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(a) 전구체 염(열처리 후에, 금속산화물을 형성할 수 있는 금속염)을 포함하는 고분자 분산용액(전기방사 용액)을 전기방사한 후 고온 열처리하여 금속산화물 소재로서 다결정 나노섬유를 합성하는 단계;(b) 금속산화물 소재로서 마이크로입자를 고상반응법을 이용하여 합성하는 단계;(c) 금속산화물 소재로서 나노입자를 합성하는 단계; (d) 상기 다결정 나노섬유, 상기 마이크로입자 및 상기 나노입자의 무게 함량 비율을 나타내는 X, Y, Z에서, X는 20 % 이상 95 % 이하, Y는 0 % 초과 80 % 이하, Z는 0 % 초과 30 % 이하의 wt% 범위(X+Y+Z는 100 %의 무게 함량 비율을 가짐)가 되도록 상기 다결정 나노섬유, 상기 마이크로입자 및 상기 나노입자를 혼합(mixing)하여, 다결정 나노섬유-마이크로입자-나노입자 분산 용액(잉크)을 합성하는 단계;(e) 상기 다결정 나노섬유-마이크로입자-나노입자 분산 용액(잉크)을 센서 전극 위에 코팅하는 단계; (f) 상기 센서 전극을 고온 열처리를 하여, 다결정 나노섬유-마이크로입자-나노입자 기반 복합 센서를 제조하는 단계를 포함하는 복합 센서 제조공정
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제11항에 있어서,상기 (e) 단계는,상기 다결정 나노섬유-마이크로입자-나노입자 분산 용액(잉크)에 Pt, Pd, Ag, Au, IrO2, RuO2, Rh2O3 중에서 선택된 하나 이상의 나노입자 촉매를 추가하는 단계를 포함하는 복합 센서 제조공정
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제11항에 있어서,상기 (e) 단계는,상기 다결정 나노섬유-마이크로입자-나노입자 분산 용액(잉크)에 그래핀 분산 용액을 혼합하여 상기 센서 전극 위에 코팅하는 것을 특징으로 하는 복합 센서 제조공정
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제11항에 있어서,상기 (e) 단계는,상기 다결정 나노섬유-마이크로입자-나노입자 분산 용액(잉크)에 나노입자 촉매 분산 용액 및 그래핀 분산 용액을 혼합하여 상기 센서 전극 위에 코팅하는 것을 특징으로 하는 복합 센서 제조공정
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제11항에 있어서,상기 다결정 나노섬유, 상기 마이크로입자 및 상기 나노입자 중 적어도 하나는 SnO2, ZnO, TiO2, In2O3, Zn2SnO4, WO3, Co3O4, NiO, V2O5, CuO중에서 선택된 어느 하나 혹은 둘 이상의 복합체를 포함하는 것을 특징으로 하는 복합 센서 제조공정
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제11항에 있어서,상기 (e) 단계는,스크린 프린팅(screen printing), 드랍 코팅(drop-coating), 스핀 코팅(spin-coating), 잉크젯 프린팅, EHD(Electrohydrodynamic Deposition) 및 디스펜싱(dispensing) 중 적어도 하나의 코팅 공정을 이용하여, 상기 다결정 나노섬유-마이크로입자-나노입자 분산 용액(잉크)을 상기 센서 전극 위에 코팅하는 것을 특징으로 하는 복합 센서 제조공정
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제11항에 있어서,(g) 상기 다결정 나노섬유-마이크로입자-나노입자 기반 복합 센서를 적어도 2종 이상 제조하여 센서 어레이를 제조하는 단계를 더 포함하는 복합 센서 제조공정
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제17항에 있어서, 상기 (g) 단계는,(1) 상기 다결정 나노섬유, 상기 마이크로입자 및 상기 나노입자 중 적어도 하나를 구성하는 금속산화물 소재의 종류, (2) 상기 다결정 나노섬유, 상기 마이크로입자 및 상기 나노입자의 무게 함량 비율, (3) 상기 다결정 나노섬유-마이크로입자-나노입자 분산 용액(잉크)에 혼합되는 나노입자 촉매의 종류 및 (4) 그래핀의 종류 중 적어도 하나가 서로 상이한 2종 이상 30종 이하의 센서들을 배열하여 상기 센서 어레이를 제조하는 것을 특징으로 하는 복합 센서 제조공정
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