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친수성 및 소수성 영역이 선택적으로 구현된 마이크로 유체 채널의 제조 방법 및 이에 의해 제조된 마이크로 유체 채널(manufacturing method for selective uptake of hydrophilic and lipophilic surface for micro-fluidic channel and micro-fluidic channel thereby)

  • 기술번호 : KST2016007222
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 마이크로 유체 채널에 관한 것으로서, 마이크로 유체 채널의 제조방법에 있어서, 기판 상에 패터닝에 의한 채널부와 밸브부를 형성하는 제1단계와, 상기 기판 전면에 산화막층을 형성하여 상기 채널부는 실링시키고, 상기 밸브부는 오픈시켜 상기 채널부 내부는 친수성 영역이 확보되도록 하는 제2단계와, 상기 기판 전면을 표면처리하여 상기 밸브부 내부는 소수성 영역이 확보되도록 하는 제3단계와, 상기 기판 전면에 폴리머 코팅하여 상기 밸브부를 실링하고 상기 채널부 및 밸브부를 본딩하는 제4단계와, 상기 기판에 마이크로 유체 채널 분리를 위한 패턴을 형성하는 제5단계와, 상기 기판 상에서 마이크로 유체 채널을 분리하는 제6단계를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 친수성 및 소수성 영역이 선택적으로 구현된 마이크로 유체 채널의 제조 방법 및 이에 의해 제조된 마이크로 유체 채널을 그 기슬적 요지로 한다. 이에 의해 선택적으로 표면 화학적 성질(surface chemistry)을 용이하게 변경할 수 있어, 복잡한 공정 설계가 필요없어 제 비용의 절감 및 수율을 상승시키고, 친수성 및 소수성 영역에 대한 재현성이 우수하여 고집적도의 정밀한 유체의 흐름을 제어할 수 있어 신뢰성있는 마이크로 유체 채널을 제공할 수 있는 이점이 있다.
Int. CL G01N 35/08 (2006.01) C12M 1/34 (2006.01) B81B 1/00 (2006.01)
CPC C12M 1/34(2013.01) C12M 1/34(2013.01) C12M 1/34(2013.01) C12M 1/34(2013.01)
출원번호/일자 1020140109707 (2014.08.22)
출원인 (재)한국나노기술원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2016-0024062 (2016.03.04) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2014.08.22)
심사청구항수 11

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 (재)한국나노기술원 대한민국 경기도 수원시 영통구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이희관 대한민국 경기도 수원시 영통구
2 박범두 대한민국 대전광역시 중구
3 성호근 대한민국 경기도 수원시 영통구
4 이근우 대한민국 경기도 용인시 수지구
5 윤홍민 대한민국 경기도 수원시 팔달구
6 강호관 대한민국 서울특별시 양천구
7 정승환 대한민국 경기도 성남시 분당구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이준성 대한민국 서울특별시 강남구 삼성로**길 **, ***호 준성특허법률사무소 (대치동, 대치빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2014.08.22 수리 (Accepted) 1-1-2014-0798368-11
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2015.04.21 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2015.06.10 수리 (Accepted) 9-1-2015-0036808-25
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.06.30 수리 (Accepted) 4-1-2015-5087922-39
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2015.11.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0814388-71
6 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2016.01.25 수리 (Accepted) 1-1-2016-0082588-79
7 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2016.02.24 수리 (Accepted) 1-1-2016-0182809-98
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2016.03.24 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2016-0283665-01
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2016.03.24 수리 (Accepted) 1-1-2016-0283656-90
10 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2016.07.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0531532-80
11 [법정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Extension of Legal Period] Request for Extension of Period (Reduction, Expiry Reconsideration)		 2016.08.22 수리 (Accepted) 7-1-2016-0049716-04
12 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)		 2016.09.26 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2016-0931287-12
13 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2016.09.26 수리 (Accepted) 1-1-2016-0931286-77
14 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2016.10.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0762998-93
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번호 청구항
1 1
마이크로 유체 채널의 제조방법에 있어서,기판 상에 패터닝에 의한 채널부와 밸브부를 형성하는 제1단계;상기 기판 전면에 산화막층을 형성하여 상기 채널부는 실링시키고, 상기 밸브부는 오픈시켜 상기 채널부 내부는 친수성 영역이 확보되도록 하는 제2단계;상기 기판 전면을 표면처리하여 상기 밸브부 내부는 소수성 영역이 확보되도록 하는 제3단계;상기 기판 전면에 폴리머 코팅하여 상기 밸브부를 실링하고 상기 채널부 및 밸브부를 본딩하는 제4단계;상기 기판에 마이크로 유체 채널 분리를 위한 패턴을 형성하는 제5단계;상기 기판 상에서 마이크로 유체 채널을 분리하는 제6단계;를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 친수성 및 소수성 영역이 선택적으로 구현된 마이크로 유체 채널의 제조 방법
2 2
제 1항에 있어서, 상기 기판은,Si, 금속, GaN, GaAs, 사파이어(Sappire) 및 SiC 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 친수성 및 소수성 영역이 선택적으로 구현된 마이크로 유체 채널의 제조 방법
3 3
제 1항에 있어서, 상기 제2단계는,상기 기판 전면에 SOG, TEOS, LTO, 실리콘옥사이드, 티타늄옥사이드, 알루미늄옥사이드와 같은 옥사이드 계열 물질 중의 적어도 어느 하나를 포함하여 산화막층을 형성하여, 오픈 영역이 상기 밸브부에 비해 상대적으로 적은 상기 채널부를 실링시키는 것을 특징으로 하는 친수성 및 소수성 영역이 선택적으로 구현된 마이크로 유체 채널의 제조 방법
4 4
제 1항에 있어서, 상기 제3단계는,상기 기판 전면의 표면처리는, 상기 기판 전면에 소수성물질의 증착, 소수성물질의 코팅, 실라나이징 처리 및 플라즈마 처리 중 어느 하나의 방법에 의해 구현되는 것을 특징으로 하는 친수성 및 소수성 영역이 선택적으로 구현된 마이크로 유체 채널의 제조 방법
5 5
제 1항에 있어서, 상기 폴리머는,PDMS 또는 PMMA인 것을 특징으로 하는 친수성 및 소수성 영역이 선택적으로 구현된 마이크로 유체 채널의 제조 방법
6 6
제 1항에 있어서, 상기 제1단계의 기판에는,상기 기판 상의 채널부와 밸브부 사이에 버퍼부를 더 형성하는 것을 특징으로 하는 친수성 및 소수성 영역이 선택적으로 구현된 마이크로 유체 채널의 제조 방법
7 7
제 6항에 있어서, 상기 버퍼부는,상기 채널부에서 복수개로 갈려져 브랜치 형태로 형성되는 것을 특징으로 하는 친수성 및 소수성 영역이 선택적으로 구현된 마이크로 유체 채널의 제조 방법
8 8
제 6항에 있어서, 상기 버퍼부는,상기 제2단계의 산화막층에 의한 실링이 이루어지지 않도록 상기 채널부 보다는 오픈 영역을 상대적으로 크게 형성하여 소수성 영역을 형성하는 것을 특징으로 하는 친수성 및 소수성 영역이 선택적으로 구현된 마이크로 유체 채널의 제조 방법
9 9
제 1항에 있어서, 상기 제3단계 또는 제4단계 이후에는,상기 기판의 두께를 낮추기 위한 폴리싱, 연마 및 래핑 공정 중 어느 하나의 공정이 더 이루어지는 것을 특징으로 하는 친수성 및 소수성 영역이 선택적으로 구현된 마이크로 유체 채널의 제조 방법
10 10
마이크로 유체 채널에 있어서,기판;상기 기판 상의 일부 영역에 형성되며, 산화막층에 의해 실링되어 내부가 친수성 영역을 이루는 채널부;상기 기판 상의 일부 영역의 상기 채널부에 연통하여 형성되며, 표면처리에 의해 내부가 소수성 영역을 이루는 밸브부; 및상기 기판 전면에 형성되어, 상기 밸브부를 실링하고, 상기 채널부 및 밸브부를 본딩하도록 형성된 폴리머막;을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 친수성 및 소수성 영역이 선택적으로 구현된 마이크로 유체 채널
11 11
제 10항에 있어서, 상기 기판은,Si, 금속, GaN, GaAs, 사파이어(Sappire) 및 SiC 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 친수성 및 소수성 영역이 선택적으로 구현된 마이크로 유체 채널
12 12
제 10항에 있어서, 상기 산화막층은,상기 기판 전면에 SOG, TEOS, LTO, 실리콘옥사이드, 티타늄옥사이드, 알루미늄옥사이드와 같은 옥사이드 계열 물질 중의 적어도 어느 하나를 포함하여 형성되어, 상기 채널부를 실링시키는 것을 특징으로 하는 친수성 및 소수성 영역이 선택적으로 구현된 마이크로 유체 채널
13 13
제 10항에 있어서, 상기 폴리머막은,PDMS 또는 PMMA로 이루어진 것을 특징으로 하는 친수성 및 소수성 영역이 선택적으로 구현된 마이크로 유체 채널
14 14
제 10항에 있어서, 상기 기판 상의 채널부와 밸브부 사이에 버퍼부가 더 형성된 것을 특징으로 하는 친수성 및 소수성 영역이 선택적으로 구현된 마이크로 유체 채널
15 15
제 14항에 있어서, 상기 버퍼부는,상기 채널부에서 복수개로 갈려져 브랜치 형태로 형성되는 것을 특징으로 하는 친수성 및 소수성 영역이 선택적으로 구현된 마이크로 유체 채널
16 16
제 14항에 있어서, 상기 버퍼부는,상기 산화막층에 의한 실링이 이루어지지 않도록 상기 채널부 보다는 오픈 영역이 상대적으로 크게 형성되어, 소수성 영역을 이루는 것을 특징으로 하는 친수성 및 소수성 영역이 선택적으로 구현된 마이크로 유체 채널
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 중소기업청 재단법인 한국나노기술원 산학연 첫걸음기술개발사업 체외진단기를 위한 미세 정량 채혈기