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기판; 상기 기판에 형성된, 이온성 액체를 포함하는 액체막; 및 상기 액체막 위에 형성된 고체 초박막;을 포함하고,상기 고체 초박막은 상기 액체막 상에 열증착 공정을통해 성장시켜 제조된 것이며,상기 액체막의 두께는 1 내지 20 ㎛, 상기 고체 초박막의 두께는 1 내지 100 ㎚인 것을 특징으로 하는 복합 박막
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제1항에 있어서,상기 이온성 액체는 1-에틸-3메틸이미다졸륨 메틸설포네이트, 1-에틸-3메틸이미다졸륨 디시안아미드, 1-에틸-3-메틸이미다졸륨 에틸설페이트, 1-에틸-3-메틸이미다졸륨 티오시아네이트, 1-에틸-3-메틸이미다졸륨 테트라플루오로보레이트, 1-에틸-3-메틸이미다졸륨 헥사플루오로포스페이트, 1-에틸-3-메틸이미다졸륨 p-톨루엔설포네이트, 1-부틸-3-메틸이미다졸륨 메탄설포네이트, 1-부틸-3-메틸이미다졸륨 디시안아미드, 1-부틸-3-메틸이미다졸륨 에틸설페이트, 1-부틸-3-메틸이미다졸륨 티오시아네이트, 1-부틸-3-메틸이미다졸륨 디메틸포스페이트, 1-부틸-3-메틸이미다졸륨 브로마이드, 1-부틸-3-메틸이미다졸륨, p-톨루엔설포네이트, 1-부틸-3-메틸이미다졸륨 테트라플루오로보레이트 및 1-부틸-3-메틸이미다졸륨 헥사플루오로포스페이트로 이루어진 군으로부터 선택되는 어느 하나인 것을 특징으로 하는 복합 박막
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제1항에 있어서,상기 고체 초박막은 금, 은, 구리, 펜탄센, MoS2, MoSe2 및 WSe2로 이루어진 군으로부터 선택되는 어느 하나인 것을 특징으로 하는 복합 박막
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제1항에 따른 복합 박막을 포함하는 유연소자
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Ⅰ) 기판 상에 액체막을, 500 내지 3000 rpm, 10 내지 20초의 조건에서 스핀코팅을 통해 형성하는 단계; 및Ⅱ) 상기 액체막 상에 열증착 또는 이온 스퍼터링을 이용하여 고체 초박막을 성장시키는 단계;를 포함하는 복합 박막의 제조방법
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제10항에 있어서,상기 액체막의 두께는 1 ㎚ 내지 100 ㎛인 것을 특징으로 하는 복합 박막의 제조방법
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제10항에 있어서,상기 고체 초박막의 두께는 1 내지 1000 ㎚인 것을 특징으로 하는 복합 박막의 제조방법
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