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기판;상기 기판 상에 형성된 제1 전극과 제2 전극;상기 제1 전극과 상기 제2 전극을 덮는 형태로 상기 기판 상에 형성된 절연막; 및상기 절연막 상에 형성되고 그래핀을 포함하는 감지막을 포함하는 용량형 센서
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제1항에 있어서,상기 기판은 실리콘, 유리, 또는 알루미나(alumina)를 포함하는 용량형 센서
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제1항에 있어서,상기 감지막은 상기 그래핀을 포함하는 그래핀 페이스트인 용량형 센서
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제1항에 있어서,상기 제1 전극과 상기 제2 전극은 크롬(Cr), 금(Au), 알루미늄(Al), 백금(Pt), 몰리브덴(Mo), 구리(Cu), 철(Fe), 텅스텐(W), 및 팔라듐(Pd) 중 적어도 하나를 포함하는 용량형 센서
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제1항에 있어서,상기 제1 전극과 상기 제2 전극은 빗살형 전극(interdigit electrode)인 용량형 센서
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제1항에 있어서,상기 감지막에 접하는 측정 물질의 상태에 따라 상기 감지막의 전기 용량(capacitance) 또는 유전율(permittivity)이 변화하는 용량형 센서
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제1항에 있어서,상기 감지막의 두께는 4㎛ 내지 6㎛인, 용량형 센서
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8
제1항에 있어서,상기 절연막의 두께는 500Å 내지 2000Å인, 용량형 센서
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기판 상에 적어도 하나의 전극을 형성하는 단계;상기 적어도 하나의 전극을 덮는 형태의 절연막을 상기 기판 상에 형성하는 단계; 및상기 절연막 상에 그래핀을 포함하는 감지막을 형성하는 단계를 포함하는 용량형 센서의 제조 방법
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제9항에 있어서,상기 적어도 하나의 전극을 형성하는 단계는,전극 물질을 증착하는 단계; 및감광제 코팅, 노광 및 식각 공정을 포함하는 리소그래피 단계를 포함하는 용량형 센서의 제조 방법
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제9항에 있어서,상기 감지막을 형성하는 단계는,상기 그래핀을 포함하는 그래핀 페이스트를 스크린 프린팅하는,용량형 센서의 제조 방법
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