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(a) 기판 상에 점성조성물을 준비하는 단계;(b) 상기 점성조성물을 인장시키기 위하여, 상기 점성조성물에 음압을 인가시키기 위한 흡입구를 포함하는 흡입부를 상기 점성조성물에 배치시키는 단계;(c) 상기 흡입구를 통해 상기 점성조성물의 상부측으로 작용하는 소정의 음압을 상기 점성조성물에 인가(apply)시켜 제조하려는 마이크로구조체의 길이에 대응되도록 상기 점성조성물을 인장시킴으로써, 솔리드 마이크로구조체를 제조하는 단계;(d) 상기 흡입부를 상기 솔리드 마이크로구조체로부터 제거시키는 단계;(e) 상기 솔리드 마이크로구조체의 표면을 금속 도금하는 단계; 및(f) 상기 도금된 금속으로부터 솔리드 마이크로구조체를 제거하여 중공부를 형성하는 단계;를 포함하는 중공형 마이크로구조체 제조방법
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제 1 항에 있어서, 상기 단계(a)의 점성조성물은 유기용매에 의해 제거되는 고분자 화합물인 것을 특징으로 하는 중공형 마이크로구조체 제조방법
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제 2 항에 있어서, 상기 고분자 화합물은 AS(acrylonitrile styrene), 폴리 아마이드, 폴리에틸렌, 폴리에스테르, 폴리아크릴, 폴리아세틸, 스틸론, 테프론, 폴리염화비닐, 폴리우레탄, 나일론, 설폰 수지 또는 에폭시 폴리머인 것을 특징으로 하는 중공형 마이크로구조체 제조방법
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제 1 항에 있어서, 상기 단계(a)의 점성조성물은 상기 기판 상에 층상으로 준비(layered)되는 것을 특징으로 하는 중공형 마이크로구조체 제조방법
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제 1 항에 있어서, 상기 단계(a) 내지 단계(c)는 상기 기판 상에 상기 점성조성물을 토출시키는 토출부; 및 상기 기판 상의 점성조성물에 음압을 인가시키는 상기 흡입부;를 구비하는 연속 제조 시스템을 통해 상기 점성조성물의 토출과 음압 인가가 동시에 이루어지는 것을 특징으로 하는 중공형 마이크로구조체 제조방법
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제 1 항에 있어서, 상기 단계(b)에서 상기 흡입구의 방향 및 위치를 조절하여 휘어진 중공형 마이크로구조체를 수득하는 것을 특징으로 하는 중공형 마이크로구조체 제조방법
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제 1 항에 있어서, 상기 제조방법은 단계(e) 이전에 상기 솔리드 마이크로구조체에 금속을 증착하는 금속 증착 단계를 추가적으로 더 포함하는 것을 특징으로 하는 중공형 마이크로구조체 제조방법
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제 7 항에 있어서, 상기 금속 증착 단계의 상기 금속은 스테인레스강, 알루미늄(Al), 크롬(Cr), 니켈(Ni), 금(Au), 은(Ag), 구리(Cu), 티타늄(Ti), 코발트(Co) 또는 이들의 합금을 증착시키는 것을 특징으로 하는 중공형 마이크로구조체 제조방법
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제 1 항에 있어서, 도금되는 상기 금속은 스테인레스강, 알루미늄(Al), 크롬(Cr), 니켈(Ni), 금(Au), 은(Ag), 구리(Cu), 티타늄(Ti), 코발트(Co) 또는 이들의 합금인 것을 특징으로 하는 중공형 마이크로구조체 제조방법
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제 1 항에 있어서, (ⅰ) 금속 도금 전 솔리드 마이크로구조체의 상단부를 도금되지 않도록 보호하는 단계; 및 (ⅱ) 금속 도금 후 중공형 마이크로구조체의 상단부를 절단하는 단계; 중 어느 하나를 포함하는 중공형성 단계를 더 포함하는 중공형 마이크로구조체 제조방법
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제 1 항에 있어서, 상기 기판은 주사기 바늘이며, 상기 점성조성물을 주사기 바늘의 상단부에 준비하는 것을 특징으로 하는 중공형 마이크로구조체 제조방법
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제 11 항에 있어서, 상기 점성조성물을 상기 주사기 바늘의 상단부에 준비하는 것은, 상기 주사기의 실린더 내부에 미리 준비된 점성조성물을 상기 주사기의 피스톤을 이용하여 상기 주사기 바늘의 상단부로 밀어올림으로써 준비하는 것을 특징으로 하는 중공형 마이크로구조체 제조방법
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제 1 항에 있어서, 상기 단계(a)에서의 기판 상에 점성조성물을 준비하기 전에 또는 상기 단계(b)에서의 흡입부를 상기 점성조성물의 상부측에 배치시키기 전에, 상기 점성조성물을 50℃ 내지 150℃로 가열하는 단계를 추가적으로 더 포함하는 것을 특징으로 하는 중공형 마이크로구조체 제조방법
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제 1 항에 있어서, 상기 단계(c)는, 상기 음압을 인가시키는 동안 상기 음압을 인가시키기 위한 상기 흡입부와 상기 기판 사이에 전압을 가해주는 것을 특징으로 하는 중공형 마이크로구조체 제조방법
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제 1 항 내지 제 14 항 중 어느 한 항에 따른 제조 방법에 의해 제조된 것을 특징으로 하는 중공형 마이크로구조체
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