| 1 |
1
검사대상물의 표면을 검사하여 이물질을 검출하기 위한 표면 검사장치로서,상기 검사대상물을 조명하는 광원을 포함하는 조명부; 및상기 광원의 빛에 의해 상기 검사대상물의 표면에 생성되는 그림자를 검출하는 광센서를 구비하는 검출부를 포함하며,상기 검출부에서 검출된 상기 그림자의 분석에 따라 상기 이물질을 검출하는 것을 특징으로 하는 표면 검사장치
|
| 2 |
2
제 1항에 있어서,상기 광원은,상기 검사대상물과 수직을 이루는 가상의 중심선을 기준으로 일측으로 기울어져 그 검사대상물을 조명하는 방향으로 연장되는 가상의 연결선이 그 검사대상물과의 사이로 입사각을 형성하는 것을 특징으로 하는 표면 검사장치
|
| 3 |
3
제 2항에 있어서,상기 광센서는,상기 가상의 연결선과 상기 검사대상물이 접하는 지점으로부터 상방향으로 연장 형성되는 가상의 수직선에 위치되는 것을 특징으로 하는 표면 검사장치
|
| 4 |
4
제 2항에 있어서,상기 검출부는,상기 그림자를 상기 광센서에 이미지화 되도록 하는 이미징렌즈를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 표면 검사장치
|
| 5 |
5
제 2항에 있어서,상기 입사각은,30도 이하로 이루어지는 것을 특징으로 하는 표면 검사장치
|
| 6 |
6
제 2항에 있어서,상기 광원의 빛이 통과되면서 평행 면광으로 바뀌어 상기 검사대상물에 전달되도록 하는 렌즈부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 표면 검사장치
|
| 7 |
7
제 6항에 있어서,상기 광원과 상기 렌즈부 사이에 위치되며, 그 광원으로부터 조명되는 빛이 통과되는 핀홀이 형성되는 핀홀판을 더 포함하고,상기 렌즈부는,상기 핀홀판의 전방에 위치되며, 상기 핀홀을 통과하는 빛이 통과되는 볼록렌즈를 포함하는 것을 특징으로 하는 표면 검사장치
|
| 8 |
8
제 7항에 있어서,양단부가 개방되며, 상기 핀홀에 그 양단부 방향으로 이동 가능하게 결합되고, 상기 광원의 빛이 통과되는 조절관을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 표면 검사장치
|
| 9 |
9
제 1항에 있어서,전,후면 및 양측면을 가지며, 상부에 상기 검사대상물이 안착되는 베이스플레이트를 구비하는 베이스부; 및상기 베이스부로부터 상기 조명부와 상기 검출부를 지지하는 지지부를 더 포함하되,상기 지지부는,하부가 상기 베이스플레이트의 양측면에 전,후 방향으로 이동 가능하게 고정되는 한 쌍의 수직바와, 상기 한 쌍의 수직바의 상부를 연결하는 수평바를 포함하는 지지프레임; 및상기 수평바에 좌,우 방향으로 이동 가능하게 고정되며, 상기 조명부 및 상기 검출부가 고정되는 고정바를 포함하는 것을 특징으로 하는 표면 검사장치
|
| 10 |
10
제 9항에 있어서,상기 지지부는,상기 지지프레임을 전,후 방향으로 이송시키는 전후이송수단; 및상기 고정바를 좌,우 방향으로 이송시키는 좌우이송수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 표면 검사장치
|
| 11 |
11
제 10항에 있어서,상기 지지부는,상기 수평바를 상기 한 쌍의 수직바에 연결하는 한편, 그 수평바를 상,하 방향으로 이송시키는 상하이송수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 표면 검사장치
|
| 12 |
12
제 1항 내지 제 11항 중 어느 한 항의 표면 검사장치에 의해 상기 검사대상물의 표면에 존재하는 이물질을 검출하는 표면 검사방법으로서,상기 검사대상물을 준비하는 검사대상물 준비단계;상기 조명부에서 상기 검사대상물의 표면을 조명하는 검사대상물 조명단계;상기 검사대상물 조명단계에서 상기 조명부의 조명에 따라 상기 검사대상물의 표면에 생성되는 그림자를 검출하는 그림자 검출단계; 및상기 검출부에서 검출된 상기 그림자에 따라 상기 이물질을 검출하는 이물질 검출단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 표면 검사방법
|
| 13 |
13
제 12항에 있어서,상기 이물질 검출단계 전에 상기 그림자 검출단계에서 검출된 상기 그림자를 분석하는 그림자 분석단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 표면 검사방법
|
