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적어도 유체와 입자가 주입되는 주입구;상기 주입구에서 연장되어 일 방향으로 확장되는 확장부;상기 확장부에서 연장되고 상기 입자의 분리가 수행되는 활성화부; 및상기 활성화부에서 분리된 입자가 포집되는 포집부가 포함되고, 상기 활성화부는, 내부 공간의 폭이 두께에 비하여 50~100배 큰 마이크로 플루이딕 채널로 제공되는, 마이크로 플루이딕 채널을 이용하는 물질분리장치
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제 1 항에 있어서, 상기 마이크로 플루이딕 채널은,음각되는 음각부가 제공되는 상측판; 및상기 상측판과 정렬되고, 작용층이 제공되는 단위모듈이 안착되는 하측판이 포함되는 마이크로 플루이딕 채널을 이용하는 물질분리장치
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제 2 항에 있어서, 상기 작용층의 상면은 상기 하측판의 상면과 동일평면 상에 놓이는 마이크로 플루이딕 채널을 이용하는 물질분리장치
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제 2 항에 있어서, 상기 단위모듈에는, 웨이퍼; 상기 웨이퍼 상의 접착층; 및상기 접착층 상의 금속층이 포함되는 마이크로 플루이딕 채널을 이용하는 물질분리장치
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제 1 항에 있어서, 상기 활성화부는 플라스모닉 효과를 이용하여 물질을 분리하는 마이크로 플루이딕 채널을 이용하는 물질분리장치
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음각되는 음각부가 제공되는 상측판; 및상기 상측판과 정렬되고, 작용층이 제공되는 단위모듈이 안착되는 하측판이 포함되고, 상기 음각부 및 상기 작용층에 의해서 정의되는 내부 공간의 폭이 두께에 비하여 50~100배로 제공되는 마이크로 플루이딕 채널
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제 6 항에 있어서, 상기 상측판 및 상기 상측판은 PDMS를 재질로 하는 마이크로 플루이딕 채널
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복수개의 단위모듈을 단일의 웨이퍼에 제조하는 것;상기 웨이퍼를 분리하여 단일의 단위모듈을 제공하는 것;상기 단위모듈이 조립되는 제 1 판을 제공하는 것; 및제 2 판으로 상기 제 1 판을 덮는 것이 포함되는 마이크로 플루이딕 채널의 제조방법
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제 8 항에 있어서, 상기 제 1 판에 상기 단위모듈을 조립하는 것은, 상기 단위모듈을 케이스에 안착하는 것; 및수지를 상기 케이스에 넣어 경화시키는 것이 포함되는 마이크로 플루이딕 채널의 제조방법
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제 9 항에 있어서, 상기 케이스의 바닥면은 실리콘 웨이퍼로 제공되는 마이크로 플루이딕 채널의 제조방법
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