01) B23K 26/364(2013.01)
출원번호/일자 1020140100454 (2014.08.05)
출원인 주식회사 소재의맥, (주)티엔에프, 울산과학기술원
등록번호/일자 10-1639583-0000 (2016.07.08)
공개번호/일자 10-2016-0016388 (2016.02.15) 문서열기
공고번호/일자 (20160714) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항 심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호 1020160086546;
심사청구여부/일자 Y (2014.08.05)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 주식회사 소재의맥 대한민국 경기도 용인시 기흥구
2 (주)티엔에프 대한민국 경기도 광주시
3 울산과학기술원 대한민국 울산광역시 울주군

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김재환 대한민국 대전광역시 서구
2 정택용 대한민국 경기도 수원시 권선구
3 김경훈 대한민국 경기도 용인시 수지구
4 강용구 대한민국 서울특별시 강동구
5 이활종 대한민국 경기도 오산시 운암로 **
6 배성철 대한민국 울산광역시 울주군

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 네이트특허법인 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로 ***, ***호(역삼동, 하나빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 주식회사 소재의맥 대한민국 경기도 용인시 기흥구
2 (주)티엔에프 대한민국 경기도 광주시
3 울산과학기술원 대한민국 울산광역시 울주군
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2014.08.05 수리 (Accepted) 1-1-2014-0740014-72
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2015.05.11 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2015.07.10 수리 (Accepted) 9-1-2015-0046944-16
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2015.07.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0483766-51
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2015.09.18 수리 (Accepted) 1-1-2015-0909134-40
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2015.10.20 수리 (Accepted) 1-1-2015-1015659-52
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2015.10.20 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2015-1015639-49
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.12.31 수리 (Accepted) 4-1-2015-5176347-51
9 [출원인변경]권리관계변경신고서
[Change of Applicant] Report on Change of Proprietary Status		 2016.02.05 수리 (Accepted) 1-1-2016-0129624-61
10 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2016.03.02 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0163470-60
11 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)		 2016.03.07 불수리 (Non-acceptance) 1-1-2016-0218118-35
12 서류반려이유통지서
Notice of Reason for Return of Document		 2016.03.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2016-0037277-23
13 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)		 2016.03.16 수리 (Accepted) 1-1-2016-0251643-13
14 [반려요청]서류반려요청(반환신청)서
[Request for Return] Request for Return of Document		 2016.03.16 수리 (Accepted) 1-1-2016-0251632-11
15 서류반려통지서
Notice for Return of Document		 2016.03.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2016-0042298-00
16 [법정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Extension of Legal Period] Request for Extension of Period (Reduction, Expiry Reconsideration)		 2016.03.29 수리 (Accepted) 7-1-2016-0015545-52
17 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)		 2016.05.02 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2016-0419248-76
18 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2016.05.02 수리 (Accepted) 1-1-2016-0419253-05
19 등록결정서
Decision to Grant Registration		 2016.05.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0378385-63
20 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2016.06.02 수리 (Accepted) 1-1-2016-0531943-95
21 [분할출원]특허출원서
[Divisional Application] Patent Application		 2016.07.08 수리 (Accepted) 1-1-2016-0660616-62
22 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.05.30 수리 (Accepted) 4-1-2017-5083065-02
23 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.07.03 수리 (Accepted) 4-1-2020-5148444-43
24 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.08.20 수리 (Accepted) 4-1-2020-5186266-03
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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펄스 레이저(PL)를 조사하여 대상물(200)에 미세 홈(201) 또는 구멍을 가공하는 레이저 장치에 있어서, 레이저를 발생시키는 광원(101)을 구비하는 광원부(100);와 상기 광원(101)에서 방출된 레이저가 통과하도록 순차적으로 다수 배치된 다수의 음향광변조기(111)를 구비하는 가공부(110);와,상기 대상물(200)을 이동시키도록 설치된 이송장치(121)를 구비한 이송부(120);와,상기 이송장치(121)와 광원(101)을 제어하는 제어부(130);를 더 포함하되,상기 가공부(110)는 각각의 음향광변조기(111)를 통과하는 레이저로부터 시간 단위로 펄스 레이저(PL)를 추출한 후 대상물에 조사하여 미세 홈(201) 또는 구멍을 가공하고,상기 제어부(130)는 대상물(200)의 모서리를 감지하는 다수의 센서로 얻은 대상물(200)의 위치 정보를 토대로 좌우 편차를 보정하고, 상기 대상물(200)의 이동 속도와 변위를 제어하며, 미세 홈(201) 또는 구멍의 깊이에 따라 레이저의 출력이 비례하도록 조정하고, 상기 레이저는 연속파 레이저(CWL)이고, 상기 광원부(100)는 광원(101)에서 방출된 레이저를 음향광변조기(111)로 전달하도록 설치된 광섬유(102)를 더 구비하고, 상기 광원부(100)는 상기 광섬유(102)에서 방출된 레이저의 크기를 조정하도록 설치된 적어도 1개의 제1렌즈(103)를 더 구비하고, 상기 가공부(110)는 광섬유(102)에서 방출된 레이저를 분기시키는 회절광학소자(140)와, 상기 회절광학소자(140)에서 분기된 각각의 레이저를 각각의 음향광변조기(111)로 안내하도록 설치된 제3렌즈(141)를 더 구비하고, 상기 가공부(110)는 음향광변조기(111)와 음향광변조기(111) 사이에 설치되어, 비직선의 형태로 배치된 다수의 음향광변조기(111)에서 당해 음향광변조기(111)에서 다음 음향광변조기(111)로 레이저가 유입되도록 굴절시키는 반사부재를 더 구비하고, 상기 이송부(120)는 대상물(200)이 연성인 경우 쳐지지 않도록 팽팽하게 유지시키며, 상기 대상물(200)의 모든 표면에 대하여 미세 홈(201) 또는 구멍 가공이 완료되었는지를 판단하고, 상기 대상물(200)의 일부 표면에 대해서만 미세 홈(201) 또는 구멍이 가공되었으면 상기 대상물(200)을 미세 홈(201) 또는 구멍이 가공되어야 하는 위치로 이동하고, 대상물(200)이 위치하면 상기 펄스 레이저(PL)를 상기 대상물(200)에 조사하여 미세 홈(201) 또는 구멍을 가공하는 음향광변조기를 이용하여 미세 홈 또는 구멍을 가공하기 위한 레이저 장치
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제1항에 있어서, 상기 가공부(110)는 상기 음향광변조기(111)에서 추출되어 방출된 펄스 레이저(PL)를 대상물(200)로 굴절시키도록 설치된 반사체(112), 상기 펄스 레이저(PL)로 대상물(200)에 미세 홈(201) 또는 구멍을 가공시키기 위해 대상물(200)로 펄스 레이저(PL)를 집광시키는 제2렌즈(113)와, 다수의 음향광변조기(111) 중 최후에 배치된 음향광변조기(111)를 통과한 레이저가 유입되는 수광기(114) 중 적어도 1개를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 음향광변조기를 이용하여 미세 홈 또는 구멍을 가공하기 위한 레이저 장치
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제1항 또는 제5항의 레이저 장치로 대상물에 미세 홈 또는 구멍을 가공하기 위한 방법에 있어서, 광원(101)에서 발생한 레이저가 광섬유(102) 내를 유동하여 이동하는 제100단계(S100);상기 광섬유(102)에서 방출된 레이저를 다수의 음향광변조기(111)에 차례대로 통과시키면서 시간 단위로 펄스 레이저(PL)를 추출하는 제200단계(S200); 상기 펄스 레이저(PL)를 대상물(200)에 조사하여 미세 홈(201) 또는 구멍을 가공하는 제300단계(S300);상기 모든 음향광변조기(111)를 통과한 레이저가 수광기(114)에 수집되는 제400단계(S400);와상기 대상물(200)의 모든 표면에 대해 미세 홈(201) 또는 구멍 가공이 완료되면 모든 가동을 중지하는 제700단계(S700);를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 음향광변조기를 이용하여 대상물에 미세 홈 또는 구멍을 가공하는 방법
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제11항에 있어서,상기 제100단계(S100)는 광섬유(102)에서 방출된 레이저의 크기를 적어도 1개의 제1렌즈(103)로 조정하는 제101단계(S101)를 포함하는 것을 특징으로 하는 음향광변조기를 이용하여 대상물에 미세 홈 또는 구멍을 가공하는 방법
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제11항에 있어서,상기 제100단계(S100)는 상기 레이저를 회절광학소자(140)에 통과시켜 다수로 분기하는 제110단계(S110)와, 분기된 각각의 레이저를 제3렌즈(141)로 굴절시켜 해당 음향광변조기(111)로 유입시키는 제120단계(S120)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 음향광변조기를 이용하여 대상물에 미세 홈 또는 구멍을 가공하는 방법
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제11항에 있어서,상기 제200단계(S200)는 음향광변조기(111)가 직선과 비직선의 혼합 형태 또는, 비직선 단독 형태로 배치된 경우, 광섬유(102)에서 방출된 레이저가 반사부재에 의해 해당 음향광변조기(111)에 유입되거나, 당해 음향광변조기(111)에서 방출된 레이저가 반사부재에 의해 굴절되어 다음 음향광변조기(111)에 유입시키는 제210단계(S210)를 포함하는 것을 특징으로 하는 음향광변조기를 이용하여 대상물에 미세 홈 또는 구멍을 가공하는 방법
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업통상자원부 (주)티엔에프 소재부품기술개발 시간차 다분기 레이저 대면적 가공기술을 이용한 통기량 200,000cc 이상의 스마트 미세패턴 다층 필름 개발